✖


Jump to content

Кремниевая фотоника

(Перенаправлено с Кремниевой фотоники )

Кремниевая фотоника — это исследование и применение фотонных используется систем, в которых кремний в качестве оптической среды . [ 1 ] [ 2 ] [ 3 ] [ 4 ] [ 5 ] Кремний обычно разделяется с точностью до субмикрометра . на микрофотонные компоненты [ 4 ] Они работают в инфракрасном диапазоне , чаще всего на длине волны 1,55 микрометра , используемой в большинстве волоконно-оптических телекоммуникационных систем. [ 6 ] Кремний обычно лежит поверх слоя кремнезема в том, что (по аналогии с аналогичной конструкцией в микроэлектронике ) известно как кремний на изоляторе ( КНИ ). [ 4 ] [ 5 ]

Кремниевая фотоника 300 мм пластина

Кремниевые фотонные устройства могут быть изготовлены с использованием существующих технологий изготовления полупроводников , а поскольку кремний уже используется в качестве подложки для большинства интегральных схем , можно создавать гибридные устройства, в которых оптические и электронные компоненты интегрированы в один микрочип. [ 6 ] Следовательно, кремниевая фотоника активно исследуется многими производителями электроники, включая IBM и Intel , а также академическими исследовательскими группами как средство соблюдения закона Мура за счет использования оптических соединений для обеспечения более быстрой передачи данных как между микрочипами , так и внутри них. . [ 7 ] [ 8 ] [ 9 ]

Распространение света через кремниевые устройства определяется рядом нелинейных оптических явлений, включая эффект Керра , эффект Рамана , двухфотонное поглощение и взаимодействие между фотонами и свободными носителями заряда . [ 10 ] Наличие нелинейности имеет фундаментальное значение, так как позволяет свету взаимодействовать со светом. [ 11 ] что позволяет использовать такие приложения, как преобразование длины волны и полностью оптическая маршрутизация сигналов, в дополнение к пассивной передаче света.

Кремниевые волноводы также представляют большой академический интерес, поскольку благодаря своим уникальным направляющим свойствам их можно использовать для связи, межсоединений, биосенсоров, [ 12 ] [ 13 ] и они предлагают возможность поддерживать экзотические нелинейные оптические явления, такие как распространение солитонов . [ 14 ] [ 15 ] [ 16 ]

Приложения

[ редактировать ]

Оптическая связь

[ редактировать ]

В типичной оптической линии данные сначала передаются из электрической области в оптическую с помощью электрооптического модулятора или лазера с прямой модуляцией. Электрооптический модулятор может изменять интенсивность и/или фазу оптической несущей. В кремниевой фотонике обычным методом модуляции является изменение плотности свободных носителей заряда. Вариации плотности электронов и дырок изменяют действительную и мнимую часть показателя преломления кремния, как это описывается эмпирическими уравнениями Сорефа и Беннета. [ 17 ] с прямым смещением Модуляторы могут состоять из PIN-диодов , которые обычно генерируют большие фазовые сдвиги, но имеют более низкую скорость. [ 18 ] а также обратносмещенных PN-переходов . [ 19 ] Продемонстрирован прототип оптического межсоединения с микрокольцевыми модуляторами, интегрированными с германиевыми детекторами. [ 20 ] [ 21 ] Нерезонансные модуляторы, такие как интерферометры Маха-Цендера , имеют типичные размеры в миллиметровом диапазоне и обычно используются в телекоммуникационных приложениях или приложениях передачи данных. Резонансные устройства, например кольцевые резонаторы, могут иметь размеры всего несколько десятков микрометров, занимая поэтому гораздо меньшую площадь. В 2013 году исследователи продемонстрировали резонансный модулятор истощения, который можно изготовить с использованием стандартных производственных процессов комплементарного металл-оксид-полупроводник кремний-на-изоляторе (SOI CMOS). [ 22 ] Подобное устройство было продемонстрировано и в объемной CMOS, а не в SOI. [ 23 ] [ 24 ]

На стороне приемника оптический сигнал обычно преобразуется обратно в электрический домен с помощью полупроводникового фотодетектора . Полупроводник, используемый для генерации носителей, обычно имеет ширину запрещенной зоны, меньшую, чем энергия фотона, и наиболее распространенным выбором является чистый германий. [ 25 ] [ 26 ] Большинство детекторов используют PN-переход для вывода носителей, однако детекторы на основе переходов металл-полупроводник (с германием в качестве полупроводника) также интегрируются в кремниевые волноводы. [ 27 ] Совсем недавно были изготовлены кремний-германиевые лавинные фотодиоды, способные работать со скоростью 40 Гбит/с. [ 28 ] [ 29 ] Полные трансиверы поступили в продажу в виде активных оптических кабелей. [ 30 ]

Оптические коммуникации удобно классифицировать по радиусу действия или длине их каналов. Большинство кремниевых фотонных коммуникаций до сих пор ограничивались телекоммуникациями. [ 31 ] и приложения для передачи данных, [ 32 ] [ 33 ] где радиус действия составляет несколько километров или несколько метров соответственно.

Однако ожидается, что кремниевая фотоника сыграет значительную роль и в компьютерной связи, где оптические линии связи имеют радиус действия в диапазоне от сантиметра до метра. Фактически, прогресс в компьютерных технологиях (и продолжение действия закона Мура ) становится все более зависимым от более быстрой передачи данных между микрочипами и внутри них. [ 34 ] Оптические межсоединения могут обеспечить путь вперед, а кремниевая фотоника может оказаться особенно полезной после ее интеграции в стандартные кремниевые чипы. [ 6 ] [ 35 ] [ 36 ] В 2006 году старший вице-президент Intel (и будущий генеральный директор) Пэт Гелсингер заявил: «Сегодня оптика — это нишевая технология. Завтра она станет основной для каждого чипа, который мы создаем». [ 8 ] В 2010 году Intel продемонстрировала соединение со скоростью 50 Гбит/с, созданное с помощью кремниевой фотоники. [ 37 ]

Первый микропроцессор с оптическим вводом/выводом (I/O) был продемонстрирован в декабре 2015 года с использованием подхода, известного как КМОП-фотоника с «нулевыми изменениями». [ 38 ] Это известно как «волокно к процессору». [ 39 ] Эта первая демонстрация была основана на узле SOI 45 нм, а двунаправленная связь между чипами работала со скоростью 2×2,5 Гбит/с. Общее энергопотребление линии связи было рассчитано как 16 пДж/б, и в нем преобладала доля внечипового лазера.

встроенный в кристалл лазерный источник. Некоторые исследователи полагают, что необходим [ 40 ] Другие считают, что он должен оставаться вне кристалла из-за тепловых проблем (квантовая эффективность снижается с температурой, а компьютерные чипы обычно нагреваются) и из-за проблем совместимости с КМОП. Одним из таких устройств является гибридный кремниевый лазер , в котором кремний связан с другим полупроводником (например, фосфидом индия ) в качестве лазерной среды . [ 41 ] Другие устройства включают полностью кремниевый рамановский лазер. [ 42 ] или полностью кремниевые лазеры Бриллюэна [ 43 ] где кремний служит лазерной средой.

