✖


Jump to content

Ионная имплантация

(Перенаправлено с SIMOX )

Система ионной имплантации на технологическом объекте LAAS в Тулузе, Франция.

Ионная имплантация — это низкотемпературный процесс, при котором ионы одного элемента ускоряются в твердую мишень, тем самым изменяя физические, химические или электрические свойства мишени. Ионная имплантация используется при производстве полупроводниковых приборов и отделке металлов, а также в исследованиях в области материаловедения . Ионы могут изменить элементный состав мишени (если ионы отличаются по составу от мишени), если они остановятся и останутся в мишени. Ионная имплантация также вызывает химические и физические изменения, когда ионы падают на мишень с высокой энергией. Кристаллическая структура мишени может быть повреждена или даже разрушена каскадами энергетических столкновений , а ионы достаточно высокой энергии (десятки МэВ) могут вызвать ядерную трансмутацию .

Общий принцип

[ редактировать ]
Установка для ионной имплантации с масс-сепаратором

Оборудование для ионной имплантации обычно состоит из источника ионов , в котором производятся ионы желаемого элемента, ускорителя , в котором ионы электростатически ускоряются до высокой энергии или с использованием радиочастоты, и целевой камеры, где ионы сталкиваются с мишенью, что это материал для имплантации. Таким образом, ионная имплантация представляет собой частный случай излучения частиц . Каждый ион обычно представляет собой один атом или молекулу, и, таким образом, фактическое количество материала, имплантированного в мишень, является интегралом по времени ионного тока. Это количество называется дозой. Токи, подаваемые имплантатами, обычно малы (микроамперы), поэтому доза, которую можно имплантировать за разумный промежуток времени, мала. Следовательно, ионная имплантация находит применение в тех случаях, когда требуемый объем химических изменений невелик.

Типичная энергия ионов находится в диапазоне от 10 до 500 кэВ (от 1600 до 80 000 аДж). Можно использовать энергии в диапазоне от 1 до 10 кэВ (от 160 до 1600 аДж), но это приводит к проникновению всего на несколько нанометров или меньше. Энергия ниже этой приводит к очень небольшому повреждению цели и подпадает под определение ионно-лучевого осаждения . Могут быть использованы и более высокие энергии: распространены ускорители мощностью 5 МэВ (800 000 аДж). Тем не менее, цель часто подвергается серьезному структурному повреждению, а поскольку распределение по глубине широкое ( пик Брэгга ), итоговое изменение состава в любой точке цели будет небольшим.

Энергия ионов, а также вид ионов и состав мишени определяют глубину проникновения ионов в твердое тело: моноэнергетический ионный пучок обычно имеет широкое распределение по глубине. Средняя глубина проникновения называется пробегом ионов. В типичных обстоятельствах диапазон ионов будет составлять от 10 нанометров до 1 микрометра. Таким образом, ионная имплантация особенно полезна в тех случаях, когда желательно, чтобы химическое или структурное изменение произошло вблизи поверхности мишени. Ионы постепенно теряют свою энергию по мере прохождения через твердое тело, как из-за случайных столкновений с атомами мишени (которые вызывают резкую передачу энергии), так и из-за небольшого сопротивления из-за перекрытия электронных орбиталей, что является непрерывным процессом. Потеря энергии ионов в мишени называется остановкой и может быть смоделирована с помощью метода приближения бинарных столкновений .

Ускорительные системы для ионной имплантации обычно подразделяются на среднеточные (токи ионного пучка от 10 мкА до ~ 2 мА), сильноточные (токи ионного пучка до ~ 30 мА), высокоэнергетические (энергия ионов от 200 кэВ до 10 МэВ). ) и очень высокие дозы (эффективный имплантат с дозой более 10 16 ионов/см 2 ). [1] [2] [3]


Источник ионов

[ редактировать ]

Все разновидности конструкций пучков ионной имплантации содержат общие группы функциональных компонентов (см. изображение). Первый основной сегмент ионного пучка включает в себя источник ионов, используемый для генерации различных видов ионов. Источник тесно связан со смещенными электродами для вывода ионов в канал пучка и чаще всего с некоторыми средствами выбора определенного вида ионов для транспортировки в основную секцию ускорителя.

