Чистое помещение

Чистое помещение для микроэлектроники производства с вентиляторными фильтрующими блоками, установленными в потолочной решетке

Кабина для чистых помещений для прецизионных измерительных инструментов

или Чистое помещение чистое помещение — это специально спроектированное помещение, в котором поддерживается очень низкая концентрация взвешенных в воздухе твердых частиц . Он хорошо изолирован, хорошо контролируется от загрязнений и активно очищается. Такие помещения обычно необходимы для научных исследований и промышленного производства для всех наномасштабных процессов, таких как производство полупроводников . Чистое помещение предназначено для защиты от всего, от пыли до переносимых по воздуху организмов или испаренных частиц, а также от любого материала, с которым в нем обращаются.

Чистое помещение также может предотвратить утечку материалов. Это часто является основной целью в опасной биологии , ядерной работе , фармацевтике и вирусологии .

Чистые помещения обычно имеют уровень чистоты, количественно определяемый количеством частиц на кубический метр при заданной молекулярной величине. Окружающий наружный воздух в типичной городской зоне содержит 35 000 000 частиц на каждый кубический метр размером от 0,5 мкм и больше, что эквивалентно чистому помещению, сертифицированному по стандарту ISO 9. Для сравнения: чистые помещения, сертифицированные по стандарту ISO 14644-1 уровня 1, не допускают частиц такого размера и содержат только 12 частиц на каждый кубический метр размером 0,3 мкм и меньше. Полупроводниковые предприятия часто обходятся уровнями 7 или 5, тогда как предприятия уровня 1 встречаются крайне редко.

История

Современное чистое помещение было изобретено американским физиком Уиллисом Уитфилдом . ^{[ 1 ]} Будучи сотрудником Национальной лаборатории Сандиа , Уитфилд разработал первоначальный план чистого помещения в 1960 году. ^{[ 1 ]} До изобретения Уитфилда в чистых помещениях часто возникали проблемы с частицами и непредсказуемыми потоками воздуха . Уитфилд спроектировал свое чистое помещение с постоянным потоком воздуха с высокой степенью фильтрации для удаления загрязнений. ^{[ 1 ]} За несколько лет с момента своего изобретения в 1960-х годах объем продаж современных чистых помещений Уитфилда по всему миру составил более 50 миллиардов долларов США (примерно 483 миллиарда долларов сегодня). ^{[ 2 ]}^{[ 3 ]}

К середине 1963 года более 200 промышленных предприятий США имели такие специально построенные объекты (тогда использовалась терминология «Белые комнаты», «Чистые комнаты» или «Помещения без пыли»), включая Radio Corporation of America, McDonnell Aircraft, Hughes. Aircraft, Sperry Rand, Sylvania Electric, Western Electric, Boeing и North American Aviation. ^{[ 4 ]} RCA начала такое переоборудование части своих объектов в Кембридже, штат Огайо, в феврале 1961 года. Объект общей площадью 70 000 квадратных футов использовался для подготовки оборудования управления для ракет межконтинентальных баллистических ракет «Минитмен». ^{[ 5 ]}

Большинство предприятий по производству интегральных схем в Кремниевой долине принадлежат трем компаниям: MicroAire, PureAire и Key Plastics. Эти конкуренты производили установки с ламинарным потоком, перчаточные боксы, чистые помещения и душевые кабины , а также химические резервуары и стенды, используемые при создании интегральных схем «мокрым способом». Эти три компании были пионерами использования тефлона в пневматических пистолетах, химических насосах, скрубберах, водяных пистолетах и других устройствах, необходимых для производства интегральных схем . Уильям (Билл) К. МакЭлрой-младший работал техническим менеджером, руководителем чертежного отдела, отделом контроля/контроля качества и дизайнером во всех трех компаниях, и его разработки добавили 45 оригинальных патентов к технологиям того времени. МакЭлрой также написал четырехстраничную статью для журнала MicroContamination Journal, учебные пособия по влажной обработке и руководства по оборудованию для влажной обработки и чистых помещений. ^{[ 6 ]}^{[ нужна ссылка ]}

Обзор

Чистые помещения необходимы в производстве полупроводников и аккумуляторных батарей , в науках о жизни и в любой другой области, которая очень чувствительна к загрязнению окружающей среды.

Чистые помещения могут варьироваться от очень маленьких до очень больших. С одной стороны, однопользовательская лаборатория может быть построена в соответствии со стандартами чистых помещений площадью в несколько квадратных метров, а с другой стороны, все производственные мощности могут размещаться в чистом помещении с заводскими цехами площадью в тысячи квадратных метров. Между большими и маленькими есть также модульные чистые помещения. ^{[ 7 ]} Утверждалось, что они позволяют снизить затраты на масштабирование технологии и менее подвержены катастрофическим сбоям.