В 2012 году IBM объявила, что разработала оптические компоненты размером 90 нанометров, которые можно производить с использованием стандартных технологий и включать в обычные чипы. [ 7 ] [ 44 ] В сентябре 2013 года Intel анонсировала технологию передачи данных на скорости 100 гигабит в секунду по кабелю диаметром около пяти миллиметров для соединения серверов внутри центров обработки данных. Обычные кабели передачи данных PCI-E передают данные со скоростью до восьми гигабит в секунду, а сетевые кабели достигают скорости 40 Гбит/с. Последняя версия стандарта USB достигает максимальной скорости в десять Гбит/с. Эта технология не заменяет напрямую существующие кабели, поскольку для взаимного преобразования электрических и оптических сигналов требуется отдельная печатная плата. Его повышенная скорость позволяет сократить количество кабелей, соединяющих блейды в стойке, и даже разделить процессор, хранилище и память на отдельные блейды, чтобы обеспечить более эффективное охлаждение и динамическую настройку. [ 45 ]

Графеновые фотодетекторы потенциально могут превзойти германиевые устройства в нескольких важных аспектах, хотя они по-прежнему примерно на порядок отстают от нынешних генерирующих мощностей, несмотря на быстрое улучшение. Графеновые устройства могут работать на очень высоких частотах и ​​в принципе могут достигать более высокой пропускной способности. Графен может поглощать более широкий диапазон длин волн, чем германий. Это свойство можно использовать для одновременной передачи большего количества потоков данных в одном и том же луче света. В отличие от германиевых детекторов, графеновые фотодетекторы не требуют приложенного напряжения, что может снизить потребности в энергии. Наконец, графеновые детекторы в принципе допускают более простую и менее дорогую интеграцию на кристалле. Однако графен не сильно поглощает свет. Соединение кремниевого волновода с листом графена лучше направляет свет и максимизирует взаимодействие. Первое такое устройство было продемонстрировано в 2011 году. Изготовление таких устройств с использованием традиционных технологий производства не демонстрировалось. [ 46 ]

Оптические маршрутизаторы и процессоры сигналов

[ редактировать ]

Другое применение кремниевой фотоники – маршрутизаторы сигналов для оптической связи . Конструкцию можно значительно упростить, изготовив оптические и электронные части на одном чипе, а не распределяя их по нескольким компонентам. [ 47 ] Более широкой целью является полностью оптическая обработка сигналов, при которой задачи, которые обычно выполняются путем манипулирования сигналами в электронной форме, выполняются непосредственно в оптической форме. [ 3 ] [ 48 ] Важным примером является полностью оптическая коммутация , при которой маршрутизация оптических сигналов напрямую контролируется другими оптическими сигналами. [ 49 ] Другой пример — полностью оптическое преобразование длины волны. [ 50 ]

В 2013 году стартап-компания «Compass-EOS», базирующаяся в Калифорнии и Израиле , первой представила коммерческий маршрутизатор «кремний-фотоника». [ 51 ]

Телекоммуникации дальнего действия с использованием кремниевой фотоники

[ редактировать ]

Кремниевая микрофотоника потенциально может увеличить пропускную способность Интернета , предоставляя микромасштабные устройства со сверхнизким энергопотреблением. , энергопотребление центров обработки данных Кроме того, если это будет успешно достигнуто может быть значительно снижено. Исследователи из Сандии , [ 52 ] Kotura, NTT , Fujitsu и различные академические институты пытались доказать эту функциональность. В статье 2010 года сообщалось о прототипе передачи данных на расстояние 80 км со скоростью 12,5 Гбит/с с использованием кремниевых микрокольцевых устройств. [ 53 ]

Дисплеи светового поля

[ редактировать ]

По состоянию на 2015 год американский стартап Magic Leap работает над чипом светового поля , использующим кремниевую фотонику для отображения дополненной реальности . [ 54 ]

Искусственный интеллект

[ редактировать ]

Кремниевая фотоника используется в процессорах вывода искусственного интеллекта, которые более энергоэффективны, чем процессоры, использующие обычные транзисторы. Это можно сделать с помощью интерферометров Маха-Цендера (ИМЦ), которые можно комбинировать с наноэлектромеханическими системами для модуляции проходящего через него света путем физического изгиба ИМЦ, что изменяет фазу света. [ 55 ] [ 56 ] [ 57 ]

Физические свойства

[ редактировать ]

Оптическое наведение и настройка дисперсии

[ редактировать ]

Кремний прозрачен для инфракрасного света с длиной волны более 1,1 микрометра. [ 58 ] Кремний также имеет очень высокий показатель преломления , около 3,5. [ 58 ] Плотное оптическое ограничение, обеспечиваемое этим высоким индексом, позволяет создавать микроскопические оптические волноводы , размеры поперечного сечения которых могут составлять всего несколько сотен нанометров . [ 10 ] Одномодовое распространение может быть достигнуто, [ 10 ] таким образом (как и одномодовое оптическое волокно ) устраняется проблема модовой дисперсии .

Сильные диэлектрические граничные эффекты , возникающие в результате такого жесткого ограничения, существенно изменяют закон оптической дисперсии . Выбрав геометрию волновода, можно настроить дисперсию так, чтобы она имела желаемые свойства, что имеет решающее значение для приложений, требующих сверхкоротких импульсов. [ 10 ] В частности, дисперсию групповой скорости (то есть степень изменения групповой скорости можно точно контролировать в зависимости от длины волны). В объемном кремнии размером 1,55 микрометра дисперсия групповой скорости (ДГС) является нормальной , поскольку импульсы с более длинными волнами распространяются с более высокой групповой скоростью, чем импульсы с более короткой длиной волны. Однако, выбрав подходящую геометрию волновода, можно обратить это вспять и добиться аномальной ДГС, при которой импульсы с более короткими длинами волн распространяются быстрее. [ 59 ] [ 60 ] [ 61 ] Аномальная дисперсия имеет большое значение, поскольку является предпосылкой для распространения солитонов и модуляционной нестабильности . [ 62 ]

Чтобы кремниевые фотонные компоненты оставались оптически независимыми от основного кремния пластины, на которой они изготовлены, необходимо иметь слой промежуточного материала. Обычно это кремнезем , который имеет гораздо более низкий показатель преломления (около 1,44 в интересующей области длин волн). [ 63 ] ), и, таким образом, свет на границе раздела кремний-кремний будет (как и свет на границе кремний-воздух) подвергаться полному внутреннему отражению и оставаться в кремнии. Эта конструкция известна как кремний на изоляторе. [ 4 ] [ 5 ] Он назван в честь технологии кремния на изоляторе в электронике, при которой компоненты размещаются на слое изолятора , чтобы уменьшить паразитную емкость и тем самым улучшить производительность. [ 64 ] Кремниевая фотоника также была создана с использованием нитрида кремния в качестве материала оптических волноводов. [ 65 ] [ 66 ]

Керровская нелинейность

[ редактировать ]

Кремний обладает фокусирующей керровской нелинейностью , заключающейся в том, что показатель преломления увеличивается с увеличением оптической интенсивности. [ 10 ] Этот эффект не особенно силен в объемном кремнии, но его можно значительно усилить, используя кремниевый волновод для концентрации света на очень малой площади поперечного сечения. [ 14 ] Это позволяет нелинейные оптические наблюдать эффекты при малом увеличении. Нелинейность можно еще больше усилить, используя щелевой волновод , в котором высокий показатель преломления кремния используется для удержания света в центральной области, заполненной сильно нелинейным полимером . [ 67 ]

Керровская нелинейность лежит в основе множества оптических явлений. [ 62 ] Одним из примеров является четырехволновое смешивание , которое применялось в кремнии для реализации оптического параметрического усиления . [ 68 ] параметрическое преобразование длины волны, [ 50 ] и генерация частотной гребенки., [ 69 ] [ 70 ]

Керровская нелинейность также может вызывать модуляционную нестабильность , при которой она усиливает отклонения от формы оптического сигнала, что приводит к генерации боковых спектральных полос и возможному распаду формы сигнала на последовательность импульсов. [ 71 ] Другой пример (описанный ниже) — распространение солитона.

