✖


Jump to content

Вакуумный насос

(Перенаправлено с Всасывающий насос )
является Воздуходувка Рутса одним из примеров вакуумного насоса.

Вакуумный насос — это тип насосного устройства, которое вытягивает газа частицы из герметичного объема , чтобы оставить после себя частичный вакуум . Первый вакуумный насос был изобретен в 1650 году Отто фон Герике , и ему предшествовал всасывающий насос, возникший еще в древности. [1]

История

[ редактировать ]

Ранние насосы

[ редактировать ]

Предшественником вакуумного насоса был всасывающий насос. Всасывающие насосы двойного действия были найдены в городе Помпеи . [2] Позже арабский инженер Аль-Джазари описал всасывающие насосы двойного действия как часть водоподъёмных машин 13 века. использовался всасывающий насос Он также рассказал, что в сифонах для сброса греческого огня . [3] Всасывающий насос позже появился в средневековой Европе с 15 века. [3] [4] [5]

Студентка Смольного института Екатерина Молчанова с вакуумным насосом, картина Дмитрия Левицкого , 1776 г.

К 17 веку конструкции водяных насосов улучшились до такой степени, что они создавали измеримый вакуум, но это не сразу было понято. Что было известно, так это то, что всасывающие насосы не могли поднимать воду выше определенной высоты: 18 флорентийских ярдов по измерениям, проведенным около 1635 года, или около 34 футов (10 м). [6] Этот предел был проблемой в проектах ирригации, дренажа шахт и декоративных фонтанов, запланированных герцогом Тосканы , поэтому герцог поручил Галилео Галилею исследовать эту проблему. » (1638 г.) ошибочно предположил, Галилей в своей книге «Две новые науки что колонна водяного насоса сломается под собственным весом, когда вода поднимется на высоту 34 фута. [6] Другие ученые приняли этот вызов, в том числе Гаспаро Берти , который повторил его, построив первый водный барометр в Риме в 1639 году. [7] Барометр Берти создавал вакуум над толщей воды, но он не мог это объяснить. Прорыв был сделан учеником Галилея Евангелистой Торричелли в 1643 году. Опираясь на записи Галилея, он построил первый ртутный барометр и убедительно доказал, что пространство наверху представляет собой вакуум. Затем высота колонны была ограничена максимальным весом, который могло выдержать атмосферное давление; это предельная высота всасывающего насоса. [8]

В 1650 году Отто фон Герике изобрел первый вакуумный насос. [9] Четыре года спустя он провел свой знаменитый эксперимент с Магдебургскими полушариями , показав, что упряжки лошадей не могут разделить два полушария, из которых был откачан воздух. Роберт Бойль усовершенствовал конструкцию Герике и провел эксперименты по изучению свойств вакуума. Роберт Гук также помог Бойлю создать воздушный насос, который помогал создавать вакуум.

К 1709 году Фрэнсис Хоксби еще больше усовершенствовал конструкцию, создав свой двухцилиндровый насос, в котором два поршня работали по реечной конструкции, которая, как сообщается, «давала идеальный вакуум с точностью до одного дюйма ртутного столба». [10] Этот дизайн оставался популярным и лишь незначительно менялся вплоть до девятнадцатого века. [10]

19 век

[ редактировать ]
Вакуумный аппарат Теслы, опубликованный в 1892 году.

Генрих Гейсслер изобрел ртутный поршневой насос в 1855 году. [10] и достиг рекордного вакуума около 10 Па (0,1 Торр ). На этом уровне вакуума становится возможным наблюдать ряд электрических свойств, а также возобновился интерес к вакууму. Это, в свою очередь, привело к разработке вакуумной лампы . [11] Насос Шпренгеля в то время был широко используемым вакуумным устройством. [10]

20 век

[ редактировать ]

В начале 20-го века были изобретены многие типы вакуумных насосов, в том числе молекулярный насос . [10] насос диффузионный , [12] и турбомолекулярный насос . [13]

Типы

[ редактировать ]