При такой широкой области применения не все чистые помещения одинаковы. Например, помещения, используемые при производстве полупроводников, не обязательно должны быть стерильными (т. е. свободными от неконтролируемых микробов). ^{[ 8 ]} в то время как те, которые используются в биотехнологии, обычно должны быть. И наоборот, операционные не обязательно должны быть абсолютно чистыми от наноразмерных неорганических солей, таких как ржавчина , хотя нанотехнологии этого абсолютно требуют. Общим для всех чистых помещений является строгий контроль частиц в воздухе , возможно, с вторичной дезинфекцией воздуха, поверхностей, входящих в помещение рабочих, инструментов, химикатов и оборудования.

Иногда частицы, выходящие из отсека, также вызывают беспокойство, например, при исследовании опасных вирусов или при радиоактивными материалами работе с .

Базовая конструкция

Во-первых, наружный воздух, поступающий в чистое помещение, фильтруется и охлаждается несколькими устройствами обработки наружного воздуха, использующими фильтры все более тонкой очистки для исключения пыли.

Внутри воздух постоянно рециркулируется через вентиляторные блоки, содержащие высокоэффективные фильтры, поглощающие частицы ( HEPA ) и/или воздушные фильтры со сверхнизким содержанием частиц ( ULPA ), для удаления внутренних загрязнений. Для минимизации образования частиц в воздухе используются специальные осветительные приборы, стены, оборудование и другие материалы. Пластиковые листы можно использовать для ограничения турбулентности воздуха, если в чистом помещении предусмотрен ламинарный воздушный поток. ^{[ 9 ]}^{[ 10 ]}^{[ 11 ]}

Уровни температуры и влажности воздуха внутри чистого помещения строго контролируются, поскольку они влияют на эффективность и средства фильтрации воздуха. Если в конкретном помещении требуется достаточно низкая влажность, чтобы вызвать статическое электричество , ее также можно контролировать, например, вводя в воздух контролируемое количество заряженных ионов с помощью коронного разряда . Статический разряд вызывает особую озабоченность в электронной промышленности, где он может мгновенно разрушить компоненты и схемы.

Оборудование внутри любого чистого помещения спроектировано таким образом, чтобы обеспечить минимальное загрязнение воздуха. Выбор материала для строительства чистого помещения не должен образовывать твердых частиц; следовательно, предпочтительным является монолитное эпоксидное или полиуретановое напольное покрытие. с полированной нержавеющей сталью или , используются сэндвич-панели и потолочные панели из мягкой стали Вместо железных сплавов, склонных к ржавчине, а затем отслаиванию с порошковым покрытием . Углы, такие как стена-стена, стена-пол, стена-потолок, избегаются за счет образования выпуклой поверхности , а все стыки необходимо герметизировать эпоксидным герметиком, чтобы избежать осаждения или образования частиц на стыках из-за вибрации и трения . Многие чистые помещения имеют «туннельную» конструкцию, в которой есть пространства, называемые «служебными каналами», которые служат воздухораспределителями, переносящими воздух снизу помещения наверх, чтобы его можно было рециркулировать и фильтровать в верхней части чистого помещения. ^{[ 12 ]}

Принципы воздушного потока

Схема воздушного потока для «турбулентного чистого помещения»

Схема воздушного потока для « чистых помещений с ламинарным потоком »

В чистых помещениях воздух не содержит твердых частиц за счет использования фильтров HEPA или ULPA , использующих принципы ламинарного или турбулентного воздушного потока. Ламинарные или однонаправленные системы воздушного потока направляют отфильтрованный воздух постоянным потоком вниз или в горизонтальном направлении к фильтрам, расположенным на стенах возле пола чистого помещения, или через приподнятые перфорированные панели пола для рециркуляции. Системы ламинарного воздушного потока обычно используются на 80% потолка чистого помещения для поддержания постоянной обработки воздуха. Нержавеющая сталь или другие не осыпающиеся материалы используются для изготовления фильтров и зонтов с ламинарным потоком воздуха, чтобы предотвратить попадание в воздух лишних частиц. Турбулентный или неоднонаправленный воздушный поток использует как вытяжки с ламинарным потоком воздуха, так и фильтры неспецифической скорости, чтобы поддерживать воздух в чистом помещении в постоянном движении, хотя и не все в одном направлении. Грубый воздух стремится улавливать частицы, которые могут находиться в воздухе, и направлять их к полу, где они попадают в фильтры и покидают чистое помещение. FDA США и ЕС установили строгие правила и ограничения для обеспечения отсутствия микробного загрязнения фармацевтических продуктов. ^{[ 13 ]} пленумы между кондиционерами и блоками фильтров вентиляторов , а также липкие коврики Также можно использовать .