Двухфотонное поглощение

[ редактировать ]

Кремний демонстрирует двухфотонное поглощение (ДФА), при котором пара фотонов может возбуждать пару электрон-дырка . [ 10 ] Этот процесс связан с эффектом Керра и по аналогии с комплексным показателем преломления может рассматриваться как мнимая -часть сложной керровской нелинейности. [ 10 ] На длине волны телекоммуникаций 1,55 микрометра эта мнимая часть составляет примерно 10% от действительной части. [ 72 ]

Влияние TPA очень разрушительно, поскольку оно одновременно теряет свет и выделяет нежелательное тепло . [ 73 ] Однако его можно смягчить, либо переключившись на более длинные волны (при которых отношение TPA к Керру падает), [ 74 ] или с помощью щелевых волноводов (в которых внутренний нелинейный материал имеет более низкое отношение TPA к Керру). [ 67 ] Альтернативно, энергия, потерянная из-за TPA, может быть частично восстановлена ​​(как описано ниже) путем извлечения ее из генерируемых носителей заряда. [ 75 ]

Бесплатное взаимодействие с носителями заряда

[ редактировать ]

Свободные носители заряда внутри кремния могут как поглощать фотоны, так и изменять его показатель преломления. [ 76 ] Это особенно важно при высоких интенсивностях и длительной продолжительности из-за того, что концентрация носителей создается за счет ТРА. Влияние свободных носителей заряда часто (но не всегда) нежелательно, и для их устранения предлагались различные способы. Одна из таких схем — имплантация кремния гелием для усиления рекомбинации носителей . [ 77 ] Подходящий выбор геометрии также может быть использован для сокращения срока службы носителя. Ребристые волноводы (в которых волноводы состоят из более толстых областей в более широком слое кремния) усиливают как рекомбинацию носителей на границе раздела кремний-кремний, так и диффузию носителей из сердцевины волновода. [ 78 ]

Более совершенная схема удаления носителей заключается в интеграции волновода во внутреннюю область , PIN-диода который смещен в обратном направлении, так что носители оттягиваются от сердцевины волновода. [ 79 ] Еще более сложная схема заключается в использовании диода как части цепи, в которой напряжение и ток не совпадают по фазе, что позволяет извлекать мощность из волновода. [ 75 ] Источником этой мощности является свет, потерянный в результате поглощения двух фотонов, поэтому, восстанавливая часть его, можно уменьшить чистые потери (и скорость выделения тепла).

Как упоминалось выше, эффекты свободных носителей заряда можно использовать и конструктивно, для модуляции света. [ 18 ] [ 19 ] [ 80 ]

Нелинейность второго порядка

[ редактировать ]

Нелинейности второго порядка не могут существовать в объемном кремнии из-за центросимметрии его кристаллической структуры. Однако при приложении деформации инверсионную симметрию кремния можно нарушить. Этого можно добиться, например, путем нанесения слоя нитрида кремния на тонкую пленку кремния. [ 81 ] Нелинейные явления второго порядка можно использовать для оптической модуляции , спонтанного параметрического преобразования с понижением частоты , параметрического усиления , сверхбыстрой обработки оптического сигнала и генерации среднего инфракрасного диапазона . Однако эффективное нелинейное преобразование требует согласования фаз между задействованными оптическими волнами. Нелинейные волноводы второго порядка на основе деформированного кремния могут обеспечить фазовый синхронизм с помощью дисперсионной техники . [ 82 ] Однако до сих пор экспериментальные демонстрации основывались только на конструкциях, не синхронизированных по фазе . [ 83 ] Было показано, что фазовый синхронизм может быть получен и в кремниевых двухщелевых волноводах, покрытых сильно нелинейной органической оболочкой. [ 84 ] и в периодически напряженных кремниевых волноводах. [ 85 ]

Эффект Рамана

[ редактировать ]

Кремний демонстрирует эффект комбинационного рассеяния света , при котором фотон заменяется фотоном с немного другой энергией, что соответствует возбуждению или релаксации материала. В рамановском переходе кремния преобладает один очень узкий частотный пик, что проблематично для широкополосных явлений, таких как рамановское усиление , но полезно для узкополосных устройств, таких как рамановские лазеры . [ 10 ] Ранние исследования рамановского усиления и рамановских лазеров начались в Калифорнийском университете в Лос-Анджелесе, что привело к демонстрации чистого усиления кремниевых рамановских усилителей и кремниевого импульсного рамановского лазера с волоконным резонатором (Optics express 2004). Следовательно, в 2005 году были изготовлены полностью кремниевые рамановские лазеры. [ 42 ]

Эффект Бриллюэна

[ редактировать ]

При эффекте комбинационного рассеяния фотоны смещаются в красную или синюю область под действием оптических фононов с частотой около 15 ТГц. Однако кремниевые волноводы также поддерживают акустические фононные возбуждения. Взаимодействие этих акустических фононов со светом называется рассеянием Бриллюэна . Частоты и формы мод этих акустических фононов зависят от геометрии и размера кремниевых волноводов, что позволяет создавать сильное рассеяние Бриллюэна на частотах от нескольких МГц до десятков ГГц. [ 86 ] [ 87 ] Вынужденное рассеяние Бриллюэна использовалось для создания узкополосных оптических усилителей. [ 88 ] [ 89 ] [ 90 ] а также полностью кремниевые бриллюэновские лазеры. [ 43 ] Взаимодействие между фотонами и акустическими фононами также изучается в области оптомеханики полостей , хотя для наблюдения взаимодействия не требуются трехмерные оптические резонаторы. [ 91 ] Например, помимо кремниевых волноводов оптомеханическая связь была продемонстрирована и в волокнах. [ 92 ] и в халькогенидных волноводах. [ 93 ]

Солитоны

[ редактировать ]

Эволюцию света в кремниевых волноводах можно аппроксимировать кубическим нелинейным уравнением Шрёдингера : [ 10 ] что примечательно тем, что допускает sech -подобные солитонные решения. [ 94 ] Эти оптические солитоны (которые также известны в оптическом волокне ) возникают в результате баланса между фазовой автомодуляцией (которая вызывает смещение переднего фронта импульса в красную сторону , а заднего фронта — в синюю) и аномальной дисперсией групповой скорости. [ 62 ] Такие солитоны наблюдались в кремниевых волноводах группами из университетов Колумбии . [ 14 ] Рочестер , [ 15 ] и Бат . [ 16 ]

См. также

[ редактировать ]

