Полупроводниковый прибор

Полупроводниковое устройство — это электронный компонент которого зависит от электронных свойств полупроводникового материала (в первую очередь кремния , германия и арсенида галлия , а также органических полупроводников , функция ). Его проводимость находится между проводниками и изоляторами. Полупроводниковые устройства заменили электронные лампы в большинстве приложений. Они проводят электрический ток в твердом состоянии , а не как свободные электроны в вакууме (обычно высвобождаемые термоэлектронной эмиссией ) или как свободные электроны и ионы через ионизированный газ .

Полупроводниковые устройства производятся как в виде отдельных дискретных устройств , так и в виде микросхем интегральных схем (ИС), которые состоят из двух или более устройств (их может быть от сотен до миллиардов), изготовленных и соединенных между собой на одной полупроводниковой пластине (также называемой подложкой). .

Полупроводниковые материалы полезны, потому что их поведением можно легко манипулировать путем преднамеренного добавления примесей, известного как легирование . полупроводника Проводимостью можно управлять путем введения электрического или магнитного поля, воздействия света или тепла или механической деформации легированной монокристаллической кремниевой сетки; таким образом, из полупроводников можно сделать отличные датчики. Проводимость тока в полупроводнике происходит за счет подвижных или «свободных» электронов и электронных дырок , известных под общим названием носителей заряда . Легирование полупроводника небольшой долей атомных примесей, таких как фосфор или бор , значительно увеличивает количество свободных электронов или дырок внутри полупроводника. Когда легированный полупроводник содержит лишние дырки, его называют полупроводником p-типа ( p для положительного электрического заряда ); когда он содержит избыток свободных электронов, его называют полупроводником n-типа ( n для отрицательного электрического заряда). Большинство мобильных носителей заряда имеют отрицательный заряд. Производство полупроводников точно контролирует расположение и концентрацию легирующих примесей p- и n-типа. Соединение полупроводников n-типа и p-типа образует p-n-переходы .

Самым распространенным полупроводниковым устройством в мире является MOSFET металл-оксид-полупроводник ( полевой транзистор ). ^[1] также называется МОП- транзистором . По состоянию на 2013 год ежедневно производятся миллиарды МОП-транзисторов. ^[2] Производство полупроводниковых устройств в год растет в среднем на 9,1% с 1978 года, а поставки в 2018 году, по прогнозам, впервые превысят 1 триллион штук. ^[3] это означает, что на сегодняшний день было произведено более 7 триллионов.

Основные типы

Диод

Полупроводниковый диод — это устройство, обычно состоящее из одного p–n-перехода . На стыке полупроводников p-типа и n-типа образуется обедненная область , в которой проводимость тока затруднена из-за отсутствия подвижных носителей заряда. Когда устройство смещено в прямом направлении (подключено к p-стороне, имеющей более высокий электрический потенциал , чем n-сторона), эта область истощения уменьшается, обеспечивая значительную проводимость. И наоборот, только очень малый ток может быть достигнут, когда диод смещен в обратном направлении (подключен к n-стороне с более низким электрическим потенциалом, чем к p-стороне, и, таким образом, область обеднения расширяется).

на полупроводник Воздействие света может привести к образованию электрон-дырочных пар , что увеличивает количество свободных носителей заряда и, следовательно, проводимость. Диоды, оптимизированные для использования этого явления, известны как фотодиоды . Сложные полупроводниковые диоды также могут излучать свет, например, светодиоды и лазерные диоды.

Транзистор

Биполярный транзистор

Транзисторы с биполярным переходом (BJT) состоят из двух p-n-переходов в конфигурации n-p-n или p-n-p. Средняя, или базовая , область между стыками обычно очень узкая. Другие области и связанные с ними клеммы известны как эмиттер и коллектор . Небольшой ток, подаваемый через переход между базой и эмиттером, изменяет свойства перехода база-коллектор, так что он может проводить ток, даже если он смещен в обратном направлении. Это создает гораздо больший ток между коллектором и эмиттером, контролируемый током база-эмиттер.

Полевой транзистор

Другой тип транзистора, полевой транзистор (FET), работает по принципу, согласно которому проводимость полупроводника может увеличиваться или уменьшаться за счет присутствия электрического поля . Электрическое поле может увеличивать количество свободных электронов и дырок в полупроводнике, тем самым изменяя его проводимость. Поле может быть приложено с помощью обратносмещенного p-n-перехода, образующего полевой транзистор с переходом ( JFET ), или электрода, изолированного от объемного материала оксидным слоем, образующего полевой транзистор металл-оксид-полупроводник . ( МОП-транзистор ).

Металл-оксид-полупроводник

Металлооксидно -полупроводниковый полевой транзистор (МОП-транзистор или МОП-транзистор), твердотельное устройство, на сегодняшний день является наиболее широко используемым полупроводниковым устройством. было произведено около 13 секстиллионов МОП-транзисторов. На его долю приходится не менее 99,9% всех транзисторов, а в период с 1960 по 2018 год ^[4]

Электрод затвора заряжается, создавая электрическое поле, которое контролирует проводимость «канала» между двумя терминалами, называемыми истоком и стоком . В зависимости от типа носителя в канале устройство может представлять собой n-канальный (для электронов) или p-канальный (для дырок) МОП-транзистор. Хотя МОП-транзистор частично назван в честь своего «металлического» затвора, в современных устройствах поликремний вместо него обычно используется .