Источник ионов часто изготавливается из материалов с высокой температурой плавления, таких как вольфрам, вольфрам, легированный оксидом лантана, молибден и тантал. Часто внутри источника ионов создается плазма между двумя вольфрамовыми электродами, называемыми отражателями, с использованием газа, часто на основе фтора, содержащего имплантируемый ион, будь то германий, бор или кремний, например трифторид бора. [4] дифторид бора, [5] тетрафторид германия или тетрафторид кремния. [6] Газообразный арсин или газообразный фосфин можно использовать в источнике ионов для обеспечения мышьяка или фосфора соответственно для имплантации. [7] Источник ионов также имеет катод косвенного нагрева. В качестве альтернативы этот нагретый катод можно использовать в качестве одного из отражателей, что устраняет необходимость в специальном катоде. [8] [9] [10] или используется катод прямого нагрева. [11]

Газы на основе кислорода или оксидов, такие как диоксид углерода, также могут использоваться для ионов, таких как углерод. Водород или водород с ксеноном, криптоном или аргоном могут быть добавлены в плазму, чтобы замедлить разложение вольфрамовых компонентов из-за галогенного цикла. [12] [10] [13] [14] Водород может поступать из баллона высокого давления или из генератора водорода, использующего электролиз. [15] Отпугиватели на каждом конце источника ионов постоянно перемещают атомы от одного конца источника ионов к другому, напоминая два направленных друг на друга зеркала, постоянно отражающих свет. [8]

Ионы извлекаются из источника с помощью экстракционного электрода вне источника ионов через щелевидное отверстие в источнике. [16] [17] затем ионный луч проходит через аналитический магнит для отбора ионов, которые будут имплантированы, а затем проходит через один или два [18] линейные ускорители (линеки) [19] которые ускоряют ионы до того, как они достигнут пластины в технологической камере. [19] В ионных имплантаторах среднего тока перед технологической камерой также имеется ловушка нейтральных ионов для удаления нейтральных ионов из ионного пучка. [20]

Некоторые легирующие добавки, такие как алюминий, часто подаются в источник ионов не в виде газа, а в виде твердого соединения на основе хлора или йода, которое испаряется в ближайшем тигле, например йодид алюминия или хлорид алюминия , или в виде твердой мишени для распыления внутри иона. источник из оксида алюминия или нитрида алюминия . [15] Имплантация сурьмы часто требует использования испарителя, прикрепленного к источнику ионов, в котором трифторид сурьмы, триоксид сурьмы или твердая сурьма испаряются в тигле, а газ-носитель используется для направления паров к соседнему источнику ионов, хотя это может также можно имплантировать из газа, содержащего фтор, такого как гексафторид сурьмы, или испарять из жидкого пентафторида сурьмы. [21] Галлий, селен и индий часто имплантируются из твердых источников, таких как диоксид селена вместо селена, хотя его также можно имплантировать из селенида водорода. Тигли часто служат 60–100 часов и не позволяют специалистам по ионной имплантации изменить рецепты или параметры процесса менее чем за 20–30 минут. Источники ионов часто могут работать 300 часов. [22] [23]

«Массовый» отбор (так же, как в масс-спектрометре ) часто сопровождается прохождением выведенного ионного пучка через область магнитного поля с выходным путем, ограниченным блокирующими отверстиями или «щелями», пропускающими только ионы с определенной величиной произведение массы и скорости/заряда для продолжения движения по лучу. Если поверхность мишени больше диаметра ионного пучка и желательно равномерное распределение имплантированной дозы по поверхности мишени, то используется некоторая комбинация сканирования луча и движения пластины. Наконец, к имплантированной поверхности применяется некоторый метод сбора накопленного заряда имплантированных ионов, так что доставленную дозу можно измерять непрерывно, а процесс имплантации останавливать на желаемом уровне дозы. [24]

Применение в производстве полупроводниковых приборов.

[ редактировать ]

Допинг

[ редактировать ]

Легирование полупроводников бором, фосфором или мышьяком является распространенным применением ионной имплантации. При имплантации в полупроводник каждый атом легирующей примеси может создавать носитель заряда в полупроводнике после отжига . Дырка примеси может быть создана для примеси p-типа , а электрон — для n-типа . Это изменяет проводимость полупроводника вблизи него. Этот метод используется, например, для регулировки порогового напряжения МОП-транзистора . Ионная имплантация практична из-за высокой чувствительности полупроводниковых приборов к инородным атомам, поскольку ионная имплантация не осаждает большое количество атомов. [2] Иногда, например, при производстве устройств из SiC, ионная имплантация проводится при нагреве пластины SiC до 500°C. [25] Это известно как горячий имплантат и используется для предотвращения повреждения поверхности полупроводника. [26] [27] [28] Такой же эффект могут оказывать криогенные имплантаты (Крио-имплантаты). [29]

Энергии, используемые при легировании, часто варьируются от 1 КэВ до 3 МэВ, и из-за физических ограничений невозможно создать ионный имплантатор, способный поставлять ионы любой энергии. Для увеличения производительности ионных имплантаторов были предприняты усилия по увеличению тока пучка, создаваемого имплантатором. [2] Луч можно сканировать по пластине магнитным, электростатическим, [30] механическим способом или с помощью комбинации этих методов. [31] [32] [33] Магнит масс-анализатора используется для отбора ионов, которые будут имплантированы на пластину. [34] Ионная имплантация также используется в дисплеях, содержащих LTPS-транзисторы. [19]