Ссылки

[ редактировать ]
  1. ^ Сореф, Ричард А.; Лоренцо, Джозеф П. (1986). «Полностью кремниевые активные и пассивные волноводные компоненты для лямбда = 1,3 и 1,6 микрон» . Журнал IEEE по квантовой электронике . 22 (6): 873–879. Бибкод : 1986IJQE...22..873S . дои : 10.1109/JQE.1986.1073057 . Архивировано из оригинала 2 декабря 2020 года . Проверено 2 июля 2019 г.
  2. ^ Джалали, Бахрам; Фатпур, Сасан (2006). «Кремниевая фотоника». Журнал световых технологий . 24 (12): 4600–4615. Бибкод : 2006JLwT...24.4600J . дои : 10.1109/JLT.2006.885782 .
  3. ^ Jump up to: а б Алмейда, VR; Барриос, Калифорния; Панепуччи, РР; Липсон, М. (2004). «Полностью оптическое управление светом на кремниевом чипе». Природа . 431 (7012): 1081–1084. Бибкод : 2004Natur.431.1081A . дои : 10.1038/nature02921 . ПМИД   15510144 . S2CID   4404067 .
  4. ^ Jump up to: а б с д Кремниевая фотоника . Спрингер . 2004. ISBN  3-540-21022-9 .
  5. ^ Jump up to: а б с Кремниевая фотоника: введение . Джон Уайли и сыновья . 2004. ISBN  0-470-87034-6 .
  6. ^ Jump up to: а б с Липсон, Михал (2005). «Направление, модуляция и излучение света на кремнии – проблемы и возможности». Журнал световых технологий . 23 (12): 4222–4238. Бибкод : 2005JLwT...23.4222L . дои : 10.1109/JLT.2005.858225 . S2CID   42767475 .
  7. ^ Jump up to: а б «Кремниевая интегрированная нанофотоника» . Исследования IBM . Архивировано из оригинала 9 августа 2009 года . Проверено 14 июля 2009 г.
  8. ^ Jump up to: а б «Кремниевая фотоника» . Интел. Архивировано из оригинала 28 июня 2009 года . Проверено 14 июля 2009 г.
  9. ^ SPIE (5 марта 2015 г.). «Пленарный доклад Ю. А. Власова: Кремниевая интегрированная нанофотоника: от фундаментальной науки к технологической технологии». Отдел новостей SPIE . дои : 10.1117/2.3201503.15 .
  10. ^ Jump up to: а б с д и ж г час я Деккер, Р; Усечак, Н; Фёрст, М; Дриссен, А (2008). «Сверхбыстрые нелинейные полностьюоптические процессы в волноводах кремний-на-изоляторе» (PDF) . Физический журнал Д. 40 (14): Р249–Р271. Бибкод : 2007JPhD...40..249D . дои : 10.1088/0022-3727/40/14/r01 . S2CID   123008652 .
  11. ^ Батчер, Пол Н.; Коттер, Дэвид (1991). Элементы нелинейной оптики . Издательство Кембриджского университета . ISBN  0-521-42424-0 .
  12. ^ Талеби Фард, Сахба; Грист, Саманта М.; Донзелла, Валентина; Шмидт, Шон А.; Флюкигер, Йонас; Ван, Сюй; Ши, Вэй; Миллспо, Эндрю; Уэбб, Митчелл; Ратнер, Дэниел М.; Чунг, Карен С.; Хростовский, Лукас (2013). «Кремниевые фотонные биосенсоры без меток для использования в клинической диагностике». В Кабби, Джоэл; Рид, Грэм Т. (ред.). Кремниевая фотоника VIII . Том. 8629. с. 862909. дои : 10.1117/12.2005832 . S2CID   123382866 .
  13. ^ Донзелла, Валентина; Шервали, Ахмед; Флюкигер, Йонас; Грист, Саманта М.; Фард, Сахба Талеби; Хростовский, Лукас (2015). «Проектирование и изготовление микрокольцевых КНИ-резонаторов на основе субволновых решеточных волноводов» . Оптика Экспресс . 23 (4): 4791–803. Бибкод : 2015OExpr..23.4791D . дои : 10.1364/OE.23.004791 . ПМИД   25836514 .
  14. ^ Jump up to: а б с Се, И.-Вэй; Чен, Сяоган; Дадап, Джерри И.; Панойу, Николае К.; Осгуд, Ричард М.; Макнаб, Шари Дж.; Власов, Юрий А. (2006). «Сверхбыстроимпульсная автофазовая модуляция и дисперсия третьего порядка в кремниевых фотонных проволочных волноводах» . Оптика Экспресс . 14 (25): 12380–12387. Бибкод : 2006OExpr..1412380H . дои : 10.1364/OE.14.012380 . ПМИД   19529669 .
  15. ^ Jump up to: а б Чжан, Цзидун; Линь, Цян; Пиредда, Джованни; Бойд, Роберт В.; Агравал, Говинд П.; Фоше, Филипп М. (2007). «Оптические солитоны в кремниевом волноводе» . Оптика Экспресс . 15 (12): 7682–7688. Бибкод : 2007OExpr..15.7682Z . дои : 10.1364/OE.15.007682 . ПМИД   19547096 . S2CID   26807722 .
  16. ^ Jump up to: а б Дин, В.; Бентон, К.; Горбач А.В.; Уодсворт, штат Вашингтон; Найт, Джей Си; Скрябин Д.В.; Гнан, М.; Соррел, М.; де ла Рю, РМ (2008). «Солитоны и спектральное уширение в длинных фотонных проводах кремний-на-изоляторе» . Оптика Экспресс . 16 (5): 3310–3319. Бибкод : 2008OExpr..16.3310D . дои : 10.1364/OE.16.003310 . ПМИД   18542420 .
  17. ^ Сореф, Ричард А.; Беннетт, Брайан Р. (1987). «Электрооптические эффекты в кремнии» . Журнал IEEE по квантовой электронике . 23 (1): 123–129. Бибкод : 1987IJQE...23..123S . дои : 10.1109/JQE.1987.1073206 . Архивировано из оригинала 2 декабря 2020 года . Проверено 2 июля 2019 г.
  18. ^ Jump up to: а б Барриос, Калифорния; Алмейда, VR; Панепуччи, Р.; Липсон, М. (2003). «Электрооптическая модуляция волноводных устройств субмикрометрового размера на основе кремния на изоляторе». Журнал световых технологий . 21 (10): 2332–2339. Бибкод : 2003JLwT...21.2332B . дои : 10.1109/JLT.2003.818167 .
  19. ^ Jump up to: а б Лю, Аньшэн; Ляо, Линг; Рубин, Дорон; Нгуен, Хат; Чифтчиоглу, Беркехан; Четрит, Йоэль; Ижаки, Наум; Паничча, Марио (2007). «Высокоскоростная оптическая модуляция на основе обеднения носителей в кремниевом волноводе» . Оптика Экспресс . 15 (2): 660–668. Бибкод : 2007OExpr..15..660L . дои : 10.1364/OE.15.000660 . ПМИД   19532289 . S2CID   24984744 .
  20. ^ Чен, Лонг; Престон, Кайл; Манипатруни, Сасикант; Липсон, Михал (2009). «Интегрированное кремниевое фотонное соединение ГГц с модуляторами и детекторами микрометрового масштаба». Оптика Экспресс . 17 (17): 15248–15256. arXiv : 0907.0022 . Бибкод : 2009OExpr..1715248C . дои : 10.1364/OE.17.015248 . ПМИД   19688003 . S2CID   40101121 .