Насосы можно разделить на три категории: объемное вытеснение, передача импульса и захват. [14] [15] [16] В объемных насосах используется механизм многократного расширения полости, позволяющий газам течь из камеры, герметизировать полость и выбрасывать ее в атмосферу. Насосы для передачи импульса, также называемые молекулярными насосами, используют высокоскоростные струи плотной жидкости или высокоскоростные вращающиеся лопасти, чтобы выбивать молекулы газа из камеры. Улавливающие насосы улавливают газы в твердом или адсорбированном состоянии; сюда входят крионасосы , геттеры и ионные насосы . [14] [15]

Насосы объемного действия наиболее эффективны при низком вакууме. Насосы для передачи импульса в сочетании с одним или двумя объемными насосами представляют собой наиболее распространенную конфигурацию, используемую для достижения высокого вакуума. В этой конфигурации объемный насос служит двум целям. Сначала он создает грубый вакуум в откачиваемом сосуде, прежде чем насос для передачи импульса можно будет использовать для получения высокого вакуума, поскольку насосы для передачи импульса не могут начать откачку при атмосферном давлении. Во-вторых, объемный насос поддерживает насос передачи импульса, откачивая в низкий вакуум скопление перемещенных молекул в высоком вакуумном насосе. Для достижения сверхвысокого вакуума можно добавить улавливающие насосы, но они требуют периодической регенерации поверхностей, улавливающих молекулы или ионы воздуха. Из-за этого требования их доступное время работы может быть неприемлемо коротким в низком и высоком вакууме, что ограничивает их использование сверхвысоким вакуумом. Насосы также различаются такими деталями, как производственные допуски, материал уплотнений, давление, расход, допуск или отсутствие пропуска масляных паров, интервалы технического обслуживания, надежность, устойчивость к пыли, устойчивость к химическим веществам, устойчивость к жидкостям и вибрации. [14] [15] [16]

Объемный насос

[ редактировать ]
Ручной водяной насос закачивает воду из колодца, создавая вакуум, который вода устремляется заполнить. В каком-то смысле он вакуумирует скважину, хотя высокая скорость утечки грязи не позволяет поддерживать вакуум высокого качества в течение какого-либо периода времени.
Механизм спирального насоса

Частичный вакуум можно создать за счет увеличения объема контейнера. Чтобы продолжать вакуумирование камеры бесконечно, не требуя бесконечного роста, вакуумный отсек можно неоднократно перекрывать, опорожнять и снова расширять. На этом принципе основан поршневой насос , например, ручной водяной насос. Внутри насоса механизм расширяет небольшую герметичную полость, чтобы снизить давление ниже атмосферного. Из-за перепада давления некоторое количество жидкости из камеры (или скважины, в нашем примере) выталкивается в небольшую полость насоса. Затем полость насоса изолируется от камеры, открывается в атмосферу и сжимается до мельчайших размеров. [14] [16]

Для большинства промышленных применений используются более сложные системы, но основной принцип циклического удаления объема тот же: [17] [18]

Базовое давление системы поршневого насоса с резиновым и пластиковым уплотнением обычно составляет от 1 до 50 кПа, в то время как спиральный насос может достигать 10 Па (в новом состоянии), а пластинчато-роторный масляный насос с чистой и пустой металлической камерой может легко достигать 0,1 Па. Па.

Вакуумный насос объемного типа перемещает один и тот же объем газа в каждом цикле, поэтому его скорость откачки постоянна, если она не преодолевается обратным потоком.

Насос для передачи импульса

[ редактировать ]
Вид в разрезе турбомолекулярного высоковакуумного насоса.

В насосе передачи импульса (или кинетическом насосе [16] ), молекулы газа ускоряются от стороны вакуума к стороне выпуска (которая обычно поддерживается при пониженном давлении с помощью объемного насоса). Накачка с передачей импульса возможна только при давлении ниже около 0,1 кПа. Вещество течет по-разному при разных давлениях в зависимости от законов гидродинамики . При атмосферном давлении и умеренном вакууме молекулы взаимодействуют друг с другом и толкают соседние молекулы в так называемом вязком потоке. Когда расстояние между молекулами увеличивается, молекулы взаимодействуют со стенками камеры чаще, чем с другими молекулами, и молекулярная накачка становится более эффективной, чем накачка положительного вытеснения. Этот режим обычно называют высоким вакуумом. [14] [16]

Молекулярные насосы очищают большую площадь, чем механические, и делают это чаще, что позволяет им обеспечивать гораздо более высокие скорости откачки. Делают они это за счет уплотнения между вакуумом и выхлопом. Поскольку уплотнения нет, небольшое давление на выпуске может легко вызвать обратный поток через насос; это называется стойло. Однако в высоком вакууме градиенты давления мало влияют на потоки жидкости, и молекулярные насосы могут полностью раскрыть свой потенциал.