Другие типы

Двухполюсные устройства:

Трехполюсные устройства:

Четырехполюсные устройства:

Датчик Холла (датчик магнитного поля)
Фотопара (оптопара)

Материалы

На сегодняшний день кремний (Si) является наиболее широко используемым материалом в полупроводниковых устройствах. Сочетание низкой стоимости сырья, относительно простой обработки и удобного температурного диапазона делает его на данный момент лучшим компромиссом среди различных конкурирующих материалов. Кремний, используемый в производстве полупроводниковых приборов, в настоящее время изготавливается в виде булей достаточно большого диаметра, чтобы можно было производить пластины диаметром 300 мм (12 дюймов) .

Германий (Ge) был широко используемым ранним полупроводниковым материалом, но его термическая чувствительность делает его менее полезным, чем кремний. Сегодня германий часто легируют кремнием для использования в очень быстродействующих SiGe-устройствах; IBM является крупным производителем таких устройств.

Арсенид галлия (GaAs) также широко используется в высокоскоростных устройствах, но до сих пор было трудно сформировать були из этого материала большого диаметра, ограничивая диаметр пластин до размеров, значительно меньших, чем у кремниевых пластин, что затрудняет массовое производство устройств GaAs. значительно дороже кремния.

Нитрид галлия (GaN) набирает популярность в приложениях высокой мощности, включая силовые микросхемы , светодиоды (светодиоды) и радиочастотные компоненты, благодаря своей высокой прочности и теплопроводности. GaN По сравнению с кремнием, запрещенная зона более чем в 3 раза шире (3,4 эВ) , и он проводит электроны в 1000 раз эффективнее. ^[5]^[6]

Другие, менее распространенные материалы также используются или исследуются.

Карбид кремния (SiC) также набирает популярность в силовых ИС , нашел некоторое применение в качестве сырья для синих светодиодов и исследуется на предмет использования в полупроводниковых устройствах, которые могут выдерживать очень высокие рабочие температуры и среды со значительным уровнем ионизации . радиация . Диоды IMPATT также изготавливаются из SiC.

Различные индия соединения ( арсенид индия , антимонид индия и фосфид индия ) также используются в светодиодах и твердотельных лазерных диодах . Сульфид селена изучается при производстве фотоэлектрических солнечных элементов .

Наиболее распространенным применением органических полупроводников являются органические светодиоды .

Приложения

Транзисторы всех типов могут использоваться в качестве строительных блоков логических вентилей , которые имеют основополагающее значение при проектировании цифровых схем . В цифровых схемах, таких как микропроцессоры , транзисторы действуют как двухпозиционные переключатели; в MOSFET например, напряжение, приложенное к затвору, определяет, переключатель включен или выключен .

Транзисторы, используемые в аналоговых схемах, не действуют как двухпозиционные переключатели; скорее, они реагируют на непрерывный диапазон входных данных непрерывным диапазоном выходных данных. Общие аналоговые схемы включают усилители и генераторы .

Схемы, которые взаимодействуют или преобразуют цифровые и аналоговые схемы, известны как схемы со смешанными сигналами .

Силовые полупроводниковые устройства — это дискретные устройства или интегральные схемы, предназначенные для применения в условиях сильного тока или высокого напряжения. Силовые интегральные схемы сочетают в себе технологию ИС и силовую полупроводниковую технологию, их иногда называют «умными» силовыми устройствами. Несколько компаний специализируются на производстве силовых полупроводников.

Идентификаторы компонентов

Номера деталей полупроводниковых устройств часто зависят от производителя. Тем не менее, были попытки создать стандарты для кодов типов, и им последовала часть устройств. Для дискретных устройств , например, существует три стандарта: JEDEC JESD370B в США, Pro Electron в Европе и японские промышленные стандарты (JIS).

Изготовление

Производство полупроводниковых устройств — это процесс, используемый для производства полупроводниковых устройств , обычно интегральных схем (ИС), таких как компьютерные процессоры , микроконтроллеры и микросхемы памяти (например, флэш-память NAND и DRAM ). Это многоэтапный фотолитографический и физико-химический процесс (с такими этапами, как термическое окисление , осаждение тонких пленок, ионная имплантация, травление), в ходе которого электронные схемы постепенно создаются на пластине , обычно изготовленной из чистого монокристаллического полупроводника. материал. кремний Почти всегда используется различные соединения полупроводников , но для специализированных применений используются .

Процесс изготовления осуществляется на узкоспециализированных заводах по производству полупроводников , также называемых литейными заводами или «фабриками». ^[7] центральная часть представляет собой « чистую комнату ». В более совершенных полупроводниковых устройствах, таких как современные , . недель изготовление узлы 14/10/7 нм может занять до 15 недель, при этом в среднем по отрасли 11–13 ^[8] Производство на современных производственных объектах полностью автоматизировано, а автоматизированные системы обработки материалов обеспечивают транспортировку пластин от машины к машине. ^[9]

Пластина часто имеет несколько интегральных схем, которые называются кристаллами, поскольку представляют собой кусочки, вырезанные из одной пластины. Отдельные штампы отделяются от готовой пластины в процессе, называемом разделением штампов , который также называется нарезкой пластин. Затем штампы могут подвергаться дальнейшей сборке и упаковке. ^[10]