Помимо воздушных фильтров, в чистых помещениях также можно использовать ультрафиолет . для дезинфекции воздуха ^{[ 14 ]} УФ-устройства могут быть установлены в потолочные светильники и облучать воздух, убивая потенциально инфекционные частицы , в том числе 99,99 процентов переносимых по воздуху микробных и грибковых загрязнений. ^{[ 15 ]} Ранее ультрафиолетовый свет использовался для очистки поверхностей от загрязнений в стерильных условиях, например, в операционных больницах. Их использование в других чистых помещениях может увеличиться по мере того, как оборудование становится более доступным. Потенциальные преимущества обеззараживания с помощью УФ-излучения включают меньшую зависимость от химических дезинфицирующих средств и продление срока службы фильтров систем отопления, вентиляции и кондиционирования.

Чистые помещения разных видов

В некоторых чистых помещениях поддерживается положительное давление , поэтому в случае каких-либо утечек воздух выходит из камеры, а не поступает в нее нефильтрованный воздух. Чаще всего это происходит при производстве полупроводников, где даже незначительное количество просачивающихся частиц может загрязнить весь процесс. , хотя любая утечка не причинит вреда окружающему сообществу ^{[ нужна ссылка ]}. Обратное делается, например, в случае биолабораторий высокого уровня, которые работают с опасными бактериями или вирусами; в них всегда поддерживается отрицательное давление , а выхлопные газы проходят через высокоэффективные фильтры и проходят дальнейшие процедуры стерилизации. Оба помещения по-прежнему являются чистыми, поскольку уровень твердых частиц внутри поддерживается в очень низких пределах.

Некоторые системы HVAC для чистых помещений контролируют влажность до такого низкого уровня, что дополнительное оборудование, такое как ионизаторы воздуха требуется для предотвращения проблем с электростатическими разрядами . Это вызывает особую озабоченность в полупроводниковой отрасли, поскольку статический разряд может легко повредить современные схемы. С другой стороны, активные ионы в воздухе также могут нанести вред открытым компонентам. Из-за этого большинству работников предприятий по производству высокой электроники и полупроводников приходится носить проводящую обувь во время работы. В чистых помещениях низкого уровня может потребоваться только специальная обувь с совершенно гладкой подошвой, на которой не остается пыли и грязи. Однако из соображений безопасности подошвы обуви не должны создавать опасности скольжения. Доступ в чистое помещение обычно разрешен только тем, кто носит костюм для чистых помещений , включая необходимое оборудование.

В чистых помещениях, где стандарты загрязнения воздуха менее строгие, вход в чистое помещение может не иметь воздушного душа. Прихожая . (известная как «серая комната») используется для надевания одежды для чистых помещений Такая практика распространена на многих атомных электростанциях, которые в целом работают как чистые помещения низкого давления с обратным давлением.

Рециркуляция и однопроходные чистые помещения

В чистых помещениях с рециркуляцией воздух возвращается в камеру отрицательного давления через возврат воздуха с низкой стенкой. Затем воздух затягивается вентиляторными фильтрами HEPA обратно в чистое помещение. Воздух постоянно рециркулирует и, постоянно проходя через HEPA-фильтрацию, каждый раз удаляет частицы из воздуха. Еще одним преимуществом этой конструкции является возможность установки кондиционера.

В чистых помещениях за один проход воздух всасывается снаружи и пропускается через вентиляторные фильтры HEPA в чистое помещение. Затем воздух выходит через вытяжные решетки. Плюсом такого подхода является меньшая стоимость. Недостатками являются сравнительно более короткий срок службы вентиляторного фильтра HEPA, меньшее количество частиц, чем в чистом помещении с рециркуляцией воздуха, и невозможность установки кондиционера.

Порядок работы

Чтобы свести к минимуму перенос твердых частиц человеком, входящим в чистое помещение, сотрудники входят и выходят через шлюзы (иногда включая этап воздушного душа ) и надевают защитную одежду, такую как капюшоны , маски для лица, перчатки, обувь и комбинезоны .

Обычные материалы, такие как бумага , карандаши и ткани из натуральных волокон , часто исключаются, поскольку при использовании они выделяют твердые частицы.

Уровни частиц обычно проверяются с помощью счетчика частиц , а микроорганизмы обнаруживаются и подсчитываются с помощью методов мониторинга окружающей среды. ^{[ объяснить ]}. ^{[ 16 ]}^{[ 17 ]} Полимерные инструменты, используемые в чистых помещениях, должны быть тщательно проверены на химическую совместимость с технологическими жидкостями для чистых помещений. ^{[ 18 ]} а также гарантирован низкий уровень образования частиц. ^{[ 19 ]}

При уборке только специальные швабры и ведра используются . Используемые чистящие химикаты, как правило, содержат липкие элементы для улавливания пыли, и для очистки может потребоваться второй этап с использованием растворителей с низкой молекулярной массой . Мебель для чистых помещений спроектирована так, чтобы производить минимум частиц, и ее легко чистить.

Чистое помещение — это не только сам процесс, но и тщательное поддержание культуры.