Двумя основными типами молекулярных насосов являются диффузионный насос и турбомолекулярный насос . Оба типа насосов выдувают молекулы газа, которые диффундируют в насос, сообщая молекулам газа импульс. Диффузионные насосы выдувают молекулы газа струями масла или паров ртути, а турбомолекулярные насосы используют высокоскоростные вентиляторы для выталкивания газа. Оба этих насоса заглохнут и перестанут перекачивать, если спустить воздух непосредственно до атмосферного давления, поэтому их необходимо откачивать до вакуума более низкой степени, создаваемого механическим насосом, в данном случае называемым форвакуумным насосом. [16]

Как и в случае с поршневыми насосами, базовое давление будет достигнуто, когда утечка, выделение газа и обратный поток будут равны скорости насоса, но теперь минимизация утечки и газовыделения до уровня, сравнимого с обратным потоком, становится намного сложнее.

Улавливающий насос

[ редактировать ]

может Улавливающий насос представлять собой крионасос , который использует низкие температуры для конденсации газов до твердого или адсорбированного состояния, химический насос, который реагирует с газами с образованием твердого остатка, или ионный насос , который использует сильные электрические поля для ионизации газов и продвигать ионы в твердую подложку. Криомодуль использует криооткачку . Другими типами являются сорбционный насос , неиспарительный геттерный насос и титановый сублимационный насос (тип испарительного геттера, который можно использовать повторно). [14] [15]

Другие типы

[ редактировать ]

Регенеративный насос

[ редактировать ]
Основная статья: Насос § Регенеративные турбинные насосы

Регенеративные насосы используют вихревое поведение жидкости (воздуха). Конструкция основана на гибридной концепции центробежного насоса и турбонасоса. Обычно он состоит из нескольких наборов перпендикулярных зубьев на роторе, циркулирующих молекулы воздуха внутри неподвижных полых канавок, как в многоступенчатом центробежном насосе. Они могут достигать 1×10 −5 мбар (0,001 Па) (при сочетании с насосом Holweck) и напрямую выбрасывать воздух до атмосферного давления. Примерами таких насосов являются Edwards EPX. [19] (техническая документация [20] ) и Pfeiffer OnTool™ Booster 150. [21] Иногда его называют насосом бокового канала. Благодаря высокой скорости откачки из атмосферы в высокий вакуум и меньшему загрязнению, поскольку подшипник может быть установлен на стороне выхлопа, насосы этого типа используются для блокировки нагрузки в процессах производства полупроводников.

Этот тип насоса отличается высоким энергопотреблением (~ 1 кВт) по сравнению с турбомолекулярным насосом (<100 Вт) при низком давлении, поскольку большая часть энергии расходуется на поддержание атмосферного давления. Это можно уменьшить почти в 10 раз, используя небольшой насос. [22]

Больше примеров

[ редактировать ]

Дополнительные типы насосов включают в себя:

Показатели эффективности

[ редактировать ]

Скорость откачки относится к объемному расходу насоса на входе, часто измеряемому в объеме в единицу времени. Насосы для передачи импульса и улавливания более эффективны для одних газов, чем для других, поэтому скорость откачки может быть разной для каждого из перекачиваемых газов, а средний объемный расход насоса будет варьироваться в зависимости от химического состава газов, остающихся в палата. [23]

Пропускная способность представляет собой скорость откачки, умноженную на давление газа на входе, и измеряется в единицах давление·объем/единица времени. При постоянной температуре производительность пропорциональна количеству молекул, перекачиваемых в единицу времени, и, следовательно, массовому расходу насоса. При обсуждении утечки в системе или обратного потока через насос под пропускной способностью понимают объемную скорость утечки, умноженную на давление на вакуумной стороне утечки, поэтому пропускную способность утечки можно сравнить с производительностью насоса. [23]