Ионная имплантация была разработана как метод создания pn-перехода фотоэлектрических устройств в конце 1970-х - начале 1980-х годов. [35] наряду с использованием импульсного электронного пучка для быстрого отжига, [36] хотя импульсный электронный пучок для быстрого отжига до сих пор не использовался в коммерческом производстве. Ионная имплантация не используется в большинстве фотоэлектрических кремниевых элементов, вместо этого используется термодиффузионное легирование. [37]

Кремний на изоляторе

[ редактировать ]

Одним из известных методов изготовления подложек кремния на изоляторе (SOI) из обычных кремниевых подложек является процесс SIMOX (разделение путем имплантации кислорода), при котором закопанный имплантат с высокой дозой кислорода преобразуется в оксид кремния посредством процесса высокотемпературного отжига .

Мезотаксия

[ редактировать ]

Мезотаксия — это термин, обозначающий рост кристаллографически соответствующей фазы под поверхностью кристалла-хозяина (сравните с эпитаксией , которая представляет собой рост соответствующей фазы на поверхности подложки). В этом процессе ионы имплантируются в материал с достаточно высокой энергией и дозой для создания слоя второй фазы, а температура контролируется так, чтобы кристаллическая структура мишени не разрушалась. Кристаллическую ориентацию слоя можно спроектировать так, чтобы она соответствовала ориентации мишени, даже если точная кристаллическая структура и постоянная решетки могут сильно отличаться. Например, после имплантации ионов никеля в кремниевую пластину можно вырастить слой силицида никеля , в котором кристаллическая ориентация силицида соответствует ориентации кристалла кремния.

Применение в отделке металла.

[ редактировать ]

Закалка инструментальной стали

[ редактировать ]

Азот или другие ионы можно имплантировать в мишень из инструментальной стали (например, сверла). Структурные изменения, вызванные имплантацией, вызывают сжатие поверхности стали, что предотвращает распространение трещин и, таким образом, делает материал более устойчивым к разрушению. Химическое изменение также может сделать инструмент более устойчивым к коррозии.

Отделка поверхности

[ редактировать ]

В некоторых применениях, например в протезных устройствах, таких как искусственные суставы, желательно иметь поверхности, очень устойчивые как к химической коррозии, так и к износу вследствие трения. В таких случаях используется ионная имплантация, чтобы спроектировать поверхности таких устройств для более надежной работы. Как и в случае с инструментальными сталями, модификация поверхности, вызванная ионной имплантацией, включает как сжатие поверхности, предотвращающее распространение трещин, так и легирование поверхности, чтобы сделать ее более химически устойчивой к коррозии.

Другие приложения

[ редактировать ]

Ионно-лучевое смешивание

[ редактировать ]

Ионная имплантация может использоваться для достижения смешивания ионных пучков , то есть смешивания атомов разных элементов на границе раздела. Это может быть полезно для достижения градуированных границ раздела или усиления адгезии между слоями несмешивающихся материалов.

, индуцированное ионной имплантацией наночастиц Образование

[ редактировать ]

Ионная имплантация может использоваться для создания наноразмерных частиц в оксидах, таких как сапфир и кремнезем . Частицы могут образовываться в результате осаждения ионно-имплантированных частиц, они могут образовываться в результате образования смешанных оксидов, которые содержат как ионно-имплантированный элемент, так и оксидный субстрат, и они могут образовываться как результат уменьшения количества субстрата, о котором впервые сообщили Хант и Хампикян. [38] [39] [40] Типичная энергия ионного пучка, используемая для производства наночастиц, находится в диапазоне от 50 до 150 кэВ, а флюенсы ионов - от 10 16 до 10 18 ионов/см 2 . [41] [42] [43] [44] [45] [46] [47] [48] [49] В таблице ниже суммированы некоторые работы, проделанные в этой области для сапфировой подложки. Можно сформировать широкий спектр наночастиц размером от 1 до 20 нм и с композициями, которые могут содержать имплантированные частицы, комбинации имплантированного иона и субстрата или состоять исключительно из катиона, связанного с субстратом. .

Композиционные материалы на основе диэлектриков, таких как сапфир, содержащих дисперсные наночастицы металлов, являются перспективными материалами для оптоэлектроники и нелинейной оптики . [45]