Загрязнение персонала чистых помещений

Наибольшую угрозу загрязнению чистых помещений исходят сами пользователи. ^{[ 20 ]} В здравоохранении и фармацевтике важен контроль микроорганизмов, особенно микроорганизмов, которые могут попасть в поток воздуха в результате кожных выделений . Изучение микрофлоры чистых помещений важно для микробиологов и персонала по контролю качества для оценки изменений тенденций. Сдвиги в типах микрофлоры могут указывать на отклонения от «нормы», например, на резистентные штаммы или проблемы с очисткой.

При оценке микроорганизмов чистых помещений типичной флорой являются в первую очередь те, которые связаны с кожей человека ( грамположительные кокки микроорганизмы из других источников, таких как окружающая среда ( грамположительные палочки ) и вода ( грамотрицательные палочки ), хотя также обнаруживаются ). в меньшем количестве. Общие роды бактерий включают Micrococcus , Staphylococcus , Corynebacterium и Bacillus , а роды грибов включают Aspergillus и Penicillium . ^{[ 17 ]}

Классификация и стандартизация чистых помещений

Чистые помещения классифицируются по количеству и размеру частиц, допустимых в объеме воздуха. Большие числа, такие как «класс 100» или «класс 1000», относятся к FED-STD-209E и обозначают количество частиц размером 0,5 мкм или более, разрешенное на кубический фут воздуха. Стандарт также допускает интерполяцию; например, SNOLAB поддерживается как чистое помещение класса 2000.

Дискретный светорассеивающий счетчик частиц в воздухе используется для определения концентрации частиц в воздухе, равных или превышающих указанные размеры, в определенных местах отбора проб.

Маленькие числа относятся к стандартам ISO 14644-1 , в которых указан десятичный логарифм количества частиц размером 0,1 мкм или более, разрешенных на м. ³ воздуха. Так, например, в чистом помещении класса 5 по ISO имеется не более 10 ⁵ частиц/м ³.

И FS 209E, и ISO 14644-1 предполагают логарифмическую зависимость между размером частиц и концентрацией частиц. По этой причине нулевой концентрации частиц не существует. Некоторые классы не требуют тестирования некоторых размеров частиц, поскольку концентрация слишком низкая или слишком высокая, чтобы ее можно было проводить на практике, но такие холостые образцы не следует считать нулевыми.

Потому что 1 м ³ около 35 футов ³Эти два стандарта в основном эквивалентны при измерении частиц размером 0,5 мкм, хотя стандарты тестирования различаются. Обычный комнатный воздух имеет класс около 1 000 000 или ISO 9. ^{[ 22 ]}

ИСО 14644-1 и ИСО 14698.

ISO 14644-1 и ISO 14698 — неправительственные стандарты, разработанные Международной организацией по стандартизации (ISO). ^{[ 23 ]} Первое применимо к чистым помещениям в целом (см. таблицу ниже), второе — к чистым помещениям, где биозагрязнение может быть проблемой. Поскольку самые строгие стандарты были достигнуты только для космических применений, иногда трудно понять, были ли они достигнуты в вакууме или в стандартных условиях.

ISO 14644-1 определяет максимальную концентрацию частиц каждого класса и размера частиц по следующей формуле. ^{[ 24 ]}

${\text{C}}_{\text{N}}=10^{\text{N}}\left({\frac {0.1}{\text{D}}}\right)^{2.08}$

Где ${\text{C}}_{\text{N}}$ — максимальная концентрация частиц в объеме 1 м $^{3}$ взвешенных в воздухе частиц, размер которых равен или превышает рассматриваемый размер частиц, который округляется до ближайшего целого числа, используя не более трех значащих цифр, ${\text{N}}$ это номер класса ISO, ${\text{D}}$ это размер частицы в $\mu$ м и 0,1 — константа, выраженная в $\mu$ м. Результат для стандартных размеров частиц представлен в следующей таблице.

Сорт	Максимальное количество частиц/м ^{3 а}						Эквивалент стандарта FED STD 209E
Сорт	≥0,1 мкм	≥0,2 мкм	≥0,3 мкм	≥0,5 мкм	≥1 мкм	≥5 мкм	Эквивалент стандарта FED STD 209E
ИСО 1	10 ^б	^д	^д	^д	^д	^и
ИСО 2	100	24 ^б	10 ^б	^д	^д	^и
ИСО 3	1,000	237	102	35 ^б	^д	^и	Класс 1
ИСО 4	10,000	2,370	1,020	352	83 ^б	^и	10 класс
ИСО 5	100,000	23,700	10,200	3,520	832	^{д, д, е}	Класс 100
ИСО 6	1,000,000	237,000	102,000	35,200	8,320	293	Класс 1000
ИСО 7	^с	^с	^с	352,000	83,200	2,930	Класс 10 000
ИСО 8	^с	^с	^с	3,520,000	832,000	29,300	Класс 100 000
ИСО 9	^с	^с	^с	35,200,000	8,320,000	293,000	Комнатный воздух
^а Все концентрации в таблице являются кумулятивными, например, для класса 5 по ISO 10 200 частиц, указанные при размере 0,3 мкм, включают все частицы, равные или превышающие этот размер. ^б Эти концентрации приведут к получению больших объемов проб воздуха для классификации. Может применяться процедура последовательного отбора проб; см. Приложение D. ^с Пределы концентрации не применимы в этой области таблицы из-за очень высокой концентрации частиц. ^д Отбор проб и статистические ограничения для частиц в низких концентрациях делают классификацию неприемлемой. ^и Ограничения по сбору проб как для частиц в низких концентрациях, так и для частиц размером более 1 мкм делают классификацию частиц этого размера нецелесообразной из-за потенциальных потерь частиц в системе отбора проб. ^ж Чтобы указать этот размер частиц в соответствии с классом 5 по ISO, дескриптор макрочастицы М может быть адаптирован и использован в сочетании по меньшей мере с одним другим размером частиц. (См. C.7.)

