Детектор Эверхарта – Торнли

Детектор Эверхарта-Торнли ( ET-детектор или ET-детектор ) представляет собой вторичных электронов и обратно-рассеянных электронов, детектор используемый в сканирующих электронных микроскопах (SEM). Он назван в честь своих создателей Томаса Э. Эверхарта и Ричарда Ф.М. Торнли , которые в 1960 году опубликовали свою конструкцию, направленную на повышение эффективности существующих детекторов вторичных электронов путем добавления световода для передачи фотонного сигнала от сцинтиллятора внутрь вакуумированной камеры для образцов. СЭМ к фотоумножителю вне камеры. ^{[ 1 ]} До этого Эверхарт улучшил конструкцию обнаружения вторичных электронов Владимиром Зворыкиным и Яном А. Райхманом, заменив электронный умножитель на фотоумножитель. Детектор Эверхарта-Торнли со световодом и высокоэффективным фотоумножителем является наиболее часто используемым детектором в СЭМ.

Детектор состоит в основном из сцинтиллятора внутри клетки Фарадея внутри камеры для образцов микроскопа. низкое положительное напряжение К клетке Фарадея прикладывается менее 50 эВ для привлечения вторичных электронов с относительно низкой энергией (по определению ). Другие электроны внутри камеры образца не притягиваются этим низким напряжением и достигнут детектора только в том случае, если направление их движения приведет их к нему. Сцинтиллятор имеет высокое положительное напряжение (обычно 10 000 В) для ускорения поступающих к нему электронов, где они могут быть преобразованы в световые фотоны. ^{[ 2 ]} Направление их движения фокусируется на световоде с помощью металлического покрытия сцинтиллятора, действующего как зеркало. В световоде фотоны выходят за пределы вакуумной камеры микроскопа в трубку фотоумножителя для усиления.

Детектор вторичных электронов ЭТ можно использовать в режиме обратно рассеянных электронов СЭМ, либо отключив клетку Фарадея, либо подав отрицательное напряжение на клетку Фарадея. Однако более качественные изображения обратно-рассеянных электронов получаются с помощью специальных детекторов BSE, а не с использованием ET-детектора в качестве детектора BSE.

Ссылки

^ Эверхарт, Т.Э. и РФМ Торнли (1960). «Широкополосный детектор микро-микроамперных электронных токов низкой энергии» (PDF) . Журнал научных инструментов . 37 (7): 246–248. Бибкод : 1960JScI...37..246E . дои : 10.1088/0950-7671/37/7/307 .
^ Гольдштейн, Джозеф (2018). Сканирующая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ . Ньюбери, Дейл Э., Майкл, Джозеф Р., Ричи, Николас В.М., Скотт, Джон Генри Дж., Джой, Дэвид К. (Четвертое изд.). Нью-Йорк, штат Нью-Йорк: Спрингер. стр. 115–116. ISBN 978-1-4939-6676-9 . OCLC 1013460027 .

[1] Эверхарт, Т.Э. и РФМ Торнли (1960). «Широкополосный детектор микро-микроамперных электронных токов низкой энергии» (PDF) . Журнал научных инструментов . 37 (7): 246–248. Бибкод : 1960JScI...37..246E . дои : 10.1088/0950-7671/37/7/307 .

[2] Гольдштейн, Джозеф (2018). Сканирующая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ . Ньюбери, Дейл Э., Майкл, Джозеф Р., Ричи, Николас В.М., Скотт, Джон Генри Дж., Джой, Дэвид К. (Четвертое изд.). Нью-Йорк, штат Нью-Йорк: Спрингер. стр. 115–116. ISBN 978-1-4939-6676-9 . OCLC 1013460027 .

[ 1 ]

[ 2 ]