Перфтордецилтрихлорсилан
![]() | |
Имена | |
---|---|
Название ИЮПАК
трихлор(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-гептадекафтордецил)силан
| |
Другие имена
ФДТС; Перфтордецилтрихлорсилан; перфтороктилэтилтрихлорсилан; 1H,1H,2H,2H-ПЕРФТОРДЕЦИЛТРИХЛОРСИЛАН; ТРИХЛОР-1H,1H,2H,2H-ПЕРФТОРДЕЦИЛСИЛАН;
| |
Идентификаторы | |
3D model ( JSmol )
|
|
ХимическийПаук | |
Информационная карта ECHA | 100.110.513 |
Номер ЕС |
|
ПабХим CID
|
|
Панель управления CompTox ( EPA )
|
|
Характеристики | |
CF 3 ( КФ 2 ) 7 ( СН 2 ) 2 SiCl 3 | |
Молярная масса | 581.556 [g/mol] |
Появление | бесцветная жидкость |
Запах | острый, напоминающий HCl |
Плотность | 1,7 г/см 3 |
Точка кипения | 224 ° С (435 ° F, 497 К) |
гидролиз [ 1 ] | |
Растворимость | растворим в ТГФ , ТНР , толуоле и других органических растворителях. [ 2 ] |
Опасности | |
Безопасность и гигиена труда (OHS/OSH): | |
Основные опасности
|
Чувствителен к влаге |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа).
|
Перфтордецилтрихлорсилан , также известный как ФДТС , представляет собой бесцветное жидкое химическое вещество с молекулярной формулой C 10 H 4 Cl 3 F 17 Si . Молекулы ФДТС образуют самоорганизующиеся монослои . Они образуют ковалентные связи кремний-кислород со свободными гидроксильными (–OH) группами, такими как поверхности стекла, керамики или кремнезема .
Благодаря сильно фторированной хвостовой группе монослой ФДТС снижает поверхностную энергию . Осаждение монослоя FDTS достигается с помощью относительно простого процесса, также известного как молекулярное осаждение из паровой фазы (MVD). Обычно он осаждается из паровой фазы при температуре от комнатной до близкой к комнатной (50 ° C) и, таким образом, совместим с большинством субстраты. Процесс обычно проводится в вакуумной камере, чему способствует присутствие водяного пара. Обработанные поверхности обладают водоотталкивающими и снижающими трение свойствами.
По этой причине монослой ФДТС часто наносят на подвижные микродетали микроэлектромеханических систем ( МЭМС ). [ 3 ] Монослой ФДТС снижает поверхностную энергию и предотвращает прилипание, поэтому его используют для покрытия микро- и наноструктур на штампах для литографии наноимпринтов , которая становится предпочтительным методом изготовления электроники, органических фотодиодов , микрофлюидики и т. д.
Сниженная поверхностная энергия способствует уменьшению силы выталкивания и извлечения полимерных деталей из формы при литье под давлением , и было нанесено покрытие FDTS. [ 4 ] на некоторые металлические для литья под давлением формы и вставки .
Ссылки
[ редактировать ]- Шринивасан, У.; Хьюстон, MR; Хау, RT; Мабудиан Р.; , «Самоорганизующиеся монослойные пленки на основе алкилтрихлорсилана для уменьшения трения в кремниевых микромашинах», Microelectromechanical Systems, Journal of, том 7, № 2, стр. 252–260, июнь 1998 г. doi: 10.1109/84.679393
- Рубен Б.А. Шарп, Дирк Бурдински, Джурриан Хаскенс, Гарольд Дж. В. Зандвлит, Дэвид Н. Рейнхудт и Бене Поэльсема, Плоские штампы с химическим рисунком для микроконтактной печати, Журнал Американского химического общества, 2005, 127 (29), 10344-10349.
- Ашерст В.Р., Карраро К. и Мабудиан Р. «Парофазные антипригарные покрытия для МЭМС», Транзакции IEEE по надежности устройств и материалов, Vol. 3, № 4, стр. 173–178, 2003. doi: 10.1109/TDMR.2003.821540.
- ^ http://store.apolloscientific.co.uk/storage/msds/PC5979_msds.pdf [ только URL-адрес PDF ]
- ^ http://www.apolloscientific.co.uk/downloads/msds/PC5979_msds.pdf [ мертвая ссылка ]
- ^ Ашерст, WR (декабрь 2003 г.). «Парофазные антипригарные покрытия для МЭМС». Транзакции IEEE по надежности устройств и материалов . 3 (4): 173–178. дои : 10.1109/TDMR.2003.821540 .
- ^ Чех Дж., Таборски Р. (2012). «Стабильность монослойного покрытия ФДТС на инструментах для литья алюминия». Прикладная наука о поверхности . 259 : 538–541. Бибкод : 2012ApSS..259..538C . дои : 10.1016/j.apsusc.2012.07.078 .