Стандарт ФРС США 209E

US FED-STD-209E был стандартом США федеральным . Он был официально отменен Управлением общих служб 29 ноября 2001 г. ^{[ 25 ]}^{[ 26 ]} но до сих пор широко используется. ^{[ 27 ]}

Сорт	Максимальное количество частиц/фут ³					ИСО эквивалент
Сорт	≥0,1 мкм	≥0,2 мкм	≥0,3 мкм	≥0,5 мкм	≥5 мкм	ИСО эквивалент
1	35	7.5	3	1	0.007	ИСО 3
10	350	75	30	10	0.07	ИСО 4
100	3,500	750	300	100	0.7	ИСО 5
1,000	35,000	7,500	3000	1,000	7	ИСО 6
10,000	350,000	75,000	30,000	10,000	70	ИСО 7
100,000	3.5 × 10 ⁶	750,000	300,000	100,000	830	ИСО 8

Текущие регулирующие органы включают ISO, USP 800, US FED STD 209E (предыдущий стандарт, используется до сих пор).

Закон о качестве и безопасности лекарств (DQSA), созданный в ноябре 2013 года в ответ на смертность от употребления наркотиков и серьезные побочные эффекты.
Федеральный закон о пищевых продуктах, лекарствах и косметике (Закон FD&C) установил конкретные руководящие принципы и политику в отношении пищевых добавок для человека.
- 503A касается составления рецептуры в учреждении, имеющем лицензию штата или на федеральном уровне, лицензированным персоналом (фармацевтами/врачами).
- 503B, относящиеся к аутсорсинговым предприятиям, требуют прямого контроля со стороны лицензированного фармацевта и не обязательно должны быть лицензированной аптекой. Заведение имеет лицензию Управления по контролю за продуктами и лекарствами (FDA). ^{[ 28 ]}

Классификация GMP ЕС

Рекомендации ЕС GMP являются более строгими, чем другие, и требуют, чтобы чистые помещения соответствовали количеству частиц при работе (во время производственного процесса) и в состоянии покоя (когда производственный процесс не осуществляется, но комнатная AHU включена).

Сорт	Максимальное количество частиц/м ³^{[ 29 ]}
	В состоянии покоя		В эксплуатации
	0,5 мкм	5,0 мкм	0,5 мкм	5,0 мкм
Оценка А	3,520	20	3,520	20
Оценка Б	3,520	29	352,000	2,900
Оценка С	352,000	2,900	3,520,000	29,000
Оценка Д	3,520,000	29,000	Не определено	Не определено

БС 5295

BS 5295 является британским стандартом .

Сорт	Максимальное количество частиц/м ³
Сорт	≥0,5 мкм	≥1 мкм	≥5 мкм	≥10 мкм	≥25 мкм
Класс 1	3,000		0	0	0
Класс 2	300,000		2,000	30
Класс 3		1,000,000	20,000	4,000	300
Класс 4			200,000	40,000	4,000

BS 5295 Класс 1 также требует, чтобы размер наибольшей частицы, присутствующей в любом образце, не превышал 5 мкм. ^{[ 30 ]} BS 5295 был заменен, отменен с 2007 года и заменен на «BS EN ISO 14644-6:2007». ^{[ 31 ]}

Стандарты USP <800>

USP 800 — это стандарт США, разработанный Фармакопейной конвенцией США (USP) с датой вступления в силу 1 декабря 2019 года. ^{[ 32 ]}

Разветвления и дальнейшие приложения

В больницах предотвращающими операционные похожи на чистые помещения для операций хирургических пациентов с разрезами, любые инфекции у пациента.

В другом случае пациентов с тяжелым иммунодефицитом иногда приходится держать в длительной изоляции от окружающей среды из-за страха заражения. В крайнем случае, это требует создания чистой среды в помещении. То же самое и с больными, передающимися воздушно-капельным путем, только с ними обращаются при отрицательном, а не положительном давлении.