  21. ^ Вэнс, Эшли . «Intel запускает технологию межчипового взаимодействия нового поколения» . Регистр. Архивировано из оригинала 4 октября 2012 года . Проверено 26 июля 2009 г.
  22. ^ Шейнлайн, Дж. М.; Оркатт, Дж. С.; Уэйд, Монтана; Наммари, К.; Мосс, Б.; Георгас, М.; Сан, К.; Рам, Р.Дж.; Стоянович, В.; Попович, Массачусетс (2013). «Оптический модулятор несущей плазмы в режиме обеднения в усовершенствованной КМОП с нулевым изменением». Оптические письма . 38 (15): 2657–2659. Бибкод : 2013OptL...38.2657S . дои : 10.1364/OL.38.002657 . ПМИД   23903103 . S2CID   16603677 .
  23. ^ «Крупный прорыв в области кремниевой фотоники может обеспечить дальнейший экспоненциальный рост микропроцессоров» . КурцвейлАИ. 8 октября 2013 года. Архивировано из оригинала 8 октября 2013 года . Проверено 8 октября 2013 г.
  24. ^ Шейнлайн, Дж. М.; Оркатт, Дж. С.; Уэйд, Монтана; Наммари, К.; Техар-Захав, О.; Штернберг, З.; Мид, Р.; Рам, Р.Дж.; Стоянович, В.; Попович, Массачусетс (2013). «Поликремниевые оптические модуляторы в режиме обеднения в комплементарном металлооксидном полупроводниковом процессе». Оптические письма . 38 (15): 2729–2731. Бибкод : 2013OptL...38.2729S . дои : 10.1364/OL.38.002729 . ПМИД   23903125 . S2CID   6228126 .
  25. ^ Кучарский, Д.; и др. (2010). «Оптический приемник 10 Гбит / с, 15 мВт со встроенным германиевым фотодетектором и гибридным индуктором с максимумом по технологии SOI CMOS 0,13 мкм». Сборник технических статей конференции по твердотельным схемам (ISSCC) : 360–361.
  26. ^ Ганн, Кэри; Мазини, Джанлоренцо; Витценс, Дж.; Капеллини, Г. (2006). «КМОП-фотоника с использованием германиевых фотодетекторов». ECS-транзакции . 3 (7): 17–24. Бибкод : 2006ECSTr...3g..17G . дои : 10.1149/1.2355790 . S2CID   111820229 .
  27. ^ Вивьен, Лоран; Рувьер, Матье; Федели, Жан-Марк; Маррис-Морини, Дельфин; Дамленкур, Жан Франсуа; Манджини, Джульетта; Кроза, Поль; Эль-Мельхауи, Лубна; Кассан, Эрик; Ле Ру, Ксавье; Паскаль, Дэниел; Лаваль, Сюзанна (2007). «Высокоскоростной и высокочувствительный германиевый фотодетектор, встроенный в микроволновый направляющий кремний на изоляторе» . ОптикаЭкспресс . 15 (15): 9843–9848. Бибкод : 2007OExpr..15.9843V . дои : 10.1364/OE.15.009843 . ПМИД   19547334 .
  28. ^ Кан, Имин; Лю, Хан-Дин; Морс, Майк; Паничча, Марио Дж.; Задка, Моше; Лицки, Стас; Сарид, Гади; Пошар, Александр; Куо, Ин-Хао; Чен, Хуэй-Вэнь; Зауи, Виссем Сфар; Бауэрс, Джон Э.; Белинг, Андреас; Макинтош, Дион К.; Чжэн, Сяогуан; Кэмпбелл, Джо К. (2008). «Монолитные германиево-кремниевые лавинные фотодиоды с произведением усиления на полосу пропускания 340 ГГц». Природная фотоника . 3 (1): 59–63. Бибкод : 2009NaPho...3...59K . дои : 10.1038/nphoton.2008.247 .
  29. ^ Модайн, Остин (8 декабря 2008 г.). «Intel объявляет о самом быстром в мире кремниевом фотонном детекторе » Регистр. Архивировано из оригинала 10 августа 2017 года . Проверено 10 августа 2017 г.
  30. ^ Нарасимха, А. (2008). «Оптоэлектронный приемопередатчик QSFP со скоростью 40 Гбит / с, выполненный по технологии КМОП-кремний на изоляторе толщиной 0,13 мкм» . Материалы конференции по волоконно-оптической связи (ОФК) : ОМК7. ISBN  978-1-55752-859-9 . Архивировано из оригинала 16 апреля 2023 года . Проверено 14 сентября 2012 г.
  31. ^ Дорр, Кристофер Р.; и др. (2015). «Кремниевая фотонная интеграция в телекоммуникациях». В Ямаде, Кодзи (ред.). Фотонная интеграция и конвергенция фотоники и электроники на кремнии . Том. 3. Фронтиерс Медиа С.А. п. 7. Бибкод : 2015FrP.....3...37D . дои : 10.3389/fphy.2015.00037 . {{cite book}}: |journal= игнорируется ( помогите )
  32. ^ Оркатт, Джейсон; и др. (2016). Монолитная кремниевая фотоника со скоростью 25 Гбит/с . Конференция по оптоволоконной связи. ОСА. стр. Th4H.1. дои : 10.1364/OFC.2016.Th4H.1 .
  33. ^ Фредерик, Бёф; и др. (2015). Последние успехи в исследованиях, разработках и производстве кремниевой фотоники на 300-мм пластинчатой ​​платформе . Конференция по оптоволоконной связи. ОСА. стр. W3A.1. дои : 10.1364/OFC.2015.W3A.1 .
  34. ^ Мейндл, JD (2003). «За пределами закона Мура: эпоха межсоединений». Вычисления в науке и технике . 5 (1): 20–24. Бибкод : 2003CSE.....5a..20M . дои : 10.1109/MCISE.2003.1166548 . S2CID   15668981 .
  35. ^ Барвич, Т.; Бьюн, Х.; Ган, Ф.; Хольцварт, CW; Попович, Массачусетс; Ракич, П.Т.; Уоттс, MR; Иппен, ЕП; Кертнер, FX; Смит, Гавайи; Оркатт, Дж. С.; Рам, Р.Дж.; Стоянович, В.; Олубуйде, ООО; Хойт, Дж. Л.; Спектор, С.; Гейс, М.; Грейн, М.; Лищзарз, Т.; Юн, Джу (2006). «Кремниевая фотоника для компактных и энергоэффективных межсоединений». Журнал оптических сетей . 6 (1): 63–73. Бибкод : 2007JON.....6...63B . дои : 10.1364/JON.6.000063 . S2CID   10174513 .
  36. ^ Оркатт, Дж. С.; и др. (2008). Демонстрация электронной фотонной интегральной схемы в коммерческом крупномасштабном КМОП-процессе . Конференция по лазерам и электрооптике/Квантовой электронике и лазерной науке и технологиям фотонных систем.
  37. ^ «Связь кремниевой фотоники Intel со скоростью 50 Гбит/с: будущее интерфейсов» .
  38. ^ Сунь, Чен; и др. (2015). «Однокристальный микропроцессор, который обменивается данными напрямую с помощью света» . Природа . 528 (7583): 534–538. Бибкод : 2015Natur.528..534S . дои : 10.1038/nature16454 . ПМИД   26701054 . S2CID   205247044 . Архивировано из оригинала 23 июня 2020 года . Проверено 2 июля 2019 г.