На производственных предприятиях пластины транспортируются в специальных герметичных пластиковых коробках, называемых FOUP . ^[9] ФОУП на многих предприятиях содержат внутреннюю азотную атмосферу. ^[11]^[12] что помогает предотвратить окисление меди на пластинах. Медь используется в современных полупроводниках для проводки. ^[13] Внутренности технологического оборудования и ФОУП поддерживаются чище, чем окружающий воздух в чистом помещении. Эта внутренняя атмосфера известна как мини-среда и помогает повысить производительность, то есть количество работающих устройств на пластине. Эта мини-среда находится внутри EFEM (модуля внешнего интерфейса оборудования). ^[14] который позволяет машине получать FOUP и вводит в машину пластины из FOUP. Кроме того, многие машины также обрабатывают пластины в среде чистого азота или вакуума, чтобы уменьшить загрязнение и улучшить контроль процесса. ^[9] Производственным предприятиям необходимо большое количество жидкого азота для поддержания атмосферы внутри производственного оборудования и FOUP, которые постоянно продуваются азотом. ^[11]^[12] Также может быть воздушная завеса или сетка. ^[15] между FOUP и EFEM, что помогает уменьшить количество влаги, попадающей в FOUP, и повысить урожайность. ^[16]^[17]

Компании, производящие машины, используемые в процессе промышленного изготовления полупроводников, включают ASML , Applied Materials , Tokyo Electron и Lam Research .

История развития

Детектор кошачьих усов

Полупроводники использовались в области электроники задолго до изобретения транзистора. Примерно на рубеже 20-го века они были довольно распространены в качестве детекторов в радиоприемниках , использовались в устройстве под названием «кошачий ус», разработанном Джагадишем Чандрой Босом и другими. Однако эти детекторы были несколько неприятными: оператору приходилось перемещать небольшую вольфрамовую нить (ус) вокруг поверхности кристалла галенита (сульфида свинца) или карборунда (карбида кремния) до тех пор, пока он внезапно не начал работать. ^[18] Затем, в течение нескольких часов или дней, усы кошки постепенно переставали работать, и процесс приходилось повторять. В то время их операция была совершенно загадочной. После появления более надежных и усиленных радиоприемников на электронных лампах системы «кошачьих усов» быстро исчезли. «Кошачий ус» — это примитивный пример диода особого типа, популярного и сегодня, называемого диодом Шоттки .

Металлический выпрямитель

Еще одним ранним типом полупроводниковых устройств является металлический выпрямитель, в котором полупроводником является оксид меди или селена . Westinghouse Electric (1886 г.) была крупным производителем этих выпрямителей.

Вторая мировая война

Во время Второй мировой войны исследования в области радиолокации быстро заставили радиолокационные приемники работать на все более высоких частотах , и традиционные ламповые радиоприемники больше не работали должным образом. Внедрение резонаторного магнетрона из Великобритании в Соединенные Штаты в 1940 году во время миссии Тизард привело к острой необходимости в практичном усилителе высокой частоты. ^{[ нужна ссылка ]}

По прихоти Рассел Ол из Bell Laboratories решил попробовать кошачьи усы . К этому моменту они уже несколько лет не использовались, и ни у кого в лабораториях их не было. Найдя один из них в магазине подержанных радиоприемников на Манхэттене , он обнаружил, что он работает намного лучше, чем ламповые системы.

Оль исследовал, почему кошачьи усы функционируют так хорошо. Большую часть 1939 года он провел, пытаясь вырастить более чистые версии кристаллов. Вскоре он обнаружил, что с кристаллами более высокого качества их привередливость исчезла, но исчезла и их способность работать в качестве радиодетектора. Однажды он обнаружил, что один из его самых чистых кристаллов, тем не менее, работал хорошо, и у него была четко заметная трещина посередине. Однако, когда он перемещался по комнате, пытаясь проверить его, детектор загадочным образом срабатывал, а затем снова останавливался. После некоторого исследования он обнаружил, что поведение контролируется светом в комнате: чем больше света, тем выше проводимость кристалла. Он пригласил еще нескольких человек посмотреть на этот кристалл, и Уолтер Браттейн сразу понял, что в трещине есть какой-то стык.

Дальнейшие исследования прояснили оставшуюся загадку. Кристалл раскололся, потому что обе стороны содержали очень незначительное разное количество примесей, которые Оль не мог удалить – около 0,2%. На одной стороне кристалла были примеси, которые добавляли дополнительные электроны (переносчики электрического тока) и делали его «проводником». У другого были примеси, которые хотели связываться с этими электронами, делая его (то, что он называл) «изолятором». Поскольку две части кристалла находились в контакте друг с другом, электроны могли быть вытеснены из проводящей стороны, на которой были дополнительные электроны (вскоре известные как эмиттер ) , и заменены новыми (от батареи, например), где они будут течь в изолирующую часть и собираться нитевидной нитью (называемой коллектором ) . Однако, когда напряжение было изменено на противоположное, электроны, попадающие в коллектор, быстро заполняли «дыры» (примеси, нуждающиеся в электронах), и проводимость прекращалась почти мгновенно. Это соединение двух кристаллов (или частей одного кристалла) создало твердотельный диод, и вскоре эта концепция стала известна как полупроводниковая. Механизм действия при выключении диода связан с разделением носителей заряда вокруг перехода. Это называется « область истощения ».

