Перфтородецилтрихлорсилан
| |
| Имена | |
|---|---|
| Имя IUPAC
Трихлор (3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-ГЕПТАДЕКАФЛУОРИЛЕКИЛ) СИЛАН
| |
| Другие имена
FDTS; Perfluorodecyltrichlorosilane; Perfluorooctylethyltrichlorosilane; 1H, 1H, 2H, 2H-перффлюородецилтрихлорсилан; Трихлор-1H, 1H, 2H, 2H-перффлюородецилсилан;
| |
| Идентификаторы | |
3D model ( JSmol )
|
|
| Chemspider | |
| Echa Infocard | 100.110.513 |
| ЕС номер |
|
PubChem CID
|
|
Comptox Dashboard ( EPA )
|
|
| Характеристики | |
| См 3 ( ср 2 ) 7 ( гл. 2 ) 2 sicl 3 | |
| Молярная масса | 581.556 [g/mol] |
| Появление | бесцветная жидкость |
| Запах | острый, напоминающий HCl |
| Плотность | 1,7 г/см 3 |
| Точка кипения | 224 ° C (435 ° F; 497 K) |
| гидролиз [ 1 ] | |
| Растворимость | Растворим в ТГФ , ТГП , Толуол и другие органические растворители [ 2 ] |
| Опасности | |
| Безопасность и гигиена труда (OHS/OSH): | |
Основные опасности
|
Влагой чувствительный |
За исключением случаев, когда отмечены, данные приведены для материалов в их стандартном состоянии (при 25 ° C [77 ° F], 100 кПа).
| |
Перфторуородецилтрихлорзилан , также известный как FDTS , представляет собой бесцветную жидкую химическую вещество с молекулярной формулой C 10 H 4 Cl 3 F 17 Si . Молекулы FDTS образуют самооборные монослои . Они образуют ковалентные кремниевые связи с группами свободных гидроксильных (-OH), таких как поверхности стекла, керамики или кремнезема .
Из -за сильно фторированной группы хвоста, монослой FDTS уменьшает поверхностную энергию . Осаждение монослоя FDTS достигается относительно простым процессом, также известным как молекулярное осаждение пара (MVD), которое обычно откладывает из пара фазы, при комнате до почти до комнаты (50 ° C) и, таким образом, совместимо с большинством субстраты. Процесс обычно проводится в вакуумной камере и помогает присутствовать водяного пара. Обработанные поверхности обладают водными репеллентами и трения снижением .
По этой причине монослой FDTS часто применяется к подвижным микропардам микроэлектромеханических систем ( MEMS ). [ 3 ] Монослой FDTS уменьшает поверхностную энергию и предотвращает прилипание, поэтому они используются для покрытия микро- и нано-функций на марок для литографии наноимпринта , которая становится методом выбора для изготовления электроники, органических фотодиодов , микрофлюидики и других.
Пониженная поверхностная энергия полезна для уменьшения силы выброса и применения деталей полимера в инъекционном литье и покрытии FDTS. [ 4 ] на некоторые металлические формовочные формовые формы и вставки.
Ссылки
[ редактировать ]- Сринивасан, U.; Хьюстон, мистер; Хоу, RT; Maboudian, R.; , «Самооспланированные монослойные пленки на основе алкилтрихлорзилана для восстановления стикции в кремниевых микромахах», микроэлектромеханические системы, журнал, Vol.7, № 2, с. 252–260, июнь 1998 года. DOI: 10.1109/84.679393
- Рубен Ба Шарп, Дирк Бурдинский, Джурьян Хаскенс, Гарольд Дж.В. Зандвлиет, Дэвид Н. Рейнхудт и Бене-Поэлсема, химически рисунок с плоскими марки для микроконтактной печать, журнал Американского химического общества 2005 127 (29), 10344-10349.
- Ashurst, WR, Carraro, C., и Maboudian R., «Парафа-фазовые покрытия против расточительства для MEMS», IEEE Transactions на устройстве и надежности материалов, Vol. 3, № 4, с. 173–178, 2003. DOI: 10.1109/TDMR.2003.821540
- ^ http://store.apolroscientific.co.uk/storage/msds/pc5979_msds.pdf [ только URL PDF ]
- ^ http://www.apolroscientific.co.uk/downloads/msds/pc5979_msds.pdf [ мертвая ссылка ]
- ^ Ashurst, WR (декабрь 2003 г.). «Паровая фаза антистаптационных покрытий для MEMS». IEEE транзакции на устройства и надежность материалов . 3 (4): 173–178. doi : 10.1109/tdmr.2003.821540 .
- ^ Cech J, Taboryski R (2012). «Стабильность монослойного покрытия FDTS на инструментах формования алюминия». Прикладная поверхностная наука . 259 : 538–541. Bibcode : 2012Apss..259..538c . doi : 10.1016/j.apsusc.2012.07.078 .