  39. ^ «Кремниевая фотоника спотыкается на последнем метре — IEEE Spectrum» .
  40. ^ Бауэрс, Джон Э (2014). Полупроводниковые лазеры на кремнии . 2014 Международная конференция по полупроводниковым лазерам\. IEEE. п. 29.
  41. ^ «Гибридный кремниевый лазер — исследование платформы Intel» . Интел. Архивировано из оригинала 28 июня 2009 года . Проверено 14 июля 2009 г.
  42. ^ Jump up to: а б Ронг, Х; Лю, А; Джонс, Р; Коэн, О; Верно, Д; Николаеску, Р; Грязь; Паничча, М (2005). «Цельнокремниевый рамановский лазер». Природа . 433 (7023): 292–294. Бибкод : 2005Natur.433..292R . дои : 10.1038/nature03273 . ПМИД   15635371 . S2CID   4407228 .
  43. ^ Jump up to: а б Оттерстрем, Нильс Т.; Бехунин, Райан О.; Киттаус, Эрик А.; Ван, Чжэн; Ракич, Питер Т. (8 июня 2018 г.). «Кремниевый лазер-Бриллюэн». Наука . 360 (6393): 1113–1116. arXiv : 1705.05813 . Бибкод : 2018Sci...360.1113O . дои : 10.1126/science.aar6113 . ISSN   0036-8075 . ПМИД   29880687 . S2CID   46979719 .
  44. ^ Боргино, Дарио (13 декабря 2012 г.). «IBM объединяет оптику и электронику на одном чипе» . Gizmag.com. Архивировано из оригинала 22 апреля 2013 года . Проверено 20 апреля 2013 г.
  45. ^ Симонит, Том. «Intel представляет оптическую технологию, позволяющую отказаться от медных кабелей и ускорить работу центров обработки данных | Обзор технологий MIT» . Technologyreview.com. Архивировано из оригинала 5 сентября 2013 года . Проверено 4 сентября 2013 г.
  46. ^ Оркатт, Майк (2 октября 2013 г.) «Оптическая связь на основе графена может сделать вычисления более эффективными. Архивировано 10 мая 2021 г. в Wayback Machine . MIT Technology Review .
  47. ^ Аналуи, Бехнам; Гукенбергер, Дрю; Кучарский, Дэниел; Нарасимха, Адитьярам (2006). «Полностью интегрированный оптоэлектронный приемопередатчик со скоростью 20 Гбит/с, реализованный на стандартной КМОП-SOI-технологии 0,13 мкм». Журнал IEEE твердотельных схем . 41 (12): 2945–2955. Бибкод : 2006IJSSC..41.2945A . дои : 10.1109/JSSC.2006.884388 . S2CID   44232146 .
  48. ^ Бойраз, Оздал; Кунатх, Пракаш; Рагунатан, Варун; Джалали, Бахрам (2004). «Все оптические переключения и генерация непрерывного спектра в кремниевых волноводах» . Оптика Экспресс . 12 (17): 4094–4102. Бибкод : 2004OExpr..12.4094B . дои : 10.1364/OPEX.12.004094 . ПМИД   19483951 . S2CID   29225037 .
  49. ^ Власов Юрий; Грин, Уильям М.Дж.; Ся, Фэннянь (2008). «Высокопроизводительный кремниевый нанофотонный нечувствительный к длине волны переключатель для внутрикристальных оптических сетей». Природная фотоника . 2 (4): 242–246. дои : 10.1038/nphoton.2008.31 .
  50. ^ Jump up to: а б Фостер, Марк А.; Тернер, Эми К.; Салем, Реза; Липсон, Михал ; Гаэта, Александр Л. (2007). «Широкополосное параметрическое преобразование длины волны непрерывного действия в кремниевых нановолноводах» . Оптика Экспресс . 15 (20): 12949–12958. Бибкод : 2007OExpr..1512949F . дои : 10.1364/OE.15.012949 . ПМИД   19550563 . S2CID   12219167 .
  51. ^ «После шести лет планирования Compass-EOS бросает вызов Cisco, чтобы создать невероятно быстрые маршрутизаторы» . www.venturebeat.com. 12 марта 2013 г. Архивировано из оригинала 5 мая 2013 г. . Проверено 25 апреля 2013 г.
  52. ^ Зортман, Вашингтон (2010). «Измерение потерь мощности и извлечение частотного чирпа в модуляторах кремниевого микродискового резонатора». Конференция по оптоволоконной связи . стр. ОМИ7. дои : 10.1364/OFC.2010.OMI7 . ISBN  978-1-55752-885-8 . S2CID   11379237 .
  53. ^ Биберман, Александр; Манипатруни, Сасикант; Офир, Ноам; Чен, Лонг; Липсон, Михал; Бергман, Керен (2010). «Первая демонстрация передачи на большие расстояния с использованием кремниевых микрокольцевых модуляторов» . Оптика Экспресс . 18 (15): 15544–15552. Бибкод : 2010OExpr..1815544B . дои : 10.1364/OE.18.015544 . ПМИД   20720934 . S2CID   19421366 .
  54. ^ Бурзак, Кэтрин (11 июня 2015 г.). «Может ли Magic Leap сделать то, что заявлено, с 592 миллионами долларов?» . Обзор технологий MIT. Архивировано из оригинала 14 июня 2015 года . Проверено 13 июня 2015 г.
  55. ^ Рэми, Карл. «Кремниевая фотоника для ускорения искусственного интеллекта» (PDF) . hotchips.org . Проверено 1 июля 2023 г.
  56. ^ Уорд-Фокстон, Салли (24 августа 2020 г.). «Оптические вычисления обещают революционную производительность искусственного интеллекта» . ЭЭ Таймс . Проверено 1 июля 2023 г.
  57. ^ Уорд-Фокстон, Салли (24 августа 2020 г.). «Как работают оптические вычисления?» . ЭЭ Таймс . Проверено 1 июля 2023 г.
  58. ^ Jump up to: а б «Кремний (Si)» . Университета Рединга Инфракрасная многослойная лаборатория . Архивировано из оригинала 14 мая 2016 года . Проверено 17 июля 2009 г.
  59. ^ Инь, Лянхун; Лин, К.; Агравал, Говинд П. (2006). «Настройка дисперсии и распространение солитонов в кремниевых волноводах». Оптические письма . 31 (9): 1295–1297. Бибкод : 2006OptL...31.1295Y . дои : 10.1364/OL.31.001295 . ПМИД   16642090 . S2CID   43103486 .
  60. ^ Тернер, Эми К.; Манолату, Кристина; Шмидт, Брэдли С.; Липсон, Михал; Фостер, Марк А.; Шарпинг, Джей Э.; Гаэта, Александр Л. (2006). «Специализированная аномальная дисперсия групповой скорости в кремниевых канальных волноводах» . Оптика Экспресс . 14 (10): 4357–4362. Бибкод : 2006OExpr..14.4357T . дои : 10.1364/OE.14.004357 . ПМИД   19516587 . S2CID   41508892 .