Имплантированные виды Субстрат Энергия ионного пучка (кэВ) Флюенс (ионов/см 2 ) Постимплантационная термообработка Результат Источник
Производит оксиды, содержащие имплантированный ион Ко Al2OAl2O3 65 5*10 17 Отжиг при 1400 °C Al 2 CoO 4. Образует шпинель [41]
Ко α-Al 2 O 3 150 2*10 17 Отжиг при 1000 °С в окислительной среде. Al 2 CoO 4. Образует шпинель [42]
мг Al2OAl2O3 150 5*10 16 --- Образует MgAl 2 O 4 пластинки [38]
Сн α-Al 2 O 3 60 1*10 17 Отжиг в атмосфере O 2 при 1000 °С в течение 1 часа. SnO 2 Образуются наночастицы размером 30 нм. [49]
Зн α-Al 2 O 3 48 1*10 17 Отжиг в атмосфере O 2 при 600 °С. Образуются наночастицы ZnO [43]
Зр Al2OAl2O3 65 5*10 17 Отжиг при 1400 °C ZrO 2 выпадает в виде [41]
Производит металлические наночастицы из имплантированных видов В α-Al 2 O 3 1500, 2000 2*10 16 , 8*10 16 Отжиг от 600°С до 1100°С в окислительной, восстановительной атмосфере, Ar или N 2 . атмосфере Al 2 O 3 Наночастицы Ag в матрице [44]
В α-Al 2 O 3 160 0.6*10 17 , 1*10 16 1 час при 800 °C на воздухе Al 2 O 3 Наночастицы Au в матрице [45]
В α-Al 2 O 3 1500, 2000 2*10 16 , 8*10 16 Отжиг от 600°С до 1100°С в окислительной, восстановительной атмосфере, Ar или N 2 . атмосфере Al 2 O 3 Наночастицы Au в матрице [44]
Ко α-Al 2 O 3 150 <5*10 16 Отжиг при 1000 °C Наночастицы Co в Al 2 O 3 матрице [42]
Ко α-Al 2 O 3 150 2*10 17 Отжиг при 1000 °C при понижении температуры окружающей среды Осаждение металлического Co [42]
Фе α-Al 2 O 3 160 1*10 16 до 2*10 17 Отжиг в течение 1 часа от 700°С до 1500°С при пониженной температуре окружающей среды. Fe нанокомпозиты [46]
В α-Al 2 O 3 64 1*10 17 --- Наночастицы Ni размером 1–5 нм [47]
И α-Al 2 O 3 50 2*10 16 , 8*10 16 Отжиг при 500 °С или 1000 °С в течение 30 мин. Наночастицы Si в Al 2 O 3 [48]
Сн α-Al 2 O 3 60 1*10 17 --- Тетрагональные наночастицы Sn размером 15 нм [49]
Из α-Al 2 O 3 100 <5*10 16 Отжиг при 1000 °C в Al2O3 Наночастицы ​ [42]
Производит металлические наночастицы из подложки Что Al2OAl2O3 150 5*10 16 --- Наночастицы Al в аморфной матрице, содержащей Al 2 O 3 и CaO [38]
И Al2OAl2O3 150 5*10 16 --- Частицы Al размером 10,7±1,8 нм в аморфной матрице, содержащей Al 2 O 3 и Y 2 O 3 [38]
И Al2OAl2O3 150 2.5*10 16 --- Частицы Al размером 9,0±1,2 нм в аморфной матрице, содержащей Al 2 O 3 и Y 2 O 3 [39]

Проблемы с ионной имплантацией

[ редактировать ]

Кристаллографические повреждения

[ редактировать ]

Каждый отдельный ион множество точечных дефектов, при ударе создает в целевом кристалле таких как вакансии и межузельные образования. Вакансии — это точки кристаллической решетки, незанятые атомом: в этом случае ион сталкивается с целевым атомом, в результате чего передается значительное количество энергии целевому атому, так что он покидает свою кристаллическую позицию. Этот целевой атом затем сам становится снарядом в твердом теле и может вызывать последовательные события столкновения . Межузельные образования возникают, когда такие атомы (или сам первоначальный ион) останавливаются в твердом теле, но не находят в решетке свободного места, где можно было бы разместиться. Эти точечные дефекты могут мигрировать и группироваться друг с другом, образуя дислокационные петли и другие дефекты.

Возмещение ущерба

[ редактировать ]

Поскольку ионная имплантация вызывает повреждение кристаллической структуры мишени, что часто нежелательно, за процессом ионной имплантации часто следует термический отжиг. Это можно назвать возмещением ущерба.

Аморфизация

[ редактировать ]

Величина кристаллографических повреждений может оказаться достаточной для полной аморфизации поверхности мишени: т.е. она может стать аморфным твердым телом (такое твердое тело, полученное из расплава, называется стеклом ) . В некоторых случаях полная аморфизация мишени предпочтительнее высокодефектного кристалла: аморфизованную пленку можно вырастить заново при более низкой температуре, чем требуется для отжига сильно поврежденного кристалла. В результате повреждения пучка может произойти аморфизация подложки. Например, имплантация ионов иттрия в сапфир при энергии ионного пучка 150 кэВ с флюенсом 5*10 16 И + /см 2 образует аморфный стеклообразный слой толщиной примерно 110 нм, измеренной от внешней поверхности. [Хант, 1999]

Напыление

[ редактировать ]

Некоторые события столкновения приводят к выбрасыванию ( распылению ) атомов с поверхности, и, таким образом, ионная имплантация будет медленно разъедать поверхность. Эффект заметен только при очень больших дозах.