Разработка диода

Вооружившись знаниями о том, как работают эти новые диоды, начались энергичные усилия по созданию их по требованию. Команды из Университета Пердью , Bell Labs , Массачусетского технологического института и Чикагского университета объединили усилия для создания более совершенных кристаллов. За год производство германия было усовершенствовано до такой степени, что диоды военного назначения стали использоваться в большинстве радаров.

Разработка транзистора

После войны Уильям Шокли решил попытаться создать полупроводниковый прибор, подобный триоду . Он обеспечил финансирование и лабораторное пространство и начал работать над проблемой вместе с Брэттеном и Джоном Бардином .

Ключом к созданию транзистора стало дальнейшее понимание процесса подвижности электронов в полупроводнике. Было понятно, что если бы существовал какой-то способ контролировать поток электронов от эмиттера к коллектору этого недавно открытого диода, можно было бы построить усилитель. Например, если контакты разместить по обе стороны кристалла одного типа, ток между ними через кристалл не будет течь. Однако, если бы третий контакт мог затем «впрыскивать» электроны или дырки в материал, ток потек бы.

На самом деле сделать это оказалось очень сложно. Если бы кристалл имел какой-либо разумный размер, количество инжектируемых электронов (или дырок) должно было бы быть очень большим, что делало бы его менее чем полезным в качестве усилителя, поскольку для начала потребовался бы большой ток инжекции. Тем не менее, вся идея кристаллического диода заключалась в том, что сам кристалл мог доставлять электроны на очень небольшое расстояние, в область истощения. Ключевым моментом оказалось размещение входных и выходных контактов очень близко друг к другу на поверхности кристалла по обе стороны от этой области.

Браттейн начал работать над созданием такого устройства, и по мере того, как команда работала над проблемой, продолжали появляться дразнящие намеки на усиление. Иногда система работала, но потом неожиданно переставала работать. В одном случае нерабочая система начала работать, когда ее поместили в воду. Ол и Браттейн в конечном итоге разработали новую ветвь квантовой механики , которая стала известна как физика поверхности , чтобы объяснить это поведение. Электроны в любой части кристалла будут мигрировать из-за соседних зарядов. Электроны в эмиттерах или «дырках» в коллекторах будут группироваться на поверхности кристалла, где они смогут найти свой противоположный заряд, «плавающий» в воздухе (или воде). Однако их можно было оттолкнуть от поверхности, приложив небольшое количество заряда из любого другого места кристалла. Вместо большого количества инжектированных электронов, очень небольшое их количество в нужном месте кристалла позволит добиться того же самого.

Их понимание в некоторой степени решило проблему необходимости очень маленькой зоны контроля. Вместо двух отдельных полупроводников, соединенных общей, но крошечной областью, можно использовать одну большую поверхность. Выводы, испускающие и собирающие электроны, будут расположены очень близко друг к другу сверху, а управляющий вывод - в основании кристалла. Когда ток протекал через этот «базовый» вывод, электроны или дырки выталкивались через блок полупроводника и собирались на дальней поверхности. Пока эмиттер и коллектор расположены очень близко друг к другу, между ними должно оставаться достаточное количество электронов или дырок, чтобы началась проводимость.

Первый транзистор

Стилизованная копия первого транзистора.

Команда Bell предприняла множество попыток создать такую систему с помощью различных инструментов, но в целом они потерпели неудачу. Установки, в которых контакты располагались достаточно близко, всегда были такими же хрупкими, как и оригинальные детекторы из кошачьих усов, и срабатывали недолго, если вообще работали. В конце концов, они совершили практический прорыв. К краю пластикового клина приклеивали кусок золотой фольги, а затем бритвой надрезали фольгу на кончике треугольника. В результате получились два очень близко расположенных контакта золота. Когда клин прижали к поверхности кристалла и приложили напряжение к другой стороне (на основании кристалла), ток начал течь от одного контакта к другому, поскольку напряжение базы отталкивало электроны от базы. в другую сторону возле контактов. Был изобретен точечный транзистор.

Хотя устройство было сконструировано неделей ранее, в заметках Брэттена описывается первая демонстрация руководству лаборатории Bell Labs во второй половине дня 23 декабря 1947 года, которую часто называют датой рождения транзистора. То, что сейчас известно как « германиевый транзистор с точечным контактом p–n–p », в этом испытании работало как усилитель речи с коэффициентом усиления 18. Джон Бардин , Уолтер Хаузер Браттейн и Уильям Брэдфорд Шокли были удостоены Нобелевской премии по физике 1956 года за свою работу.

Этимология слова «транзистор»

Bell Telephone Laboratories требовалось общее название для своего нового изобретения: «Полупроводниковый триод», «Твердотельный триод», «Триод поверхностных состояний» [ sic ], «Кристаллический триод» и «Иотатрон» - все они рассматривались, но «транзистор», придуманный Джон Р. Пирс выиграл внутреннее голосование. Обоснование названия описано в следующем отрывке из Технического меморандума компании (28 мая 1948 г.) [26], призывающего к голосованию:

Транзистор. Это сокращенное сочетание слов «крутизна» или «перенос» и «варистор». Логически устройство принадлежит к семейству варисторов и имеет крутизну или передаточное сопротивление устройства с коэффициентом усиления, так что эта комбинация носит описательный характер.