Насосы объемного действия и передачи импульса имеют постоянный объемный расход (скорость откачки), но по мере падения давления в камере этот объем содержит все меньше и меньше массы. Таким образом, хотя скорость откачки остается постоянной, производительность и массовый расход падают экспоненциально. Между тем, скорости утечки, испарения , сублимации и обратного потока продолжают обеспечивать постоянную пропускную способность системы. [23]

Техники

[ редактировать ]

Вакуумные насосы объединяются с камерами и рабочими процедурами в самые разнообразные вакуумные системы. используется более одного насоса ( последовательно или параллельно Иногда в одном приложении ). Частичный вакуум или грубый вакуум можно создать с помощью поршневого насоса, который транспортирует газовую нагрузку от впускного отверстия к выпускному (выпускному) отверстию. Из-за своих механических ограничений такие насосы могут создавать только низкий вакуум. Для достижения более высокого вакуума затем необходимо использовать другие методы, обычно последовательно (обычно после первоначальной быстрой откачки с помощью объемного насоса). Некоторыми примерами может быть использование пластинчато-роторного насоса с масляным уплотнением (наиболее распространенный насос объемного типа) в сочетании с диффузионным насосом или сухоспирального насоса в сочетании с турбомолекулярным насосом. Существуют и другие комбинации в зависимости от искомого уровня вакуума.

Достижение высокого вакуума затруднено, поскольку все материалы, подвергающиеся воздействию вакуума, должны быть тщательно оценены на предмет их дегазации и давления пара . Например, масла, смазки , а также резиновые или пластиковые прокладки, используемые в качестве уплотнений вакуумной камеры, не должны выкипать под воздействием вакуума, иначе выделяемые ими газы будут препятствовать созданию желаемой степени вакуума. Часто все поверхности, подвергающиеся воздействию вакуума, необходимо обжигать при высокой температуре, чтобы удалить адсорбированные газы. [24]

Выделение газов также можно уменьшить путем простого высушивания перед вакуумной откачкой. [24] Для систем высокого вакуума обычно требуются металлические камеры с металлическими уплотнениями, такими как фланцы Кляйна или фланцы ISO, а не резиновые прокладки, более распространенные в уплотнениях камер с низким вакуумом. [25] Система должна быть чистой и свободной от органических веществ, чтобы свести к минимуму выделение газа. Все материалы, твердые или жидкие, имеют небольшое давление пара, и их выделение газа становится важным, когда давление вакуума падает ниже этого давления пара. В результате многие материалы, которые хорошо работают в низком вакууме, например эпоксидная смола , станут источником газовыделения при более высоком вакууме. При соблюдении этих стандартных мер предосторожности вакуум в 1 мПа легко достигается с помощью различных молекулярных насосов. При тщательном проектировании и эксплуатации возможно значение 1 мкПа. [ нужна ссылка ]

Несколько типов насосов могут использоваться последовательно или параллельно. В типичной последовательности откачки для удаления большей части газа из камеры будет использоваться объемный насос, начиная с атмосферы (760 Торр , 101 кПа) до 25 Торр (3 кПа). Затем с помощью сорбционного насоса можно было бы снизить давление до 10 −4 Торр (10 мПа). Крионасос или турбомолекулярный насос будут использоваться для снижения давления до 10 бар. −8 Торр (1 мкПа). Дополнительный ионный насос можно запустить при температуре ниже 10 −6 Торр для удаления газов, с которыми крионасос или турбонасос не справляется должным образом, таких как гелий или водород . [ нужна ссылка ]

Сверхвысокий вакуум обычно требует специально изготовленного оборудования, строгих рабочих процедур и изрядного количества проб и ошибок. Системы сверхвысокого вакуума обычно изготавливаются из нержавеющей стали с металлическими прокладками с вакуумными фланцами . Систему обычно прогревают, предпочтительно в вакууме, чтобы временно поднять давление паров всех выделяющих газ материалов в системе и выпарить их. При необходимости такую ​​дегазацию системы можно провести и при комнатной температуре, но это занимает гораздо больше времени. После того, как основная часть выделяющих газ материалов выпарится и будет вакуумирована, систему можно охладить до более низкого давления паров, чтобы свести к минимуму остаточное выделение газов во время фактической эксплуатации. Некоторые системы охлаждаются до температуры значительно ниже комнатной с помощью жидкого азота, чтобы остановить остаточную дегазацию и одновременно закачать систему в криогенном режиме. [26]