Ионное каналирование

[ редактировать ]
Кубический кристалл алмаза, вид со стороны <110> , с шестиугольными ионными каналами.

Если мишень имеет кристаллографическую структуру, особенно в полупроводниковых подложках, где кристаллическая структура более открыта, определенные кристаллографические направления обеспечивают гораздо меньшее торможение, чем другие направления. В результате пробег иона может быть намного длиннее, если ион движется точно в определенном направлении, например, в направлении <110> в кремнии и других алмазных кубических материалах. [50] Этот эффект называется каналированием ионов и, как и все эффекты каналирования , является сильно нелинейным: небольшие отклонения от идеальной ориентации приводят к значительным различиям в глубине имплантации. По этой причине большая часть имплантации проводится со смещением на несколько градусов от оси, где небольшие ошибки выравнивания будут иметь более предсказуемые последствия.

Каналирование ионов можно использовать непосредственно в резерфордовском обратном рассеянии и связанных с ним методах в качестве аналитического метода для определения количества и профиля глубины повреждений в кристаллических тонкопленочных материалах.

Безопасность

[ редактировать ]

Опасные материалы

[ редактировать ]

При изготовлении пластин материалы , токсичные такие как арсин и фосфин в процессе ионной имплантации часто используются . Другие распространенные канцерогенные , коррозийные , легковоспламеняющиеся или токсичные элементы включают сурьму , мышьяк , фосфор и бор . Предприятия по производству полупроводников высокоавтоматизированы, но остатки опасных элементов в машинах можно обнаружить во время обслуживания и в вакуумных насосов оборудовании .

Высокие напряжения и ускорители частиц

[ редактировать ]

Источники питания высокого напряжения, используемые в ускорителях ионов, необходимых для имплантации ионов, могут представлять опасность поражения электрическим током . Кроме того, столкновения атомов высоких энергий могут генерировать рентгеновские лучи и, в некоторых случаях, другое ионизирующее излучение и радионуклиды . Помимо высокого напряжения, ускорители частиц, такие как радиочастотные линейные ускорители частиц и лазерные плазменные ускорители кильватерного поля, представляют и другие опасности.

См. также

[ редактировать ]

