Нитрид вольфрама
Нитрид вольфрама ( W 2 N , WN , WN 2 ) — неорганическое соединение нитрид вольфрама , . [1] Это твердый, твердый керамический материал коричневого цвета, электропроводящий и разлагающийся в воде.
Он используется в микроэлектронике в качестве контактного материала , для проводящих слоев и барьерных слоев между кремнием и другими металлами, например вольфрамом или медью . Он используется реже, чем нитрида титана или вольфрама пленки .
Нитрид вольфрама образуется вместе с диоксидом вольфрама , триоксидом вольфрама и пятиокисью вольфрама , когда лампа накаливания разбивается при нагревании нити накала.
Силицид вольфрама — еще один материал аналогичного назначения.
Ссылки
[ редактировать ]- ^ , Ли, Синъюнь; Ван, Сяньфэнь; Чжао, Сю Сун (01.11.2020). Лю, Чэнсян; Ван , Мэн -скоростной анод для литий-ионных батарей» . Chemical Engineering Journal . 399 : 125705. doi : 10.1016/j.cej. 2020.125705 . ISSN 1385-8947 . S2CID 224904157 .