Дисилицид вольфрама

Дисилицид вольфрама ^{[ 1 ]}
Имена
	Название ИЮПАК Дисилицид вольфрама
Идентификаторы
Номер CAS	12039-88-2 ;
3D model ( JSmol )	Интерактивное изображение ;
Информационная карта ECHA	100.031.723
ПабХим CID	16212546 ;
Панель управления CompTox ( EPA )	DTXSID6093960 ;
	показывать ИнЧИ
	показывать УЛЫБКИ
Характеристики
Химическая формула	ВСи 2
Молярная масса	240.011 g/mol
Появление	сине-серые тетрагональные кристаллы
Плотность	9,3 г/см 3
Температура плавления	2160 ° C (3920 ° F; 2430 К)
Растворимость в воде	нерастворимый
Опасности
NFPA 704 (огненный алмаз)	1 0 0
точка возгорания	Невоспламеняющийся
Родственные соединения
Другие анионы	Карбид вольфрама ; Нитрид вольфрама
Другие катионы	Дисилицид молибдена
	Если не указано иное, данные приведены для материалов в стандартном состоянии (при 25 °C [77 °F], 100 кПа). проверить ( что такое ?) Ссылки на инфобоксы

Дисилицид вольфрама ( WSi ₂ ) — неорганическое соединение силицид вольфрама , . Это электропроводящий керамический материал.

Химия

Дисилицид вольфрама может бурно реагировать с такими веществами, как сильные кислоты , фтор , окислители и интергалогены .

Приложения

Применяется в микроэлектронике как контактный материал с удельным сопротивлением 60–80 мкОм·см; он образуется при 1000 ° C. Его часто используют в качестве шунта над поликремниевыми линиями для увеличения их проводимости и увеличения скорости прохождения сигнала. Слои дисилицида вольфрама могут быть получены химическим осаждением из паровой фазы , например, с использованием моносилана или дихлорсилана с гексафторидом вольфрама в качестве исходных газов. Осажденная пленка является нестехиометрической и требует отжига для преобразования в более проводящую стехиометрическую форму. Дисилицид вольфрама является заменой более ранних вольфрамовых пленок. ^{[ 2 ]} Дисилицид вольфрама также используется в качестве барьерного слоя между кремнием и другими металлами, например вольфрамом.

Дисилицид вольфрама также имеет ценность для использования в микроэлектромеханических системах , где он в основном применяется в виде тонких пленок для изготовления микросхем. Для таких целей пленки дисилицида вольфрама можно травить в плазме, например, с использованием газообразного трифторида азота .

WSi ₂ хорошо себя зарекомендовал в качестве устойчивых к окислению покрытий. В частности, как и в случае с дисилицидом молибдена MoSi ₂ , высокая излучательная способность дисилицида вольфрама делает этот материал привлекательным для высокотемпературного радиационного охлаждения , что имеет значение для теплозащитных экранов . ^{[ 3 ]}

Ссылки

^ Лиде, Дэвид Р. (1998), Справочник по химии и физике (87-е изд.), Бока-Ратон, Флорида: CRC Press, стр. 4–91, ISBN 0-8493-0594-2
^ «Продукция CVD – Материалы» . Архивировано из оригинала 7 сентября 2001 г. Проверено 19 августа 2007 г.
^ Высокоэмиссионные покрытия на волокнистой керамике для многоразовых космических систем Corrosion Science 2019

[hand-1] Лиде, Дэвид Р. (1998), Справочник по химии и физике (87-е изд.), Бока-Ратон, Флорида: CRC Press, стр. 4–91, ISBN 0-8493-0594-2

[2] «Продукция CVD – Материалы» . Архивировано из оригинала 7 сентября 2001 г. Проверено 19 августа 2007 г.

[3] Высокоэмиссионные покрытия на волокнистой керамике для многоразовых космических систем Corrosion Science 2019

[ 1 ]

[ 2 ]

[ 3 ]