Ссылки

[ редактировать ]
  1. ^ «Ионная имплантация | Обзор полупроводников» . Проверено 21 июня 2021 г.
  2. ^ Jump up to: а б с «Ионная имплантация в кремниевой технологии» (PDF) . Проверено 2 марта 2024 г.
  3. ^ «Ионная имплантация в КМОП-технологии: машинные проблемы» . Ионная имплантация и синтез материалов . Спрингер. 2006. стр. 213–238. дои : 10.1007/978-3-540-45298-0_15 . ISBN  978-3-540-23674-0 .
  4. ^ Римини, Эмануэле (27 ноября 2013 г.). Ионная имплантация: основы изготовления устройств . Спрингер. ISBN  978-1-4615-2259-1 .
  5. ^ Се, Це-Джен; Колвин, Нил (2014). «Улучшенная стабильность источника ионов с использованием H 2 совместного газа для легирующих добавок на основе фторида» . 2014 20-я Международная конференция по технологии ионной имплантации (IIT) . стр. 1–4. дои : 10.1109/IIT.2014.6940042 . ISBN  978-1-4799-5212-0 . S2CID   42267841 .
  6. ^ «Исходные материалы способствуют развитию процесса ионной имплантации» . 8 февраля 2020 г.
  7. ^ Стеллман, Жанна Магер (28 февраля 1998 г.). Энциклопедия охраны труда и техники безопасности . Международная организация труда. ISBN  978-92-2-109816-4 .
  8. ^ Jump up to: а б Справочник по технологии производства полупроводников . ЦРК Пресс. 19 декабря 2017 г. ISBN  978-1-4200-1766-3 .
  9. ^ https://pubs.aip.org/aip/rsi/article-abstract/69/4/1688/1072150/Indirectly-heated-cathode-arc-discharge-source-for?redirectedFrom=fulltext [ только URL ]
  10. ^ Jump up to: а б https://global-sei.com/technology/tr/bn73/pdf/73-03.pdf [ только URL-адрес PDF ]
  11. ^ https://pubs.aip.org/aip/rsi/article-abstract/85/2/02C313/1071459/Ion-sources-for-ion-implantation-technology?redirectedFrom=fulltext [ только URL ]
  12. ^ «Исходные материалы способствуют развитию процесса ионной имплантации» . 8 февраля 2020 г.
  13. ^ Се, Це-Джен; Колвин, Нил К. (2016). «Иллюстративный источник ионов для имплантации легирующих газов на основе галогенов и кислорода» . 2016 21-я Международная конференция по технологии ионной имплантации (IIT) . стр. 1–4. дои : 10.1109/IIT.2016.7882870 . ISBN  978-1-5090-2024-9 . S2CID   22350137 .
  14. ^ Се, Це-Джен; Колвин, Нил (2014). «Улучшенная стабильность источника ионов с использованием H 2 совместного газа для легирующих добавок на основе фторида» . 2014 20-я Международная конференция по технологии ионной имплантации (IIT) . стр. 1–4. дои : 10.1109/IIT.2014.6940042 . ISBN  978-1-4799-5212-0 . S2CID   42267841 .
  15. ^ Jump up to: а б https://www.axcelis.com/wp-content/uploads/2019/03/Production-Worthy-Al-beams-for-SiC-Applications.pdf [ только URL-адрес PDF ]
  16. ^ https://www.semitracks.com/newsletters/march/2012-march-newsletter.pdf . [ только URL-адрес PDF ]
  17. ^ Вальтер, СР; Педерсен, Бо; Маккенна, CM (1991). «Источники ионов для коммерческих приложений ионной имплантации» . Отчет конференции IEEE по ускорителям частиц 1991 года . стр. 2088–2092. дои : 10.1109/PAC.1991.164876 . ISBN  0-7803-0135-8 . S2CID   20621334 .
  18. ^ Сато, Шу; Платов, Вильгельм; Кондратенко Сергей; Рубин, Леонард; Мэйфилд, Патрик; Лессард, Рон; Бонакорси, Генизе; Джен, Каусон; Уэлен, Пол; Ньюман, Расс (2023). «Purion XEmax, сверхвысокоэнергетический имплантатор Axcelis с технологией Boost™» . МРС Прогресс . 7 (36): 1490–1494. дои : 10.1557/s43580-022-00442-9 . S2CID   255655984 .
  19. ^ Jump up to: а б с Главиш, Хилтон; Фарли, Марвин (2018). «Обзор основных инноваций в проектировании балочных линий» . 2018 22-я Международная конференция по технологии ионной имплантации (IIT) . стр. 9–18. дои : 10.1109/IIT.2018.8807986 . ISBN  978-1-5386-6828-3 . S2CID   195792616 .
  20. ^ Основы производства полупроводников и управления технологическими процессами . Джон Уайли и сыновья. 26 мая 2006 г. ISBN.  978-0-471-79027-3 .
  21. ^ «Исходные материалы способствуют развитию процесса ионной имплантации» . 8 февраля 2020 г.
  22. ^ Се, Це-Джен; Колвин, Нил (2014). «Улучшенная стабильность источника ионов с использованием H 2 совместного газа для легирующих добавок на основе фторида» . 2014 20-я Международная конференция по технологии ионной имплантации (IIT) . стр. 1–4. дои : 10.1109/IIT.2014.6940042 . ISBN  978-1-4799-5212-0 . S2CID   42267841 .
  23. ^ «Исходные материалы способствуют развитию процесса ионной имплантации» . 8 февраля 2020 г.
  24. ^ Хэмм, Роберт В.; Хамм, Марианна Э. (2012). Промышленные ускорители и их применение . Всемирная научная. ISBN  978-981-4307-04-8 .