Улучшения в конструкции транзисторов

Шокли был расстроен тем, что устройство приписывают Брэттену и Бардину, которые, по его мнению, построили его «за его спиной», чтобы завоевать славу. Ситуация ухудшилась, когда юристы Bell Labs обнаружили, что некоторые из собственных работ Шокли о транзисторе были достаточно близки к более раннему патенту 1925 года Юлиуса Эдгара Лилиенфельда , и они сочли лучшим, чтобы его имя было исключено из патентной заявки.

Шокли был разгневан и решил продемонстрировать, кто на самом деле был мозгом операции. ^{[ нужна ссылка ]} Несколько месяцев спустя он изобрел совершенно новый, значительно более надежный транзистор с биполярным переходом со слоистой или «сэндвичевой» структурой, который использовался в подавляющем большинстве всех транзисторов до 1960-х годов.

Когда проблемы хрупкости были решены, осталась проблема чистоты. Производство германия необходимой чистоты оказалось серьезной проблемой и ограничивало выход транзисторов, которые фактически работали из данной партии материала. Чувствительность германия к температуре также ограничивала его полезность. Ученые предположили, что кремний будет легче изготовить, но мало кто исследовал эту возможность. Бывший ученый Bell Labs Гордон К. Тил был первым, кто разработал работающий кремниевый транзистор в зарождающейся компании Texas Instruments , что дало ему технологическое преимущество. С конца 1950-х годов большинство транзисторов были на основе кремния. Через несколько лет на рынке появились продукты на основе транзисторов, в первую очередь портативные радиоприемники. « Зонная плавка », метод, использующий полосу расплавленного материала, движущуюся через кристалл, еще больше повышает чистоту кристаллов.

Металлооксидный полупроводник

В 1950-х годах Мохамед Аталла исследовал поверхностные свойства кремниевых полупроводников в Bell Labs , где он предложил новый метод изготовления полупроводниковых устройств , покрыв кремниевую пластину изолирующим слоем оксида кремния , чтобы электричество могло надежно проникать в проводящий кремний, расположенный ниже. , преодолевая поверхностные состояния, которые не позволяли электричеству достичь полупроводникового слоя. Это известно как пассивация поверхности — метод, который стал критически важным для полупроводниковой промышленности , поскольку сделал возможным массовое производство кремниевых интегральных схем (ИС). Опираясь на свой метод пассивации поверхности, он разработал процесс металлооксид-полупроводник (МОП), который, как он предложил, можно использовать для создания первого работающего кремниевого полевого транзистора (FET). ^[19]^[20] Это привело к изобретению МОП-транзистора (МОП-полевого транзистора) Мохамедом Аталлой и Давоном Кангом в 1959 году. ^[21]^[22] Благодаря своей масштабируемости , ^[23] и гораздо более низкое энергопотребление и более высокая плотность, чем у транзисторов с биполярным переходом , ^[24] МОП-транзистор стал наиболее распространенным типом транзисторов в компьютерах, электронике, ^[20] и коммуникационные технологии, такие как смартфоны . ^[25] Ведомство по патентам и товарным знакам США называет MOSFET «революционным изобретением, которое изменило жизнь и культуру во всем мире». ^[25]

КМОП (дополнительная МОП ) была изобретена Чи-Танг Са и Фрэнком Ванлассом в компании Fairchild Semiconductor в 1963 году. ^[26] Первое сообщение о МОП-транзисторе с плавающим затвором было сделано Давоном Кангом и Саймоном Се в 1967 году. ^[27] FinFET (плавниковый полевой транзистор), тип трехмерного многозатворного МОП-транзистора, был разработан Дигом Хисамото и его командой исследователей в Центральной исследовательской лаборатории Hitachi в 1989 году. ^[28]^[29]

См. также

Ссылки

^ Голио, Майк; Голио, Джанет (2018). Пассивные и активные технологии ВЧ и СВЧ . ЦРК Пресс . п. 18-2. ISBN 9781420006728 .
^ «Кто изобрел транзистор?» . Музей истории компьютеров . 4 декабря 2013 года . Проверено 20 июля 2019 г.
^ «Прогнозируется, что в 2018 году поставки полупроводников превысят 1 триллион устройств» . www.icinsights.com . Проверено 16 апреля 2018 г. Ожидается, что ежегодные поставки полупроводниковых устройств (интегральных схем и опто-сенсорно-дискретных, или OSD, устройств) вырастут на 9% [..] В 2018 году поставки полупроводниковых устройств, по прогнозам, вырастут до 1075,1 млрд, что соответствует 9%-ному росту производства год. Начиная с 1978 года с 32,6 миллиарда единиц и до 2018 года, совокупный годовой темп роста полупроводниковых единиц, по прогнозам, составит 9,1%, что является солидным показателем роста за 40-летний период. [..] По прогнозам, в 2018 году устройства OSD будут составлять 70% от общего числа полупроводниковых устройств по сравнению с 30% для микросхем.
^ «13 секстиллионов и счет: долгий и извилистый путь к самому часто изготавливаемому человеческому артефакту в истории» . Музей истории компьютеров . 2 апреля 2018 г. Проверено 28 июля 2019 г.
^ «Полупроводники нитрида галлия: новое поколение энергии | Navitas» . Проверено 2 мая 2023 г.
^ «Что такое GaN? Объяснение полупроводников нитрида галлия (GaN)» . Эффективное преобразование энергии . Проверено 2 мая 2023 г.
^ Хендрик Пурвинс; Бернд Барак; Ахмед Наги; Райнер Энгель; Уве Хёкеле; Андреас Кек; Шрикант Черла; Бенджамин Ленц; Гюнтер Пфайфер; Курт Вайнцирль (2014). «Методы регрессии для виртуальной метрологии толщины слоя при химическом осаждении из паровой фазы» . Транзакции IEEE/ASME по мехатронике . 19 (1): 1–8. дои : 10.1109/TMECH.2013.2273435 . S2CID 12369827 . Проверено 9 ноября 2015 г.
^ «8 вещей, которые вам следует знать о воде и полупроводниках» . Водный риск Китая . 11 июля 2013 года . Проверено 21 января 2023 г.
^ Jump up to: ^а ^б ^с Ёсио, Ниси (2017). Справочник по технологии производства полупроводников . ЦРК Пресс.
^ Лей, Вэй-Шэн; Кумар, Аджай; Яламанчили, Рао (6 апреля 2012 г.). «Технологии разделения штампов для современной упаковки: критический обзор» . Журнал вакуумной науки и технологий B, Нанотехнологии и микроэлектроника: материалы, обработка, измерения и явления . 30 (4): 040801. Бибкод : 2012JVSTB..30d0801L . дои : 10.1116/1.3700230 . ISSN 2166-2746 .
^ Jump up to: ^а ^б Ван, HP; Ким, Южная Каролина; Лю, Б. (2014). Усовершенствованная продувка FOUP с использованием диффузоров для применения с дверцами FOUP . 25-я ежегодная конференция по производству передовых полупроводников SEMI (ASMC 2014). стр. 120–124. дои : 10.1109/ASMC.2014.6846999 . ISBN 978-1-4799-3944-2 . S2CID 2482339 .
^ Jump up to: ^а ^б Система FOUP/LPU диаметром 450 мм в передовых процессах производства полупроводников: исследование минимизации содержания кислорода внутри FOUP при открытии двери . Совместный симпозиум по сотрудничеству в области электронного производства и проектирования (eMDC) 2015 г. и Международный симпозиум по производству полупроводников (ISSM) 2015 г.
^ Лин, Ти; Фу, Бен-Ран; Ху, Ши-Чэн; Тан, И-Хан (2018). «Предотвращение попадания влаги в унифицированную капсулу с передним открыванием (FOUP) с предварительной продувкой во время открытия двери в мини-окружении» . Транзакции IEEE по производству полупроводников . 31 (1): 108–115. дои : 10.1109/TSM.2018.2791985 . S2CID 25469704 .
^ Куре, Токуо; Ханаока, Хидео; Сугиура, Такуми; Накагава, Шинья (2007). «Технологии чистых помещений в эпоху мини-среды» (PDF) . Хитачи Обзор 56 (3): 70–74. CiteSeerX 10.1.1.493.1460 . S2CID 30883737 . Архивировано (PDF) из оригинала 0 ноября 2021 г. Проверено 0 ноября 2021 г.
^ Ким, Сон Чан; Шелски, Грег (2016). Улучшение производительности продувки FOUP с использованием преобразователя потока EFEM . 2016 27-я ежегодная конференция SEMI по производству передовых полупроводников (ASMC). стр. 6–11. дои : 10.1109/ASMC.2016.7491075 . ISBN 978-1-5090-0270-2 . S2CID 3240442 .
^ Беналькасар, Дэвид; Лин, Ти; Ху, Мин-Сюань; Али Заргар, Омид; Линь, Шао-Ю; Ши, Ян-Чэн; Леггетт, Грэм (2022). «Численное исследование влияния скорости потока продувки и воздушной завесы на проникновение влаги в унифицированную капсулу с передним отверстием (FOUP)» . Транзакции IEEE по производству полупроводников . 35 (4): 670–679. дои : 10.1109/TSM.2022.3209221 . S2CID 252555815 .
^ Лин, Ти; Али Заргар, Омид; Джуина, Оскар; Ли, Цзы-Чье; Сабусап, Декстер Линдон; Ху, Ши-Чэн; Леггетт, Грэм (2020). «Эффективность различных методов удаления влаги с унифицированной капсулы (FOUP) с передним открытием с помощью местной системы вытяжной вентиляции» . Транзакции IEEE по производству полупроводников . 33 (2): 310–315. дои : 10.1109/TSM.2020.2977122 . S2CID 213026336 .
^ Эрнест Браун и Стюарт Макдональд (1982). Революция в миниатюре: история и влияние полупроводниковой электроники . Издательство Кембриджского университета. стр. 11–13. ISBN 978-0-521-28903-0 .
^ «Мартин Аталла в Зале славы изобретателей, 2009» . Проверено 21 июня 2013 г.
^ Jump up to: ^а ^б «Давон Кан» . Национальный зал славы изобретателей . Проверено 27 июня 2019 г.
^ «1960 — Демонстрация металлооксидно-полупроводникового (МОП) транзистора» . Кремниевый двигатель . Музей истории компьютеров .
^ Лоек, Бо (2007). История полупроводниковой техники . Springer Science & Business Media . стр. 321-3 . ISBN 9783540342588 .
^ Мотоёси, М. (2009). «Сквозное кремниевое отверстие (TSV)» (PDF) . Труды IEEE . 97 (1): 43–48. дои : 10.1109/JPROC.2008.2007462 . ISSN 0018-9219 . S2CID 29105721 . Архивировано из оригинала (PDF) 19 июля 2019 г.
^ «Транзисторы поддерживают закон Мура» . ЭТаймс . 12 декабря 2018 года . Проверено 18 июля 2019 г.
^ Jump up to: ^а ^б «Выступление директора Янку на Международной конференции по интеллектуальной собственности 2019 года» . Ведомство США по патентам и товарным знакам . 10 июня 2019 г. Проверено 20 июля 2019 г.
^ «1963: Изобретена дополнительная конфигурация МОП-схемы» . Музей истории компьютеров . Проверено 6 июля 2019 г.
^ Д. Канг и С.М. Зе, «Плавающий вентиль и его применение в устройствах памяти», Технический журнал Bell System , том. 46, нет. 4, 1967, стр. 1288–1295.
^ «Получатели премии IEEE Эндрю С. Гроува» . Премия IEEE Эндрю С. Гроува . Институт инженеров электротехники и электроники . Проверено 4 июля 2019 г. ^{[ мертвая ссылка ]}
^ «Революционное преимущество ПЛИС с технологией Tri-Gate» (PDF) . Интел . 2014. Архивировано (PDF) из оригинала 9 октября 2022 г. Проверено 4 июля 2019 г.

