Автоэмиссионный пистолет

Источник электронов с эмиттером Шоттки электронного микроскопа

( Автоэмиссионная пушка ФЭГ ) — это тип электронной пушки , в которой остроконечный наконечник типа Мюллера излучатель Удерживается при в несколько киловольт отрицательном потенциале относительно близлежащего электрода имеется достаточный градиент , так что на поверхности эмиттера потенциала, чтобы вызвать автоэлектронную эмиссию . Эмиттеры бывают либо с холодным катодом , обычно из монокристалла вольфрама, заточенного до радиуса острия около 100 нм, либо типа Шоттки , в котором термоэлектронная эмиссия усиливается за счет снижения барьера в присутствии сильного электрического поля . Эмиттеры Шоттки изготавливаются путем покрытия вольфрамового наконечника слоем оксида циркония (ZrO ₂ ), что снижает работу выхода иглы примерно на 2,7 эВ .

В электронных микроскопах автоэмиссионная пушка используется для создания электронного луча меньшего диаметра, более когерентного , на три порядка большей и с плотностью тока или яркостью , чем это может быть достигнуто с помощью обычных термоэмиттеров, таких как вольфрам или гексаборид лантана. ( ЛаБ
₆ ) нити с наконечниками . Результатом как сканирующей, так и просвечивающей электронной микроскопии является значительно улучшенное соотношение сигнал/шум и пространственное разрешение , а также значительно увеличенный срок службы и надежность эмиттера по сравнению с термоэлектронными устройствами.