  25. ^ Такахаши, Наоя; Итои, Сугуру; Накашима, Ёсики; Чжао, Вэйцзян; Онода, Хироши; Сакаи, Сигеки (2015). «Высокотемпературный ионный имплантатор для устройств SiC и Si» . 2015 15-й Международный семинар по соединительным технологиям (IWJT) . стр. 6–7. дои : 10.1109/IWJT.2015.7467062 . ISBN  978-4-8634-8517-4 . S2CID   32828006 .
  26. ^ Ионная имплантация: основы изготовления устройств . Спрингер. 27 ноября 2013 г. ISBN.  978-1-4615-2259-1 .
  27. ^ Синклер, Фрэнк; Олсон, Джо; Родье, Деннис; Эйдуконис, Алекс; Танигаивелан, Тирумал; Тодоров, Стэн (2014). «VIISta 900 3D: Усовершенствованный имплантатор среднего тока» . 2014 20-я Международная конференция по технологии ионной имплантации (IIT) . стр. 1–4. дои : 10.1109/IIT.2014.6940037 . ISBN  978-1-4799-5212-0 . S2CID   32158336 .
  28. ^ Качурин Г.А.; Тищенко, ИП; Федина Л.И. (2 мая 1992 г.). «Высокотемпературная ионная имплантация в кремний» . Ядерные приборы и методы в физических исследованиях. Раздел B: Взаимодействие пучков с материалами и атомами . 68 (1): 323–330. Бибкод : 1992НИМПБ..68..323К . doi : 10.1016/0168-583X(92)96103-6 – через ScienceDirect.
  29. ^ Ренау, Энтони (2010). «Производительность и производительность устройства — новый фокус в области ионной имплантации» . Расширенные тезисы Международного семинара по соединительным технологиям , 2010 г. стр. 1–6. дои : 10.1109/IWJT.2010.5475003 . ISBN  978-1-4244-5866-0 . S2CID   12616808 .
  30. ^ Олсон, Дж. К.; Ренау, А.; Бафф, Дж. (1998). «Контроль однородности сканирующего пучка в ионном имплантаторе VIISta 810» . 1998 г. Международная конференция по технологии ионной имплантации. Известия (Кат.№98ЕХ144) . Том. 1. С. 169–172. дои : 10.1109/IIT.1999.812079 . ISBN  0-7803-4538-Х . S2CID   109569644 .
  31. ^ «Устройство управления лучевым сканированием системы ионной имплантации» .
  32. ^ https://www.axcelis.com/wp-content/uploads/2019/03/IntroducingThePurionH_Vanderberg_FINAL.pdf [ только URL-адрес PDF ]
  33. ^ Тернер, Н. (1983). «Сравнение систем лучевого сканирования» . Ионная имплантация: оборудование и методы . стр. 126–142. дои : 10.1007/978-3-642-69156-0_15 . ISBN  978-3-642-69158-4 .
  34. ^ Текущий, Майкл и Рубин, Леонард и Синклер, Фрэнк. (2018). Коммерческие системы ионной имплантации.
  35. ^ А. Дж. Армини, С. Н. Бункер и М. Б. Спитцер, «Оборудование для ионной имплантации без массового анализа для производства солнечных элементов в больших объемах», Proc. 16-я конференция специалистов по фотоэлектрической энергии IEEE , 27–30 сентября 1982 г., Сан-Диего, Калифорния, стр. 895–899.
  36. ^ Г. Лэндис и др., «Аппарат и техника импульсного электронно-лучевого отжига для производства солнечных элементов», Proc. 15-я конференция специалистов по фотоэлектрической энергии IEEE, Орландо, Флорида; 976-980 (1981).
  37. ^ Сага, Тацуо (2010). «Достижения в области технологии солнечных батарей из кристаллического кремния для массового промышленного производства» . Материалы НПГ Азия . 2 (3): 96–102. дои : 10.1038/asiamat.2010.82 .
  38. ^ Jump up to: а б с д Хант, Иден; Хампикян, Джанет (1999). «Образование наноразмерных частиц в Al2O3 и SiO2, вызванное ионной имплантацией, путем восстановления». Акта Материалия . 47 (5): 1497–1511. Бибкод : 1999AcMat..47.1497H . дои : 10.1016/S1359-6454(99)00028-2 .
  39. ^ Jump up to: а б Хант, Иден; Хампикян, Джанет (апрель 2001 г.). «Параметры имплантации, влияющие на образование наночастиц алюминия в оксиде алюминия». Журнал материаловедения . 36 (8): 1963–1973. дои : 10.1023/A:1017562311310 . S2CID   134817579 .
  40. ^ Хант, Иден; Хампикян, Джанет. «Метод ионной имплантации, индуцирующий образование встроенных частиц путем восстановления» . uspto.gov . ВПТЗ США . Проверено 4 августа 2017 г.
  41. ^ Jump up to: а б с Вернер, З.; Писарек, М.; Барлак, М.; Ратайчак, Р.; Староста, В.; Пекошевский, Дж.; Шимчик, В.; Гроцшель, Р. (2009). «Химические эффекты в Zr- и коимплантированном сапфире». Вакуум . 83 : S57–S60. Бибкод : 2009Vacuu..83S..57W . дои : 10.1016/j.vacuum.2009.01.022 .
  42. ^ Jump up to: а б с д и Алвес, Э.; Маркес, К.; да Силва, RC; Монтейро, Т.; Соарес, Дж.; МакХарг, К.; Ононье, ЖК; Аллард, LF (2003). «Структурные и оптические исследования имплантированного сапфира Co и Ti». Ядерные приборы и методы в физических исследованиях. Раздел B: Взаимодействие пучков с материалами и атомами . 207 (1): 55–62. Бибкод : 2003НИМПБ.207...55А . дои : 10.1016/S0168-583X(03)00522-6 .