В экзобиологии, когда мы ищем контакта с другими планетами, существует биологическая опасность в обоих направлениях: мы не должны загрязнять какие-либо миссии по возврату проб с других звездных тел земными микробами, и мы не должны загрязнять возможные другие экосистемы, существующие на других планетах. Таким образом, даже по международному праву любые зонды, которые мы отправляем в космическое пространство, должны быть стерильными, и поэтому с ними следует обращаться в условиях чистой комнаты. ^{[ нужна ссылка ]}

Поскольку более крупные чистые помещения представляют собой очень чувствительную контролируемую среду, от которой зависят многомиллиардные отрасли промышленности, иногда они даже оснащаются многочисленными системами сейсмической изоляции основания, чтобы предотвратить выход из строя дорогостоящего оборудования. ^{[ 33 ]}

См. также

Ссылки

^ Перейти обратно: ^а ^б ^с Ярдли, Уильям (4 декабря 2012 г.). «Уиллис Уитфилд, изобретатель чистых помещений, умер в возрасте 92 лет» . Нью-Йорк Таймс . Проверено 22 июня 2013 г. ^{[ постоянная мертвая ссылка ]}
^ «Физик из Сандии, изобретатель чистых помещений умер в возрасте 92 лет» . КВЕС . Ассошиэйтед Пресс . 26 ноября 2012 г. Проверено 3 декабря 2012 г.
^ «Уиллис Уитфилд — отец чистых помещений» (PDF) . Чистые помещения онлайн. Сентябрь 2015 г. Архивировано из оригинала (PDF) 27 января 2021 г. Проверено 18 мая 2016 г.
^ Козлоу, Жюль. «Промышленность в стремлении к чистоте». Электронный век 22:3 (лето 1963 г.), 22–25.
^ Козлоу, Жюль. «Промышленность в стремлении к чистоте». Электронный век 22:3 (лето 1963 г.), 22–25.
^ Уильям (Билл) К. МакЭлрой-младший, технический менеджер MicroAire и исполняющий обязанности вице-президента; Кей, инженер-менеджер по пластмассам; Менеджер чертежной комнаты PureAire
^ «Что такое чистое помещение? | Mecart» . МЕКАРТ Чистые помещения . 16 августа 2016 г.
^ В стерильных зонах НАСА множество устойчивых бактерий New York Times, 9 октября 2007 г.
^ «Кеналл Освещение чистых помещений и защитной изоляции» . kenall.com .
^ «Установка освещения в чистых помещениях» . www.cleanroomtechnology.com .
^ «Светодиод для чистых помещений» . Филипс .
^ «Лекция 30: Проектирование чистых помещений и контроль загрязнения» (PDF) . najah.edu . Проверено 1 марта 2024 г.
^ «Принципы движения воздуха в чистых помещениях» . www.thomasnet.com .
^ Гимера, Дон; Трзил, Жан; Джойнер, Джой; Хайсмит, Николас Д. (01 февраля 2018 г.). «Эффективность защищенной системы обеззараживания воздуха ультрафиолетом С в стационарной аптеке детской больницы третичного уровня» . Американский журнал инфекционного контроля . 46 (2): 223–225. дои : 10.1016/j.ajic.2017.07.026 . ISSN 0196-6553 . ПМИД 28865936 .
^ аутсорсинг-фарма.com. «УФ помогает поддерживать качество воздуха в чистых помещениях» . аутсорсинг-фарма.com . Проверено 15 апреля 2020 г.
^ Сэндл, Т. (ноябрь 2012 г.). «Применение управления рисками качества для установления эффективной частоты мониторинга окружающей среды в областях биотехнологической обработки и поддержки». PDA J Pharm Sci Technol . 66 (6): 560–79. дои : 10.5731/pdajpst.2012.00891 . ПМИД 23183652 . S2CID 7970 .
^ Перейти обратно: ^а ^б Сэндл, Т. (ноябрь 2011 г.). «Обзор микрофлоры чистых помещений: типы, тенденции и закономерности». PDA J Pharm Sci Technol . 65 (4): 392–403. дои : 10.5731/pdajpst.2011.00765 . ПМИД 22293526 . S2CID 25970142 .
^ Хейккинен, Исмо Т.С.; Кауппинен, Кристоффер; Лю, Чжэнцзюнь; Асикайнен, Санья М.; Сполярич, Стивен; Сеппяля, Юкка В.; Савин, Хеле (октябрь 2018 г.). «Химическая совместимость 3D-печатных компонентов на основе плавленых нитей с растворами, обычно используемыми при мокрой обработке полупроводников» (PDF) . Аддитивное производство . 23 : 99–107. дои : 10.1016/j.addma.2018.07.015 . ISSN 2214-8604 . S2CID 139867946 .
^ Пасанен, Т.П.; фон Гастроу, Г.; Хейккинен, ИТС; Вахянисси, В.; Савин, Х.; Пирс, Дж. М. (январь 2019 г.). «Совместимость 3D-печатных устройств в чистых помещениях для обработки полупроводников» . Материаловедение в области обработки полупроводников . 89 : 59–67. дои : 10.1016/j.mssp.2018.08.027 . ISSN 1369-8001 . S2CID 105579272 .
^ «Одежда для чистых помещений и контролируемой среды — блог ANSI» . Блог ANSI . 15 июля 2015 г. Проверено 24 ноября 2018 г.
^ «Комплекс обработки данных космической станции (SSPF)» . science.ksc.nasa.gov .
^ «Классификация чистых помещений/Количество частиц/FS209E/ISO TC209/» . Архивировано из оригинала 14 февраля 2008 г. Проверено 5 марта 2008 г.
^ «ISO 14644-1:2015 – Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц» . ИСО . 21 января 2016 года . Проверено 12 сентября 2016 г.
^ У. Уайт (17 октября 2001 г.). Технология чистых помещений: основы проектирования, испытаний и эксплуатации . Джон Уайли и сыновья. ISBN 978-0-471-86842-2 .
^ «Отмена Федерального стандарта 209E» . www.iest.org .
^ «Архивная копия» (PDF) . Архивировано из оригинала (PDF) 28 мая 2008 г. Проверено 17 апреля 2008 г. {{cite web}}: CS1 maint: архивная копия в заголовке ( ссылка ) , стр. 148
^ «БЕЗОПАСНОСТЬ И ПРОТОКОЛ NUFAB» (PDF) . Проверено 24 февраля 2016 г. .
^ Исследования, Центр оценки лекарств и (09.02.2019). «Положения Закона о FD&C, применимые к приготовлению лекарственных препаратов для человека» . FDA .
^ «Понимание классификации чистых помещений» . Архивировано из оригинала 1 июня 2016 г. Проверено 21 августа 2015 г.
^ Веб-сайт Market Venture Philippines Inc. (19 апреля 2006 г.). «Что такое чистая комната?» . Архивировано из оригинала 28 августа 2012 г. Проверено 2 июня 2007 г.
^ «BS 5295-0:1989 – Экологическая чистота в закрытых помещениях. Общее введение, термины и определения для чистых помещений и устройств очистки воздуха» . 2016 . Проверено 18 апреля 2016 г.
^ «Фармушка США 800 | Фармакопея США» . www.usp.org . Проверено 13 апреля 2020 г.
^ «Полупроводниковые технологии в TSMC, 2011» . 26 марта 2011 г. Архивировано из оригинала 12 декабря 2021 г. - на YouTube.