В системах сверхвысокого вакуума необходимо учитывать некоторые очень странные пути утечки и источники газовыделения. Водопоглощение алюминия и палладия становится неприемлемым источником газовыделения, и даже поглощающую способность твердых металлов, таких как нержавеющая сталь или титан необходимо учитывать . Некоторые масла и смазки выкипают в условиях сильного вакуума. пористость металлических стенок вакуумной камеры , а направление зерен металлических фланцев должно быть параллельно их поверхности. Возможно, придется учитывать [26]

Необходимо учитывать влияние размера молекул. Молекулы меньшего размера легче просачиваются и легче поглощаются некоторыми материалами, а молекулярные насосы менее эффективны при перекачке газов с более низкой молекулярной массой. Система может быть в состоянии откачать азот (основной компонент воздуха) до желаемого вакуума, но камера все равно может быть заполнена остаточным атмосферным водородом и гелием. Сосуды, облицованные материалом с высокой газопроницаемостью, таким как палладий губку с высокой пропускной способностью (который представляет собой водородную ), создают особые проблемы с выделением газа. [26]

Приложения

[ редактировать ]

Вакуумные насосы используются во многих промышленных и научных процессах, в том числе:

В области регенерации и повторной переработки нефти вакуумные насосы создают низкий вакуум для обезвоживания нефти и высокий вакуум для очистки нефти. [44]

Вакуум можно использовать для питания или оказания помощи механическим устройствам. В с гибридными и дизельными двигателями автомобилях насос, установленный на двигателе (обычно на распределительном валу ), используется для создания вакуума. Вместо этого в бензиновых двигателях вакуум обычно создается как побочный эффект работы двигателя и ограничения потока, создаваемого дроссельной заслонкой , но может также дополняться вакуумным насосом с электрическим приводом для повышения эффективности торможения или снижения расхода топлива. . Этот вакуум затем можно использовать для питания следующих компонентов автомобиля: [45] вакуумный сервоусилитель для гидравлических тормозов , двигатели, приводящие в движение заслонки в системе вентиляции, привод дроссельной заслонки в круиз-контроля сервомеханизме , дверные замки или замки багажника.

В самолетах источник вакуума часто используется для питания гироскопов различных летных приборов . Чтобы предотвратить полную потерю приборов в случае сбоя в электросети , приборная панель специально спроектирована так, что некоторые приборы питаются от электричества, а другие приборы питаются от источника вакуума.

В зависимости от применения некоторые вакуумные насосы могут иметь либо электрический привод (с использованием электрического тока ), либо пневматический привод (с использованием давления воздуха ), либо приводиться в действие и приводиться в действие другими средствами . [46] [47] [48] [49]

Опасности

[ редактировать ]

Старые масла для вакуумных насосов, которые были произведены примерно до 1980 года, часто содержат смесь нескольких различных опасных полихлорированных бифенилов (ПХБ) , которые являются высокотоксичными , канцерогенными и стойкими органическими загрязнителями . [50] [51]

См. также

[ редактировать ]

