Фторсиликатное стекло
Фторсиликатное стекло ( ФСГ ) представляет собой стеклянный материал, состоящий в основном из фтора , кремния и кислорода . Он имеет ряд применений в промышленности и производстве, особенно в производстве полупроводников, где он образует изолирующий диэлектрик . Родственная фторсиликатная стеклокерамика имеет хорошие механические и химические свойства.
Производство полупроводников
[ редактировать ]FSG имеет небольшую относительную диэлектрическую проницаемость ( диэлектрик с низким κ ) и используется между металлических и медных межсоединений слоями кремниевых интегральных схем в процессе изготовления . Он широко используется на заводах по производству полупроводников с геометрией менее 0,25 микрона (мкм). ФСГ фактически представляет собой диоксид фторсодержащий кремния (κ=3,5, тогда как κ нелегированного диоксида кремния составляет 3,9). [1] FSG используется IBM . [2] Intel начала использовать металлические слои Cu и FSG в своем процессоре Pentium с тактовой частотой 1,2 ГГц по технологии комплементарного металл-оксид-полупроводник ( CMOS ) 130 нм. Тайваньская компания по производству полупроводников ( TSMC ) объединила FSG и медь в Altera APEX.
Фторсиликатная стеклокерамика
[ редактировать ]Фторсиликатная стеклокерамика представляет собой кристаллические или полукристаллические твердые вещества, образующиеся при осторожном охлаждении расплавленного фторсиликатного стекла. Они имеют хорошие механические свойства.
Материалы на основе фторрихтерита калия состоят из крошечных переплетенных амфибола кристаллов стержнеобразной формы; они обладают хорошей устойчивостью к химическим веществам и могут использоваться в микроволновых печах . Рихтеритовая стеклокерамика используется для изготовления высокопрочной посуды .
Фторсиликатная стеклокерамика листовой структуры, полученная из слюды , прочна и поддается механической обработке. Они находят множество применений и могут использоваться в высоком вакууме, а также в качестве диэлектриков и прецизионных керамических компонентов. исследован ряд слюдяных и слюдяно- фторапатитовых стеклокерамик В качестве биоматериалов . [3]
См. также
[ редактировать ]Ссылки
[ редактировать ]- ^ Комитет, EDFASDR (2004). Анализ отказов микроэлектроники: Справочник . АСМ Интернешнл. ISBN 9780871708045 . Проверено 13 апреля 2015 г.
- ^ Солтис, ФГ (2001). Крепость Рочестер: внутренняя история IBM ISeries . Новости/400 книг. п. 54. ИСБН 9781583040836 . Проверено 13 апреля 2015 г.
- ^ Мартин, JW (2006). Краткая энциклопедия строения материалов . Эльзевир Наука. п. 203. ИСБН 9780080524634 . Проверено 13 апреля 2015 г.
 | Эта статья о технологиях незавершена . медицинских Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |