Моносилицид никеля
| |
| Идентификаторы | |
|---|---|
3D model ( JSmol )
|
|
| ХимическийПаук | |
ПабХим CID
|
|
Панель управления CompTox ( EPA )
|
|
| Характеристики | |
| НиСи | |
| Молярная масса | 86.778 g/mol |
| Температура плавления | 1000 °С; 1832 ° F; 1273 К [ 2 ] |
| −0.3 × 10 −6 emu/g [ 1 ] | |
| Структура [ 3 ] | |
| Орторомбический, oP8 | |
| Пнма, нет. 62 | |
а = 0,519 нм, б = 0,333 нм, с = 0,5628 нм
| |
Формульные единицы ( Z )
|
4 |
Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа).
| |
Моносилицид никеля представляет собой интерметаллическое соединение, образованное из никеля и кремния . Как и другие силициды никеля , NiSi имеет важное значение в области микроэлектроники .
Подготовка
[ редактировать ]Моносилицид никеля можно получить путем нанесения слоя никеля на кремний и последующего отжига . В случае пленок Ni толщиной более 4 нм нормальный фазовый переход осуществляется Ni 2 Si при 250 °C, за которым следует NiSi при 350 °C и NiSi 2 примерно при 800 °C. [ 4 ] Для пленок с исходной толщиной Ni менее 4 нм наблюдается прямой переход от ромбического Ni 2 Si к эпитаксиальному NiSi 2−x , минуя фазу моносилицида никеля. [ 5 ]
Использование
[ редактировать ]Несколько свойств делают NiSi важным материалом для локальных контактов в области микроэлектроники, в том числе уменьшенный тепловой баланс , низкое удельное сопротивление 13–14 мкОм·см и уменьшенное потребление Si по сравнению с альтернативными соединениями. [ 6 ]
Ссылки
[ редактировать ]- ^ Шинода, Дайзабуро; Асанабе, Сидзуо (1966). «Магнитные свойства силицидов переходных элементов группы железа». Журнал Физического общества Японии . 21 (3): 555. Бибкод : 1966JPSJ...21..555S . дои : 10.1143/JPSJ.21.555 .
- ^ Газ, П.; д'Эрль, FM (1998). «Диффузия в силицидах». В Беке, Д.Л. (ред.). Ландольт-Бёрнштейн — Конденсированные вещества III группы . Том. 33А. Спрингер. стр. 1–38. дои : 10.1007/10426818_13 . ISBN 3-540-60964-4 .
- ^ Воперсноу В., Шуберт К. (1976) Z. Metallkd. , 67, 807–810
- ^ д'Эрль, FM; Гас, П. (февраль 1986 г.). «Кинетика образования силицидов: обзор». Журнал исследования материалов . 1 (1): 205–221. Бибкод : 1986JMatR...1..205D . дои : 10.1557/JMR.1986.0205 . S2CID 135724287 .
- ^ Вольф, Филипп М.; Питтан, Эдуардо; Чжан, Чжэнь; Лавуа, Кристиан; Тран, Туан Т.; Приметхофер, Дэниел (21 февраля 2022 г.). «Прямой переход от ультратонких орторомбических диникелевых силицидов к эпитаксиальному дисилициду никеля, обнаруженный с помощью синтеза и анализа in situ» . Маленький . 18 (14): 2106093. doi : 10.1002/smll.202106093 . ISSN 1613-6810 . ПМИД 35191181 . S2CID 247023770 .
- ^ Лавуа, К.; д'Эрль, FM; Детавернье, К.; Кабрал, К. (ноябрь 2003 г.). «На пути к внедрению силицидного процесса никеля для КМОП-технологий». Микроэлектронная инженерия . 70 (2–4): 144–157. дои : 10.1016/S0167-9317(03)00380-0 .
 | Эта неорганическим соединениям статья, посвященная , незавершена . Вы можете помочь Википедии, расширив ее . |