Ссылки

[ редактировать ]
  1. ^ Крафт, Фриц (2013). Новые (так называемые) магдебургские эксперименты Отто фон Герике на пустом пространстве (на немецком языке). Издательство Спрингер. п. 55. ИСБН  978-3-662-00949-9 .
  2. ^ «Помпеи: Технологии: Рабочие модели: IMSS» .
  3. ^ Jump up to: а б Дональд Рутледж Хилл (1996), История техники в классические и средневековые времена , Рутледж , стр. 143 и 150-2.
  4. ^ Дональд Рутледж Хилл , «Машиностроение на Средневековом Ближнем Востоке», Scientific American , май 1991, стр. 64-69 ( см. Дональд Рутледж Хилл , Машиностроение )
  5. ^ Ахмад И Хасан . «Происхождение всасывающего насоса: Аль-Джазари, 1206 год нашей эры» . Архивировано из оригинала 26 февраля 2008 года . Проверено 16 июля 2008 г.
  6. ^ Jump up to: а б Гиллиспи, Чарльз Коулстон (1960). Грань объективности: Очерк истории научных идей . Принстон, Нью-Джерси: Издательство Принстонского университета. стр. 99–100. ISBN  0-691-02350-6 .
  7. ^ «Самый большой барометр в мире» . Архивировано из оригинала 16 февраля 2008 г. Проверено 30 апреля 2008 г.
  8. ^ Калверт 2000 , «Максимальная высота, на которую вода может быть поднята всасывающим насосом».
  9. ^ Харш, Виктор (ноябрь 2007 г.). «Отто фон Герике (1602–1686) и его новаторские эксперименты с вакуумом» . Авиационная, космическая и экологическая медицина . 78 (11): 1075–1077. дои : 10.3357/asem.2159.2007 . ISSN   0095-6562 . ПМИД   18018443 .
  10. ^ Jump up to: а б с д и ж да К. Андраде, EN (1953). «История вакуумного насоса» . Вакуум . 9 (1): 41–47. дои : 10.1016/0042-207X(59)90555-X .
  11. ^ Окамура, С., изд. (1994). История электронных ламп . Токио: Омша. стр. 7–11. ISBN  90-5199-145-2 . OCLC   30995577 .
  12. ^ Дейтон, BB (1994). «История развития термоядерных насосов». В Редхед, Пенсильвания (ред.). Вакуумная наука и техника : пионеры ХХ века : история вакуумной науки и техники том 2 . Нью-Йорк, штат Нью-Йорк: AIP Press для Американского вакуумного общества. стр. 107–13. ISBN  1-56396-248-9 . OCLC   28587335 .
  13. ^ Рыжая, Пенсильвания, изд. (1994). Вакуумная наука и техника : пионеры ХХ века : история вакуумной науки и техники том 2 . Нью-Йорк, штат Нью-Йорк: AIP Press для Американского вакуумного общества. п. 96. ИСБН  1-56396-248-9 . OCLC   28587335 .
  14. ^ Jump up to: а б с д и ж Ван Атта, СМ; М. Хаблянян (1991). «Вакуум и вакуумная техника». У Риты Г. Лернер ; Джордж Л. Тригг (ред.). Энциклопедия физики (второе изд.). VCH Publishers Inc., стр. 1330–1333. ISBN  978-3-527-26954-9 .
  15. ^ Jump up to: а б с д Ван дер Хайде, Пол (2014). Вторичная ионная масс-спектрометрия: введение в принципы и практику . Хобокен, Нью-Джерси. стр. 253–7. ISBN  978-1-118-91677-3 . OCLC   879329842 . {{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  16. ^ Jump up to: а б с д и ж Холлидей, бакалавр наук (1998). «Глава 3: Насосы» . Ин Чемберс, А. (ред.). Базовая вакуумная технология . РК Фитч, Б.С. Холлидей (2-е изд.). Бристоль: Паб Института физики. ISBN  0-585-25491-5 . OCLC   45727687 .
  17. ^ Экенес, Рольф Н. (2009). Справочник по южному морскому инженерному бюро . США: Xlibris Corp., стр. 139–40. ISBN  978-1-4415-2022-7 . OCLC   757731951 .
  18. ^ Кокер, А. Кайоде (2007). Прикладной технологический проект Людвига для химических и нефтехимических предприятий. Том 1 . Эрнест Э. Людвиг (4-е изд.). Амстердам: Elsevier Gulf Professional. п. 562. ИСБН  978-0-08-046970-6 . OCLC   86068934 .
  19. ^ «Встраиваемые высоковакуумные насосы EPX» . Архивировано из оригинала 20 февраля 2013 г. Проверено 16 января 2013 г.