  61. ^ Талукдар, Тахмид Х.; Аллен, Габриэль Д.; Кравченко Иван; Рикман, Джадсон Д. (5 августа 2019 г.). «Одномодовые волноводные интерферометры из пористого кремния с единичным коэффициентом ограничения для сверхчувствительного измерения поверхностного адслоя» . Оптика Экспресс . 27 (16): 22485–22498. Бибкод : 2019OExpr..2722485T . дои : 10.1364/OE.27.022485 . ISSN   1094-4087 . ОСТИ   1546510 . ПМИД   31510540 .
  62. ^ Jump up to: а б с Агравал, Говинд П. (1995). Нелинейная волоконная оптика (2-е изд.). Сан-Диего (Калифорния): Academic Press. ISBN  0-12-045142-5 .
  63. ^ Малитсон, И.Х. (1965). «Межобразцовое сравнение показателя преломления плавленого кремнезема». Журнал Оптического общества Америки . 55 (10): 1205–1209. Бибкод : 1965JOSA...55.1205M . дои : 10.1364/JOSA.55.001205 .
  64. ^ Селлер, ГК; Кристоловяну, Сорин (2003). «Границы кремния на изоляторе». Журнал прикладной физики . 93 (9): 4955. Бибкод : 2003JAP....93.4955C . дои : 10.1063/1.1558223 .
  65. ^ «Кремниевая фотоника: нитрид кремния против кремния на изоляторе» . Март 2016 г. стр. 1–3.
  66. ^ Блюменталь, Дэниел Дж.; Хайдеман, Рене; Гезепантс, Доуве; Лейнсе, Арне; Рулоффзен, Крис (2018). «Нитрид кремния в кремниевой фотонике» . Труды IEEE . 106 (12): 2209–2231. дои : 10.1109/JPROC.2018.2861576 .
  67. ^ Jump up to: а б Коос, К; Жаком, Л; Поултон, К; Лейтольд, Дж; Фрейде, В. (2007). «Нелинейные волноводы кремний на изоляторе для полностью оптической обработки сигналов». Оптика Экспресс . 15 (10): 5976–5990. Бибкод : 2007OExpr..15.5976K . дои : 10.1364/OE.15.005976 . HDL : 10453/383 . ПМИД   19546900 . S2CID   7069722 .
  68. ^ Фостер, Массачусетс; Тернер, AC; Шарпинг, Дж. Э.; Шмидт, Б.С.; Липсон, М; Гаэта, Алабама (2006). «Широкополосное оптическое параметрическое усиление на кремниевом фотонном чипе». Природа . 441 (7096): 960–3. Бибкод : 2006Natur.441..960F . дои : 10.1038/nature04932 . ПМИД   16791190 . S2CID   205210957 .
  69. ^ Гриффит, Остин Г.; Лау, Райан К.В.; Карденас, Хайме; Окавати, Ёситомо; Моханти, Асима; Фейн, Роми; Ли, Юн Хо Дэниэл; Ю, Мэнцзе; Фаре, Кристофер Т.; Пойтрас, Карл Б.; Гаэта, Александр Л.; Липсон, Михал (24 февраля 2015 г.). «Поколение гребенки среднего инфракрасного диапазона на кремниевых чипах». Природные коммуникации . 6 : 6299. arXiv : 1408.1039 . Бибкод : 2015NatCo...6.6299G . дои : 10.1038/ncomms7299 . ПМИД   25708922 . S2CID   1089022 .
  70. ^ Кайкен, Барт; Идегути, Такуро; Хольцнер, Саймон; Ян, Мин; Хэнш, Теодор В.; Ван Кампенхаут, Йорис; Верхейен, Питер; Коэн, Стефан; Лео, Франсуа; Баец, Роэл; Релкенс, Гюнтер; Пике, Натали (20 февраля 2015 г.). «Гречка средних инфракрасных частот, охватывающая октавы, генерируемая в кремниевом нанофотонном проводном волноводе» . Природные коммуникации . 6 : 6310. arXiv : 1405.4205 . Бибкод : 2015NatCo...6.6310K . дои : 10.1038/ncomms7310 . ПМЦ   4346629 . ПМИД   25697764 .
  71. ^ Панойу, Николае К.; Чен, Сяоган; Осгуд-младший, Ричард М. (2006). «Нестабильность модуляции в кремниевых фотонных нанопроводах». Оптические письма . 31 (24): 3609–11. Бибкод : 2006OptL...31.3609P . дои : 10.1364/OL.31.003609 . ПМИД   17130919 .
  72. ^ Инь, Лянхун; Агравал, Говинд П. (2006). «Влияние двухфотонного поглощения на автофазовую модуляцию в кремниевых волноводах: эффекты свободных носителей». Оптические письма . 32 (14): 2031–2033. Бибкод : 2007OptL...32.2031Y . дои : 10.1364/OL.32.002031 . ПМИД   17632633 . S2CID   10937266 .
  73. ^ Никбин, Дариус (20 июля 2006 г.). «Кремниевая фотоника решает свою «фундаментальную проблему» » . Издательство ИОП. Архивировано из оригинала 31 мая 2008 года . Проверено 27 июля 2009 г.
  74. ^ Рыбчинский Дж.; Кемпа, К.; Герчинский А.; Ван, Ю.; Нотон, MJ; Рен, ЗФ; Хуанг, ЗП; Кай, Д.; Гирзиг, М. (2007). «Двухфотонное поглощение и коэффициенты Керра кремния для 850–2200 нм (4100 км)». Письма по прикладной физике . 90 (2): 191104. Бибкод : 2007ApPhL..90b1104R . дои : 10.1063/1.2430400 . S2CID   122887780 .
  75. ^ Jump up to: а б Циа, К.М. (2006). Сбор энергии в кремниевых рамановских усилителях . 3-я Международная конференция IEEE по фотонике группы IV.
  76. ^ Сореф, Р.; Беннетт, Б. (1987). «Электрооптические эффекты в кремнии» . Журнал IEEE по квантовой электронике . 23 (1): 123–129. Бибкод : 1987IJQE...23..123S . дои : 10.1109/JQE.1987.1073206 . Архивировано из оригинала 2 декабря 2020 года . Проверено 2 июля 2019 г.
  77. ^ Лю, Ю.; Цанг, Гонконг (2006). «Нелинейное поглощение и комбинационное усиление в кремниевых волноводах, имплантированных ионами гелия». Оптические письма . 31 (11): 1714–1716. Бибкод : 2006OptL...31.1714L . дои : 10.1364/OL.31.001714 . ПМИД   16688271 .
  78. ^ Зеваллос Л., Мануэль Э.; Гайен, Словакия; Альрубаи, М.; Альфано, Р.Р. (2005). «Время жизни фотогенерированных носителей в ребристых волноводах кремний-на-изоляторе». Письма по прикладной физике . 86 (1): 071115. Бибкод : 2005ApPhL..86a1115Z . дои : 10.1063/1.1846145 . S2CID   37590490 .
  79. ^ Джонс, Ричард; Ронг, Хайшэн; Лю, Аньшэн; Фанг, Александр В.; Паничча, Марио Дж.; Хак, Дэни; Коэн, Одед (2005). «Чистый непрерывный оптический коэффициент усиления в волноводе кремний-на-изоляторе с низкими потерями за счет вынужденного комбинационного рассеяния света» . Оптика Экспресс . 13 (2): 519–525. Бибкод : 2005OExpr..13..519J . дои : 10.1364/OPEX.13.000519 . ПМИД   19488380 . S2CID   6804621 .