Мюллер, Ричард С. и Теодор И. Каминс (1986). Электроника устройств для интегральных схем . Джон Уайли и сыновья. ISBN 978-0-471-88758-4 .

[Golio-1] Голио, Майк; Голио, Джанет (2018). Пассивные и активные технологии ВЧ и СВЧ . ЦРК Пресс . п. 18-2. ISBN 9781420006728 .

[computer_history-transistor-2] «Кто изобрел транзистор?» . Музей истории компьютеров . 4 декабря 2013 года . Проверено 20 июля 2019 г.

[3] «Прогнозируется, что в 2018 году поставки полупроводников превысят 1 триллион устройств» . www.icinsights.com . Проверено 16 апреля 2018 г. Ожидается, что ежегодные поставки полупроводниковых устройств (интегральных схем и опто-сенсорно-дискретных, или OSD, устройств) вырастут на 9% [..] В 2018 году поставки полупроводниковых устройств, по прогнозам, вырастут до 1075,1 млрд, что соответствует 9%-ному росту производства год. Начиная с 1978 года с 32,6 миллиарда единиц и до 2018 года, совокупный годовой темп роста полупроводниковых единиц, по прогнозам, составит 9,1%, что является солидным показателем роста за 40-летний период. [..] По прогнозам, в 2018 году устройства OSD будут составлять 70% от общего числа полупроводниковых устройств по сравнению с 30% для микросхем.

[computerhistory2018-4] «13 секстиллионов и счет: долгий и извилистый путь к самому часто изготавливаемому человеческому артефакту в истории» . Музей истории компьютеров . 2 апреля 2018 г. Проверено 28 июля 2019 г.

[5] «Полупроводники нитрида галлия: новое поколение энергии | Navitas» . Проверено 2 мая 2023 г.

[6] «Что такое GaN? Объяснение полупроводников нитрида галлия (GaN)» . Эффективное преобразование энергии . Проверено 2 мая 2023 г.

[Semiconductor_device_fabrication_berlin-regression-methods-7] Хендрик Пурвинс; Бернд Барак; Ахмед Наги; Райнер Энгель; Уве Хёкеле; Андреас Кек; Шрикант Черла; Бенджамин Ленц; Гюнтер Пфайфер; Курт Вайнцирль (2014). «Методы регрессии для виртуальной метрологии толщины слоя при химическом осаждении из паровой фазы» . Транзакции IEEE/ASME по мехатронике . 19 (1): 1–8. дои : 10.1109/TMECH.2013.2273435 . S2CID 12369827 . Проверено 9 ноября 2015 г.

[8] «8 вещей, которые вам следует знать о воде и полупроводниках» . Водный риск Китая . 11 июля 2013 года . Проверено 21 января 2023 г.

[Semiconductor_device_fabrication_auto4-9] Jump up to: ^а ^б ^с Ёсио, Ниси (2017). Справочник по технологии производства полупроводников . ЦРК Пресс.

[10] Лей, Вэй-Шэн; Кумар, Аджай; Яламанчили, Рао (6 апреля 2012 г.). «Технологии разделения штампов для современной упаковки: критический обзор» . Журнал вакуумной науки и технологий B, Нанотехнологии и микроэлектроника: материалы, обработка, измерения и явления . 30 (4): 040801. Бибкод : 2012JVSTB..30d0801L . дои : 10.1116/1.3700230 . ISSN 2166-2746 .

[Semiconductor_device_fabrication_auto-11] Jump up to: ^а ^б Ван, HP; Ким, Южная Каролина; Лю, Б. (2014). Усовершенствованная продувка FOUP с использованием диффузоров для применения с дверцами FOUP . 25-я ежегодная конференция по производству передовых полупроводников SEMI (ASMC 2014). стр. 120–124. дои : 10.1109/ASMC.2014.6846999 . ISBN 978-1-4799-3944-2 . S2CID 2482339 .