  20. ^ «Эдвардс - Пылесос Эдвардса» (PDF) . 15 сентября 2013 г. Архивировано из оригинала (PDF) 15 сентября 2013 г.
  21. ^ Пфайфер Вакуум. «Насос с боковым каналом, Вакуумный насос для высокого вакуума - Pfeiffer Vacuum» . Пфайффер Вакуум . Архивировано из оригинала 7 октября 2014 года . Проверено 30 сентября 2022 г.
  22. ^ Ширинов А.; Обербек, С. (2011). «Высоковакуумный насос с боковым каналом, работающий против атмосферы». Вакуум . 85 (12): 1174–1177. Бибкод : 2011Vacuu..85.1174S . дои : 10.1016/j.vacuum.2010.12.018 .
  23. ^ Jump up to: а б с Хабланян, М.Х. (1997). «Глава 3: Принципы потока жидкости и откачки» . Высоковакуумная технология : практическое руководство (2-е изд., перераб. и доп. изд.). Нью-Йорк: Марсель Деккер. стр. 41–66. ISBN  0-585-13875-3 . OCLC   44959885 .
  24. ^ Jump up to: а б Хабланян, М.Х. (1997). «Глава 4: Вакуумные системы». Высоковакуумная технология : практическое руководство (2-е изд.). Нью-Йорк: Марсель Деккер. стр. 77–136. ISBN  0-585-13875-3 . OCLC   44959885 .
  25. ^ РАО, В В. (2012). «Глава 5: Вакуумные материалы и компоненты». ВАКУУМНАЯ НАУКА И ТЕХНОЛОГИЯ . [Sl]: СОЮЗНЫЕ ИЗДАТЕЛЬСТВА PVT LTD. стр. 110–48. ISBN  978-81-7023-763-1 . OCLC   1175913128 .
  26. ^ Jump up to: а б с Уэстон, Г.Ф. (1985). Практика сверхвысокого вакуума . Лондон: Баттервортс. ISBN  978-1-4831-0332-7 . OCLC   567406093 .
  27. ^ Розато, Доминик В. (2000). Справочник по литью под давлением . Дональд В. Розато, Марлен Г. Розато (3-е изд.). Бостон, Массачусетс: Springer US. п. 874. ИСБН  978-1-4615-4597-2 . OCLC   840285544 .
  28. ^ Лессард, Филип А. (2000). «Сухие вакуумные насосы для полупроводниковых процессов: Рекомендации по выбору первичного насоса» . Журнал вакуумной науки и технологий A: Вакуум, поверхности и пленки . 18 (4): 1777–1781. Бибкод : 2000JVSTA..18.1777L . дои : 10.1116/1.582423 . ISSN   0734-2101 .
  29. ^ Ёсимура, Нагамицу (2020). Обзор: Технология сверхвысокого вакуума для электронных микроскопов . Лондон. ISBN  978-0-12-819703-5 . OCLC   1141514098 . {{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  30. ^ Мюллер, Д. (19 июня 2020 г.). «Вакуумные технологии в медицине» . Мир вакуумной науки . Проверено 30 сентября 2022 г.
  31. ^ Снайдер, Райан (3 мая 2016 г.). «Оценка распространения технологии лазерного обогащения урана третьего поколения» . Наука и глобальная безопасность . 24 (2): 68–91. Бибкод : 2016S&GS...24...68S . дои : 10.1080/08929882.2016.1184528 . ISSN   0892-9882 . S2CID   37413408 .
  32. ^ Гинзтон, Эдвард Л.; Нунан, Крейг С. (1985). «История микроволновых линейных ускорителей электронов для лучевой терапии» . Международный журнал радиационной онкологии, биологии, физики . 11 (2): 205–216. дои : 10.1016/0360-3016(85)90141-5 . ПМИД   3918962 .
  33. ^ Клемм, Денис; Хоффманн, Волкер; Эдельманн, Кристиан (2009). «Управление материалоанализаторами типа ГД-ОЭС с помощью кривых откачки» . Вакуум . 84 (2): 299–303. Бибкод : 2009Вакуу..84..299К . дои : 10.1016/j.vacuum.2009.06.058 .
  34. ^ Гудвин, Д.; Кэмерон, А.; Рамсден, Дж. (2005). «Аспекты первичной вакуумной откачки в системах масс-спектрометрии» . Спектроскопия . 20 (1). и др.
  35. ^ Маттокс, DM (2003). Основы технологии вакуумного покрытия: [краткий обзор открытий, изобретений и людей, стоящих за вакуумным покрытием, в прошлом и настоящем] . Норидж, Нью-Йорк: Noyes Publications/William Andrew Pub. ISBN  978-0-8155-1925-6 . ОСЛК   310215197 .
  36. ^ Розанов, Л.Н. (04.04.2002). Вакуумная техника (0-е изд.). ЦРК Пресс. дои : 10.1201/9781482288155 . ISBN  978-1-4822-8815-5 .