Внешние ссылки

Cleanroom Wiki — Глобальное общество по контролю за загрязнением (GSFCC)

[nkwes-1] Перейти обратно: ^а ^б ^с Ярдли, Уильям (4 декабря 2012 г.). «Уиллис Уитфилд, изобретатель чистых помещений, умер в возрасте 92 лет» . Нью-Йорк Таймс . Проверено 22 июня 2013 г. ^{[ постоянная мертвая ссылка ]}

[kwes-2] «Физик из Сандии, изобретатель чистых помещений умер в возрасте 92 лет» . КВЕС . Ассошиэйтед Пресс . 26 ноября 2012 г. Проверено 3 декабря 2012 г.

[3] «Уиллис Уитфилд — отец чистых помещений» (PDF) . Чистые помещения онлайн. Сентябрь 2015 г. Архивировано из оригинала (PDF) 27 января 2021 г. Проверено 18 мая 2016 г.

[4] Козлоу, Жюль. «Промышленность в стремлении к чистоте». Электронный век 22:3 (лето 1963 г.), 22–25.

[5] Козлоу, Жюль. «Промышленность в стремлении к чистоте». Электронный век 22:3 (лето 1963 г.), 22–25.

[6] Уильям (Билл) К. МакЭлрой-младший, технический менеджер MicroAire и исполняющий обязанности вице-президента; Кей, инженер-менеджер по пластмассам; Менеджер чертежной комнаты PureAire

[7] «Что такое чистое помещение? | Mecart» . МЕКАРТ Чистые помещения . 16 августа 2016 г.

[8] В стерильных зонах НАСА множество устойчивых бактерий New York Times, 9 октября 2007 г.

[9] «Кеналл Освещение чистых помещений и защитной изоляции» . kenall.com .

[10] «Установка освещения в чистых помещениях» . www.cleanroomtechnology.com .

[11] «Светодиод для чистых помещений» . Филипс .

[12] «Лекция 30: Проектирование чистых помещений и контроль загрязнения» (PDF) . najah.edu . Проверено 1 марта 2024 г.

[13] «Принципы движения воздуха в чистых помещениях» . www.thomasnet.com .

[14] Гимера, Дон; Трзил, Жан; Джойнер, Джой; Хайсмит, Николас Д. (01 февраля 2018 г.). «Эффективность защищенной системы обеззараживания воздуха ультрафиолетом С в стационарной аптеке детской больницы третичного уровня» . Американский журнал инфекционного контроля . 46 (2): 223–225. дои : 10.1016/j.ajic.2017.07.026 . ISSN 0196-6553 . ПМИД 28865936 .