[Semiconductor_device_fabrication_auto3-12] Jump up to: ^а ^б Система FOUP/LPU диаметром 450 мм в передовых процессах производства полупроводников: исследование минимизации содержания кислорода внутри FOUP при открытии двери . Совместный симпозиум по сотрудничеству в области электронного производства и проектирования (eMDC) 2015 г. и Международный симпозиум по производству полупроводников (ISSM) 2015 г.

[13] Лин, Ти; Фу, Бен-Ран; Ху, Ши-Чэн; Тан, И-Хан (2018). «Предотвращение попадания влаги в унифицированную капсулу с передним открыванием (FOUP) с предварительной продувкой во время открытия двери в мини-окружении» . Транзакции IEEE по производству полупроводников . 31 (1): 108–115. дои : 10.1109/TSM.2018.2791985 . S2CID 25469704 .

[Semiconductor_device_fabrication_auto6-14] Куре, Токуо; Ханаока, Хидео; Сугиура, Такуми; Накагава, Шинья (2007). «Технологии чистых помещений в эпоху мини-среды» (PDF) . Хитачи Обзор 56 (3): 70–74. CiteSeerX 10.1.1.493.1460 . S2CID 30883737 . Архивировано (PDF) из оригинала 0 ноября 2021 г. Проверено 0 ноября 2021 г.

[15] Ким, Сон Чан; Шелски, Грег (2016). Улучшение производительности продувки FOUP с использованием преобразователя потока EFEM . 2016 27-я ежегодная конференция SEMI по производству передовых полупроводников (ASMC). стр. 6–11. дои : 10.1109/ASMC.2016.7491075 . ISBN 978-1-5090-0270-2 . S2CID 3240442 .

[16] Беналькасар, Дэвид; Лин, Ти; Ху, Мин-Сюань; Али Заргар, Омид; Линь, Шао-Ю; Ши, Ян-Чэн; Леггетт, Грэм (2022). «Численное исследование влияния скорости потока продувки и воздушной завесы на проникновение влаги в унифицированную капсулу с передним отверстием (FOUP)» . Транзакции IEEE по производству полупроводников . 35 (4): 670–679. дои : 10.1109/TSM.2022.3209221 . S2CID 252555815 .

[Semiconductor_device_fabrication_auto5-17] Лин, Ти; Али Заргар, Омид; Джуина, Оскар; Ли, Цзы-Чье; Сабусап, Декстер Линдон; Ху, Ши-Чэн; Леггетт, Грэм (2020). «Эффективность различных методов удаления влаги с унифицированной капсулы (FOUP) с передним открытием с помощью местной системы вытяжной вентиляции» . Транзакции IEEE по производству полупроводников . 33 (2): 310–315. дои : 10.1109/TSM.2020.2977122 . S2CID 213026336 .

[18] Эрнест Браун и Стюарт Макдональд (1982). Революция в миниатюре: история и влияние полупроводниковой электроники . Издательство Кембриджского университета. стр. 11–13. ISBN 978-0-521-28903-0 .

[Atalla-19] «Мартин Аталла в Зале славы изобретателей, 2009» . Проверено 21 июня 2013 г.

[Khang-20] Jump up to: ^а ^б «Давон Кан» . Национальный зал славы изобретателей . Проверено 27 июня 2019 г.

[21] «1960 — Демонстрация металлооксидно-полупроводникового (МОП) транзистора» . Кремниевый двигатель . Музей истории компьютеров .

[Lojek-22] Лоек, Бо (2007). История полупроводниковой техники . Springer Science & Business Media . стр. 321-3 . ISBN 9783540342588 .

[23] Мотоёси, М. (2009). «Сквозное кремниевое отверстие (TSV)» (PDF) . Труды IEEE . 97 (1): 43–48. дои : 10.1109/JPROC.2008.2007462 . ISSN 0018-9219 . S2CID 29105721 . Архивировано из оригинала (PDF) 19 июля 2019 г.

[24] «Транзисторы поддерживают закон Мура» . ЭТаймс . 12 декабря 2018 года . Проверено 18 июля 2019 г.

[uspto-25] Jump up to: ^а ^б «Выступление директора Янку на Международной конференции по интеллектуальной собственности 2019 года» . Ведомство США по патентам и товарным знакам . 10 июня 2019 г. Проверено 20 июля 2019 г.

[computerhistory1963-26] «1963: Изобретена дополнительная конфигурация МОП-схемы» . Музей истории компьютеров . Проверено 6 июля 2019 г.

[27] Д. Канг и С.М. Зе, «Плавающий вентиль и его применение в устройствах памяти», Технический журнал Bell System , том. 46, нет. 4, 1967, стр. 1288–1295.

[28] «Получатели премии IEEE Эндрю С. Гроува» . Премия IEEE Эндрю С. Гроува . Институт инженеров электротехники и электроники . Проверено 4 июля 2019 г. ^{[ мертвая ссылка ]}

[29] «Революционное преимущество ПЛИС с технологией Tri-Gate» (PDF) . Интел . 2014. Архивировано (PDF) из оригинала 9 октября 2022 г. Проверено 4 июля 2019 г.

[1]

[2]

[3]

[4]

[5]

[6]

[7]

[8]

[9]

[10]

[11]

[12]

[13]

[14]

[15]

[16]

[17]

[18]

[19]

[20]

[21]

[22]

[23]

[24]

[25]

[26]

[27]

[28]

[29]