  37. ^ Номура, Такахиро; Окинака, Нориюки; Акияма, Томохиро (2009). «Пропитка пористого материала материалом с фазовым переходом для хранения тепловой энергии» . Химия и физика материалов . 115 (2–3): 846–850. doi : 10.1016/j.matchemphys.2009.02.045 .
  38. ^ Латтиефф, Фаркад А.; Атия, Мохаммед А.; Аль-Хемири, Адель А. (2019). «Испытание системы кондиционирования воздуха с солнечной адсорбцией, работающей от вакуумных трубчатых коллекторов, в климатических условиях Ирака» . Возобновляемая энергия . 142 : 20–29. doi : 10.1016/j.renene.2019.03.014 . S2CID   116823643 .
  39. ^ Джонсон, Джефф; Мартен, Адам; Теллез, Гильерно (15 июля 2012 г.). «Проектирование высокоэффективного и высокопроизводительного уплотнителя отходов расплава пластика» . 42-я Международная конференция по экологическим системам . Международная конференция по экологическим системам (ICES). Сан-Диего, Калифорния: Американский институт аэронавтики и астронавтики. дои : 10.2514/6.2012-3544 . ISBN  978-1-60086-934-1 .
  40. ^ Берман, А. (1992). Вакуумные расчеты, формулы и решенные упражнения . Оксфорд: Elsevier Science. ISBN  978-0-323-14041-6 . OCLC   829460307 .
  41. ^ Батлер, Дэвид (2018). «Глава 14: Насосные системы». Городской дренаж . Крис Дигман, Христос Макропулос, Джон В. Дэвис (4-е изд.). Бока-Ратон, Флорида. стр. 293–314. ISBN  978-1-4987-5059-2 . OCLC   1004770084 . {{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  42. ^ Хэсли, Питер (2018). Сублимационная сушка . Георг-Вильгельм Этьен (3-е изд.). Вайнхайм, Германия. ISBN  978-3-527-80894-6 . OCLC   1015682292 . {{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  43. ^ Николас, Натан; Шаффер, Брайс (24 февраля 2020 г.). «Цельнометаллический спиральный вакуумный насос для систем переработки трития» . Наука и технология термоядерного синтеза . 76 (3): 366–372. Бибкод : 2020FuST...76..366N . дои : 10.1080/15361055.2020.1712988 . S2CID   214329842 . Проверено 2 июня 2021 г.
  44. ^ Спейт, Джеймс; Эксалл, Дуглас (2014). Переработка отработанных смазочных масел . Бока-Ратон: CRC Press . ISBN  9781466551503 .
  45. ^ «Универсальный электрический вакуумный насос UP28» . Хелла. Архивировано из оригинала 3 апреля 2014 года . Проверено 14 июня 2013 г.
  46. ^ «Вакуумные насосы» . Знание вакуума . Дж. Шмальц ГмбХ . Проверено 30 сентября 2022 г.
  47. ^ «Генератор вакуума» . Знание вакуума . Дж. Шмальц ГмбХ . Проверено 30 сентября 2022 г.
  48. ^ «Как работает вакуумный насос» . Аризона Пневматик . Проверено 30 сентября 2022 г.
  49. ^ Ботт, Д. «Все тонкости вакуумных генераторов» . Доктор Вакуум . ООО «Дэн Ботт Консалтинг» . Проверено 30 сентября 2022 г.
  50. ^ Мартин Дж. Бродхерст (октябрь 1972 г.). «Использование и заменимость полихлорированных дифенилов» . Перспективы гигиены окружающей среды . 2 : 81–102. дои : 10.2307/3428101 . JSTOR   3428101 . ПМЦ   1474898 . ПМИД   4628855 .
  51. ^ Си Джей Макдональд и Р. Э. Туранжо (1986). ПХБ: Руководство по вопросам и ответам относительно полихлорированных дифенилов . Правительство Канады: Департамент окружающей среды Канады. ISBN  978-0-662-14595-0 . Проверено 7 ноября 2007 г.

Библиография

[ редактировать ]
[ редактировать ]
Викискладе есть медиафайлы по теме вакуумных насосов .
Retrieved from "https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Vacuum_pump&oldid=1224489451#History"
Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: 5c023b603486f194e3ee49fe90fc692f__1716047520
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/5c/2f/5c023b603486f194e3ee49fe90fc692f.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
Vacuum pump - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)