[15] аутсорсинг-фарма.com. «УФ помогает поддерживать качество воздуха в чистых помещениях» . аутсорсинг-фарма.com . Проверено 15 апреля 2020 г.

[16] Сэндл, Т. (ноябрь 2012 г.). «Применение управления рисками качества для установления эффективной частоты мониторинга окружающей среды в областях биотехнологической обработки и поддержки». PDA J Pharm Sci Technol . 66 (6): 560–79. дои : 10.5731/pdajpst.2012.00891 . ПМИД 23183652 . S2CID 7970 .

[Sandle,_T_392–403-17] Перейти обратно: ^а ^б Сэндл, Т. (ноябрь 2011 г.). «Обзор микрофлоры чистых помещений: типы, тенденции и закономерности». PDA J Pharm Sci Technol . 65 (4): 392–403. дои : 10.5731/pdajpst.2011.00765 . ПМИД 22293526 . S2CID 25970142 .

[18] Хейккинен, Исмо Т.С.; Кауппинен, Кристоффер; Лю, Чжэнцзюнь; Асикайнен, Санья М.; Сполярич, Стивен; Сеппяля, Юкка В.; Савин, Хеле (октябрь 2018 г.). «Химическая совместимость 3D-печатных компонентов на основе плавленых нитей с растворами, обычно используемыми при мокрой обработке полупроводников» (PDF) . Аддитивное производство . 23 : 99–107. дои : 10.1016/j.addma.2018.07.015 . ISSN 2214-8604 . S2CID 139867946 .

[19] Пасанен, Т.П.; фон Гастроу, Г.; Хейккинен, ИТС; Вахянисси, В.; Савин, Х.; Пирс, Дж. М. (январь 2019 г.). «Совместимость 3D-печатных устройств в чистых помещениях для обработки полупроводников» . Материаловедение в области обработки полупроводников . 89 : 59–67. дои : 10.1016/j.mssp.2018.08.027 . ISSN 1369-8001 . S2CID 105579272 .

[20] «Одежда для чистых помещений и контролируемой среды — блог ANSI» . Блог ANSI . 15 июля 2015 г. Проверено 24 ноября 2018 г.

[21] «Комплекс обработки данных космической станции (SSPF)» . science.ksc.nasa.gov .

[22] «Классификация чистых помещений/Количество частиц/FS209E/ISO TC209/» . Архивировано из оригинала 14 февраля 2008 г. Проверено 5 марта 2008 г.

[23] «ISO 14644-1:2015 – Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 1. Классификация чистоты воздуха по концентрации частиц» . ИСО . 21 января 2016 года . Проверено 12 сентября 2016 г.

[Whyte2001-24] У. Уайт (17 октября 2001 г.). Технология чистых помещений: основы проектирования, испытаний и эксплуатации . Джон Уайли и сыновья. ISBN 978-0-471-86842-2 .

[25] «Отмена Федерального стандарта 209E» . www.iest.org .

[26] «Архивная копия» (PDF) . Архивировано из оригинала (PDF) 28 мая 2008 г. Проверено 17 апреля 2008 г. {{cite web}}: CS1 maint: архивная копия в заголовке ( ссылка ) , стр. 148

[27] «БЕЗОПАСНОСТЬ И ПРОТОКОЛ NUFAB» (PDF) . Проверено 24 февраля 2016 г. .

[28] Исследования, Центр оценки лекарств и (09.02.2019). «Положения Закона о FD&C, применимые к приготовлению лекарственных препаратов для человека» . FDA .

[29] «Понимание классификации чистых помещений» . Архивировано из оригинала 1 июня 2016 г. Проверено 21 августа 2015 г.

[30] Веб-сайт Market Venture Philippines Inc. (19 апреля 2006 г.). «Что такое чистая комната?» . Архивировано из оригинала 28 августа 2012 г. Проверено 2 июня 2007 г.

[31] «BS 5295-0:1989 – Экологическая чистота в закрытых помещениях. Общее введение, термины и определения для чистых помещений и устройств очистки воздуха» . 2016 . Проверено 18 апреля 2016 г.

[32] «Фармушка США 800 | Фармакопея США» . www.usp.org . Проверено 13 апреля 2020 г.

[33] «Полупроводниковые технологии в TSMC, 2011» . 26 марта 2011 г. Архивировано из оригинала 12 декабря 2021 г. - на YouTube.

[ 1 ]

[ 2 ]

[ 3 ]

[ 4 ]

[ 5 ]

[ 6 ]

[ 7 ]

[ 8 ]

[ 9 ]

[ 10 ]

[ 11 ]

[ 12 ]

[ 13 ]

[ 14 ]

[ 15 ]

[ 16 ]

[ 17 ]

[ 18 ]

[ 19 ]

[ 20 ]

[ 21 ]

[ 22 ]

[ 23 ]

[ 24 ]

[ 25 ]

[ 26 ]

[ 27 ]

[ 28 ]

[ 29 ]

[ 30 ]

[ 31 ]

[ 32 ]

[ 33 ]