  80. ^ Манипатруни, Сасикант; и др. (2007). «Высокоскоростной кремниевый микрокольцевой электрооптический модулятор с инжектором несущей, 18 Гбит/с». LEOS 2007 — Протоколы ежегодного собрания Общества лазеров и электрооптики IEEE . стр. 537–538. дои : 10.1109/leos.2007.4382517 . ISBN  978-1-4244-0924-2 . S2CID   26131159 .
  81. ^ Якобсен, Руне С.; Андерсен, Карин Н.; Борель, Петр I .; Фаге-Педерсен, Джейкоб; Франдсен, Ларс Х.; Хансен, Оле; Кристенсен, Мартин; Лавриненко Андрей Владимирович; Мулен, Гайд; Оу, Хайян; Пёшере, Кристоф; Жигри, Беата; Бьярклев, Андерс (2006). «Напряженный кремний как новый электрооптический материал». Природа . 441 (7090): 199–202. Бибкод : 2006Natur.441..199J . дои : 10.1038/nature04706 . ISSN   0028-0836 . ПМИД   16688172 . S2CID   205210888 .
  82. ^ Авруцкий Иван; Сореф, Ричард (2011). «Генерация фазосинхронной суммарной частоты в напряженных кремниевых волноводах с использованием их нелинейной оптической восприимчивости второго порядка» . Оптика Экспресс . 19 (22): 21707–16. Бибкод : 2011OExpr..1921707A . дои : 10.1364/OE.19.021707 . ISSN   1094-4087 . ПМИД   22109021 .
  83. ^ Каццанелли, М.; Бьянко, Ф.; Борга, Э.; Пакер, Г.; Гулинян М.; Деголи, Э.; Луппи, Э.; Веньяр, В.; Оссичини, С.; Модотто, Д.; Вабниц, С.; Пьеробон, Р.; Павези, Л. (2011). «Генерация второй гармоники в кремниевых волноводах, деформированных нитридом кремния». Природные материалы . 11 (2): 148–154. Бибкод : 2012NatMa..11..148C . дои : 10.1038/nmat3200 . hdl : 11379/107111 . ISSN   1476-1122 . ПМИД   22138793 .
  84. ^ Аллоатти, Л.; Корн, Д.; Вейманн, К.; Коос, К.; Фрейде, В.; Лейтольд, Дж. (2012). «Нелинейные кремнийорганические гибридные волноводы второго порядка» . Оптика Экспресс . 20 (18): 20506–15. Бибкод : 2012OExpr..2020506A . дои : 10.1364/OE.20.020506 . ISSN   1094-4087 . ПМИД   23037098 . Архивировано из оригинала 29 февраля 2020 года . Проверено 2 июля 2019 г.
  85. ^ Дорогая, Ник К.; Циа, Кевин К.; Солли, Дэниел Р.; Джалали, Бахрам (2009). «Периодически поляризованный кремний». Письма по прикладной физике . 94 (9): 091116. arXiv : 0812.4427 . Бибкод : 2009ApPhL..94i1116H . дои : 10.1063/1.3094750 . ISSN   0003-6951 . S2CID   28598739 .
  86. ^ Ракич, Питер Т.; Рейнке, Чарльз; Камачо, Райан; Дэвидс, Пол; Ван, Чжэн (30 января 2012 г.). «Гигантское усиление вынужденного бриллюэновского рассеяния в субволновом пределе» . Физический обзор X . 2 (1): 011008. Бибкод : 2012PhRvX...2a1008R . дои : 10.1103/PhysRevX.2.011008 . hdl : 1721.1/89020 . ISSN   2160-3308 .
  87. ^ Шин, Хидык; Цю, Вэньцзюнь; Джареки, Роберт; Кокс, Джонатан А.; Олссон, Рой Х.; Старбак, Эндрю; Ван, Чжэн; Ракич, Питер Т. (декабрь 2013 г.). «Настраиваемое вынужденное рассеяние Бриллюэна в наноразмерных кремниевых волноводах» . Природные коммуникации . 4 (1): 1944. arXiv : 1301.7311 . Бибкод : 2013NatCo...4.1944S . дои : 10.1038/ncomms2943 . ISSN   2041-1723 . ПМК   3709496 . ПМИД   23739586 .
  88. ^ Киттаус, Эрик А.; Шин, Хидык; Ракич, Питер Т. (1 июля 2016 г.). «Большое усиление Бриллюэна в кремнии». Природная фотоника . 10 (7): 463–467. arXiv : 1510.08495 . Бибкод : 2016NaPho..10..463K . дои : 10.1038/nphoton.2016.112 . ISSN   1749-4885 . S2CID   119159337 .
  89. ^ Ван Лаер, Рафаэль; Кайкен, Барт; Ван Турхаут, Дрис; Баец, Роэл (1 марта 2015 г.). «Взаимодействие света и сильно ограниченного гиперзвука в кремниевой фотонной нанопроволоке». Природная фотоника . 9 (3): 199–203. arXiv : 1407.4977 . Бибкод : 2015NaPho...9..199В . дои : 10.1038/nphoton.2015.11 . ISSN   1749-4885 . S2CID   55218097 .
  90. ^ Ван Лаер, Рафаэль; Базен, Александр; Кайкен, Барт; Баец, Роэл; Турхаут, Дрис Ван (1 января 2015 г.). «Чистый коэффициент усиления Бриллюэна на кристалле на основе подвешенных кремниевых нанопроволок». Новый журнал физики . 17 (11): 115005. arXiv : 1508.06318 . Бибкод : 2015NJPh...17k5005V . дои : 10.1088/1367-2630/17/11/115005 . ISSN   1367-2630 . S2CID   54539825 .
  91. ^ Ван Лаер, Рафаэль; Баец, Роэл; Ван Турхаут, Дрис (20 мая 2016 г.). «Объединение рассеяния Бриллюэна и оптомеханики резонаторов». Физический обзор А. 93 (5): 053828. arXiv : 1503.03044 . Бибкод : 2016PhRvA..93e3828V . дои : 10.1103/PhysRevA.93.053828 . S2CID   118542296 .
  92. ^ Кобяков Андрей; Зауэр, Майкл; Чоудхури, Дипак (31 марта 2010 г.). «Вынужденное рассеяние Бриллюэна в оптических волокнах». Достижения оптики и фотоники . 2 (1): 1. Бибкод : 2010AdOP....2....1K . дои : 10.1364/AOP.2.000001 . ISSN   1943-8206 .
  93. ^ Леви, Шахар; Любин, Виктор; Клебанов, Матвей; Шойер, Джейкоб; Садок, Ави (15 декабря 2012 г.). «Усиление вынужденного рассеяния Бриллюэна в прямозаписанных халькогенидных волноводах сантиметровой длины». Оптические письма . 37 (24): 5112–4. Бибкод : 2012OptL...37.5112L . дои : 10.1364/OL.37.005112 . ISSN   1539-4794 . ПМИД   23258022 . S2CID   11976822 .
  94. ^ Дразин, П.Г. и Джонсон, Р.С. (1989). Солитоны: введение . Издательство Кембриджского университета . ISBN  0-521-33655-4 .
Retrieved from "https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Silicon_photonics&oldid=1240593925"
Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: c6de4bd68e455f9870a5af011baecd5b__1714049760
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/c6/5b/c6de4bd68e455f9870a5af011baecd5b.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
Silicon photonics - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)