  43. ^ Jump up to: а б Сян, X.; Зу, ХТ; Чжу, С.; Вэй, КМ; Чжан, CF; Солнце, К; Ван, LM (2006). «Наночастицы ZnO, встроенные в сапфир, изготовленные методом ионной имплантации и отжига» (PDF) . Нанотехнологии . 17 (10): 2636–2640. Бибкод : 2006Nanot..17.2636X . дои : 10.1088/0957-4484/17/10/032 . hdl : 2027.42/49223 . ПМИД   21727517 . S2CID   11150722 .
  44. ^ Jump up to: а б с Мота-Сантьяго, Пабло-Эрнесто; Креспо-Соса, Алехандро; Хименес-Эрнандес, Хосе-Луис; Сильва-Перейра, Гектор-Габриэль; Рейес-Эскеда, Хорхе-Алехандро; Оливер, Алисия (2012). «Размерная характеристика нанокристаллов благородных металлов, образовавшихся в сапфире путем ионного облучения и последующего термического отжига». Прикладная наука о поверхности . 259 : 574–581. Бибкод : 2012ApSS..259..574M . дои : 10.1016/j.apsusc.2012.06.114 .
  45. ^ Jump up to: а б с Степанов А.Л.; Маркес, К.; Алвес, Э.; да Силва, RC; Сильва, MR; Ганеев, РА; Ряснянский А.И.; Усманов, Т. (2005). «Нелинейно-оптические свойства наночастиц золота, синтезированных методом ионной имплантации в сапфировую матрицу». Письма по технической физике . 31 (8): 702–705. Бибкод : 2005ТеФЛ..31..702С . дои : 10.1134/1.2035371 . S2CID   123688388 .
  46. ^ Jump up to: а б МакХарг, CJ; Рен, SX; Ханн, доктор юридических наук (1998). «Дисперсии железа в сапфире нанометрового размера, полученные методом ионной имплантации и отжига». Материаловедение и инженерия: А. 253 (1): 1–7. дои : 10.1016/S0921-5093(98)00722-9 .
  47. ^ Jump up to: а б Сян, X.; Зу, ХТ; Чжу, С.; Ван, LM (2004). «Оптические свойства металлических наночастиц в монокристаллах α-Al2O3, имплантированных ионами Ni». Письма по прикладной физике . 84 (1): 52–54. Бибкод : 2004ApPhL..84...52X . дои : 10.1063/1.1636817 .
  48. ^ Jump up to: а б Шарма, СК; Пуджари, ПК (2017). «Встроенные нанокластеры Si в α-оксиде алюминия, синтезированные путем ионной имплантации: исследование с использованием спектроскопии доплеровского уширения, зависящей от глубины». Журнал сплавов и соединений . 715 : 247–253. дои : 10.1016/j.jallcom.2017.04.285 .
  49. ^ Jump up to: а б с Сян, X; Зу, ХТ; Чжу, С.; Ван, Л.М.; Шуттанандан, В.; Начимуту, П.; Чжан, Ю. (2008). «Фотолюминесценция наночастиц SnO2, внедренных в Al2O3» (PDF) . Журнал физики D: Прикладная физика . 41 (22): 225102. Бибкод : 2008JPhD...41v5102X . дои : 10.1088/0022-3727/41/22/225102 . hdl : 2027.42/64215 . S2CID   42709328 .
  50. ^ Оринг, Милтон (2002). Материаловедение тонких пленок: осаждение и структура (2-е изд.). Сан-Диего, Калифорния: Academic Press. ISBN  9780125249751 . OCLC   162575935 .
[ редактировать ]
Викискладе есть медиафайлы, связанные с ионной имплантацией .
Retrieved from "https://en.wikipedia.org/w/index.php?title=Ion_implantation&oldid=1224161433"
Arc.Ask3.Ru: конец переведенного документа.
Arc.Ask3.Ru
Номер скриншота №: a88e8eba687955115709bb9025ebe398__1715866140
URL1:https://arc.ask3.ru/arc/aa/a8/98/a88e8eba687955115709bb9025ebe398.html
Заголовок, (Title) документа по адресу, URL1:
Ion implantation - Wikipedia
Данный printscreen веб страницы (снимок веб страницы, скриншот веб страницы), визуально-программная копия документа расположенного по адресу URL1 и сохраненная в файл, имеет: квалифицированную, усовершенствованную (подтверждены: метки времени, валидность сертификата), открепленную ЭЦП (приложена к данному файлу), что может быть использовано для подтверждения содержания и факта существования документа в этот момент времени. Права на данный скриншот принадлежат администрации Ask3.ru, использование в качестве доказательства только с письменного разрешения правообладателя скриншота. Администрация Ask3.ru не несет ответственности за информацию размещенную на данном скриншоте. Права на прочие зарегистрированные элементы любого права, изображенные на снимках принадлежат их владельцам. Качество перевода предоставляется как есть. Любые претензии, иски не могут быть предъявлены. Если вы не согласны с любым пунктом перечисленным выше, вы не можете использовать данный сайт и информация размещенную на нем (сайте/странице), немедленно покиньте данный сайт. В случае нарушения любого пункта перечисленного выше, штраф 55! (Пятьдесят пять факториал, Денежную единицу (имеющую самостоятельную стоимость) можете выбрать самостоятельно, выплаичвается товарами в течение 7 дней с момента нарушения.)